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"部分干渉性"を含む例文一覧と使い方
該当件数 : 2件
ホトリソグラフィ装置における線幅の変化を補償する、空間的に制御可能な部分干渉性を有する照明系例文帳に追加
ILLUMINATION SYSTEM HAVING SPATIALLY CONTROLLABLE PARTIAL COHERENCE AND COMPENSATING FOR CHANGE OF LINE WIDTH IN PHOTOLITHOGRAPHY EQUIPMENT - 特許庁
少なくとも部分干渉性光散乱特性を有する方向性凝固のニッケル基合金鋳物や他の材料における結晶粒欠陥を評価する検査法を提供する。例文帳に追加
To provide an inspection method for evaluating defects in directionally solidified nickel-based alloy castings having at least partial coherence light scattering characteristics and crystal grain defects in other materials. - 特許庁
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