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aligneを含む例文一覧と使い方
該当件数 : 1件
Both of an exposure apparatus having a reflective refractive projection optical system and an exposure apparatus having a refractive projection optical system can aligne a reticle by using a part of reference marks M11 to M26 and alignment mark image S11a to S28a, so that the same reticle can be commonly used for both of the exposure apparatuses.例文帳に追加
反射屈折系の投影光学系を有する露光装置と屈折系の投影光学系を有する露光装置のいずれにおいても、基準マークM11〜M26及びアライメントマークの像S11a〜S28aの一部を用いたレチクルの位置合わせを行うことができるので、両露光装置において同一のレチクルを共用することが可能となる。 - 特許庁
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