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Multiscanningを含む例文一覧と使い方
該当件数 : 1件
To provide a multiscanning type exposure apparatus which individually detects information on changes in the imaging performances of a plurality of projection optical units having magnification, and can perform good projection exposure using these projection optical units.例文帳に追加
拡大倍率を有する複数の投影光学ユニットの結像性能の変化に関する情報を個別に検出し、これらの投影光学ユニットを用いて良好な投影露光を行うことのできるマルチ走査型の露光装置。 - 特許庁
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