「PID control equipment」に関連した英語例文の一覧と使い方 - Weblio英語例文検索

Substrate treatment equipment is constituted so that a first power command value is output to a power supply section supplying a heat supply section with a power on the basis of a preset output pattern while a second power command value smaller than the first power command value is output and the control is changed over to a PID control when or immediately before the substrate is placed on the substrate placing section.例文帳に追加

基板が基板載置部に載置されたときまたはその直前に、熱供給部に電力を供給する電力供給部に対して予め設定された出力パターンに基づいて、第１の電力指令値を出力すると共にその後第１の電力指令値よりも小さい第２の電力指令値を出力し、その後ＰＩＤ制御に切り換える構成とする。 - 特許庁