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HARCを含む例文一覧と使い方
該当件数 : 1件
To enable a silicon oxide film to be improved in borability of a silicon oxide film and selectivity against a nitride film in an SAC process or an HARC process.例文帳に追加
ＳＡＣプロセスまたはＨＡＲＣプロセスにおいて、酸化シリコン膜の開口性および窒化膜に対する選択性を向上させる。 - 特許庁
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