「プラズマ･クリーニング」に関連した英語例文の一覧と使い方 - Weblio英語例文検索

ＣＶＤプロセス・チャンバのリモート・プラズマ・クリーニング方法例文帳に追加

REMOTE PLASMA CLEANING METHOD OF CVD PROCESS CHAMBER - 特許庁

本発明は、CVDプロセス堆積チャンバ及び設備の壁、表面などに形成された不所望の堆積副生成物を、該CVDプロセス・チャンバ及び設備から除去するリモート・プラズマ・クリーニングを改善する。例文帳に追加

To improve a remote plasma cleaning method for removing undesirable deposition by-products formed on walls, surfaces, etc. of a CVD process deposition chamber and a facility from the CVD process chamber and the facility. - 特許庁