wave front aberrationとは 意味・読み方・使い方

WAVE FRONT ABERRATION CORRECTION DEVICE AND AND OPTICAL PICKUP例文帳に追加

波面収差補正装置および光ピックアップ - 特許庁

WAVE FRONT ABERRATION MEASURING METHOD AND PROJECTION EXPOSURE DEVICE例文帳に追加

波面収差測定方法及び投影露光装置 - 特許庁

METHOD AND DEVICE FOR MEASURING TRANSMISSION WAVE FRONT ABERRATION OF TEST LENS例文帳に追加

被検レンズの透過波面収差測定方法及び装置 - 特許庁

WAVE FRONT ABERRATION MEASURING DEVICE AND PROJECTION ALIGNER例文帳に追加

波面収差測定機及び投影露光装置 - 特許庁

WAVE FRONT ABERRATION MEASURING METHOD AND PROJECTION ALIGNER例文帳に追加

波面収差測定方法及び投影露光装置 - 特許庁

To provide an aligner having a wave front aberration measuring apparatus capable of very accurately measuring the wave front aberration of an alignment system.例文帳に追加

アライメン系の波面収差を極めて正確に計測することが可能な波面収差計測装置を有する露光装置を提供することである。 - 特許庁

WAVE FRONT ABERRATION MEASURING METHOD, WAVE FRONT ABERRATION MEASURING DEVICE, MANUFACTURING METHOD OF IMAGING OPTICAL SYSTEM AND MANUFACTURING METHOD OF EXPOSURE DEVICE例文帳に追加

波面収差測定方法、波面収差測定装置、結像光学系の製造方法、及び露光装置の製造方法 - 特許庁

Then, on the basis of the detected position information and cross section information, the wave front aberration of the light beam is measured by a wave front aberration measuring means.例文帳に追加

そして、検出した位置情報と断面情報とに基づいて光ビームの波面収差を波面収差測定手段により測定する。 - 特許庁