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constringedを含む例文一覧と使い方
該当件数 : 1件
When film formation is started, the section 100 estimates the temperatures of the wafers W in the chamber 2 by using the outputs of the temperature sensors S and the model, and separately controls the electric power supplied to the heaters 31-35 so that the estimated temperatures may be constringed to the target temperature locus.例文帳に追加
成膜処理を開始すると、温度センサＳの出力とモデルとを使用して、反応管２内のウエハＷの温度を推定し、推定した温度が目標温度軌道に収斂するように、ヒータ３１〜３５に供給する電力を個別に制御する。 - 特許庁
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