「布処理補助装置」に関連した英語例文の一覧と使い方 - Weblio英語例文検索

このレジスト塗布装置において、長尺型のレジストノズル１２は、塗布処理中に主レジストポンプ２２および補助レジストポンプ２４より主レジスト管２６を介して圧送されてくるレジスト液をスリット上の吐出口よりレジスト液をステージ１０上の基板Ｇに向けて吐出する。例文帳に追加

In a resist application device, a long-sized resist nozzle 12 ejects a resist liquid from an ejection port above a slit toward a substrate G on a stage 10, the resist liquid being force-fed from a main resist pump 22 and an auxiliary resist pump 24 through a main resist pipe 26 during the application processing. - 特許庁