「"平板ターゲット"」に関連した英語例文の一覧と使い方 - Weblio英語例文検索

矩形平板ターゲットを有するロータリー式のスパッタ方法及び装置において、基板面内での膜厚均一性を向上する。例文帳に追加

To improve the uniformity in film thickness within the plane of a substrate in a rotary type sputtering method and device having a rectangular flat target. - 特許庁

マグネトロン放電用磁気回路が設けられた矩形平板ターゲットを有するロータリ式スパッタリング装置において、基板の表面に均一な膜厚の薄膜が形成できるスパッタリング方法とその装置を提供する。例文帳に追加

To provide a sputtering method capable of forming a thin film of uniform thickness on the surface of a substrate in a rotary type sputtering device having a rectangular planar target provided with a magnetic circuit for magnetron discharge and to provide the device. - 特許庁