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cryopumpingを含む例文一覧と使い方
該当件数 : 1件
This cryopump 10 alternately performs a cryopumping process for discharging gas by adsorbing discharged gas containing a first and a second gases to an adsorbent and a re-generating process for discharging gas by desorbing the adsorbed gas from the adsorbent.例文帳に追加
クライオポンプ１０は、第１及び第２の気体を含む被排気気体を吸着剤に吸着することで排気するクライオポンピング処理と、吸着された気体を吸着剤から脱着して排出する再生処理とを交互に行う。 - 特許庁
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