セーフサーチ：オフ
| 例文 (1件) |
"特殊高圧ガス"を含む例文一覧と使い方
該当件数 : 1件
モノシラン（ＳｉＨ_４）、ジシラン（Ｓｉ_２Ｈ_６）等の特殊高圧ガスに比べて安全性に優れたモノメチルシラン（ＳｉＨ_３ＣＨ_３）等の有機シランを用いて、高品質の炭化珪素薄膜を得ることができる炭化珪素薄膜の成膜方法を提供する。例文帳に追加
To provide a film formation method of a silicon carbide thin film which can obtain a silicon carbide thin film of high quality by using organic silane such as mono methylsilane (SiH_3CH_3) which is excellent in safety when compared to special high pressure gas such as monosilane (SiH_4) and disilane (Si_2H_6). - 特許庁
| 例文 (1件) |
| Copyright © Japan Patent office. All Rights Reserved. |
こんにちは ゲスト さん
ログイン |
Weblio会員(無料)になると
|
検索履歴を保存できる！
こんにちは ゲスト さん
|
ログイン |
Weblio会員(無料)になると
|
