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cf marginの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 1件
Thus, the radical composition in plasma is changed from CF_2 dominant to CF dominant, by the catalytic effects of copper and a process margin is increased by controlling the thickness of the precursor layer of etching.例文帳に追加
これにより、銅の触媒効果でプラズマ中のラジカル組成をＣＦ_2ドミナントからＣＦドミナントに変化させ、エッチングの前駆体層の厚みを制御することでプロセスマージンの拡大を図ることができる。 - 特許庁
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