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拡散性酸素過剰の部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 1件
その後の熱処理により高抵抗層３Ａの中心の酸素過剰部分からの拡散酸素がイオン源層３Ｂに達するようなことがなく、後工程での熱処理による特性変化が抑制される。例文帳に追加
Oxygen diffused from an overoxygen portion in the center of the high resistance layer 3A does not reach the ion source layer 3B during subsequent annealing, and variation in characteristics resulting from hot annealing in a subsequent step can be controlled. - 特許庁
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