「Single Substrate Transfer System」に関連した英語例文の一覧と使い方 - Weblio英語例文検索

To provide a relay station which can build up a substrate processing system, which responds to a single-wafer transfer without making a major modification to a substrate processing system which has been conventionally used, and to provide the substrate processing system that uses the relay station.例文帳に追加

従来から使用されている基板処理装置に大幅な改造を施すことなく、枚葉搬送に対応した基板処理システムを構築することのできる中継ステーション及び中継ステーションを用いた基板処理システムを提供する。 - 特許庁