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"反跳原子"を含む例文一覧と使い方
該当件数 : 1件
低エネルギーイオン散乱分光法による弾性反跳粒子検出法によって表面処理装置(成膜装置1)内の薄膜表面の水素濃度を測定するために、真空室2内にイオンを入射するイオン源11と該入射イオンによって反跳される反跳原子を検出する検出器12とを、表面処理装置が備える真空室2内に連通させて設ける。例文帳に追加
An ion source 11 injecting ions into a vacuum chamber 2 and a detector 12 detecting recoil atoms made to recoil by injection ions are communicated and mounted in the vacuum chamber 2 installed to the surface treatment apparatus for measuring the hydrogen concentration of a thin-film surface in the surface treatment apparatus (a film deposition device) by an elastic recoil- particle detecting method by a low-energy ion scattering spectral method. - 特許庁
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