process chamberとは 意味・読み方・使い方

In the vacuum tank 11, a film forming process chamber and a reaction process chamber are formed.例文帳に追加

真空槽１１内には成膜プロセス室２０，４０と反応プロセス室６０が形成される。 - 特許庁

The space between the film forming process chamber and the reaction process chamber is provided with the exhaust pump 82.例文帳に追加

成膜プロセス室２０，４０と反応プロセス室６０との間には、排気ポンプ８２が配設される。 - 特許庁

A plasma etching apparatus 1 comprises a process chamber 2 and an evacuation system P which is connected to the process chamber 2.例文帳に追加

プラズマエッチング装置１は、処理室２と、処理室２に接続された排気装置Ｐとを備える。 - 特許庁

The film forming process chamber and the reaction process chamber are divided by shielding boards 31 and 75.例文帳に追加

この成膜プロセス室２０，４０と反応プロセス室６０とは遮蔽板３１，５１，７５で区画される。 - 特許庁

an industrial method of manufacturing sulphuric acid, called the lead chamber process発音を聞く 例文帳に追加

鉛室法という,硫酸の工業的製法 - EDR日英対訳辞書

PROCESS KIT AND TARGET FOR SUBSTRATE PROCESSING CHAMBER例文帳に追加

基板処理チャンバのためのプロセスキット及びターゲット - 特許庁

A substrate processing apparatus comprises a process chamber having a radiation source.例文帳に追加

基板処理装置は、放射線源を持つ処理室を含む。 - 特許庁

PROCESS FOR TREATING WASTE PLASTIC IN CARBONIZATION CHAMBER OF COKE OVEN例文帳に追加

廃プラスチックのコークス炉炭化室での処理方法 - 特許庁