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lightning markの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 2件
The positioning mark 20 is read out with a charge-coupled device(CCD) camera 11 which is sensitive to the wavelength of the light emitted from the lightning device 10.例文帳に追加
照明装置10で照射される光の波長に感度を有するCCDカメラ11で位置決めマーク20を読み取る。 - 特許庁
This exposing apparatus EX includes: a measuring system M for performing measurement for controlling exposure via a first mark Rm positioned in an original plate stage RS and a second mark wm positioned in a substrate stage WS; and a control part CNT capable of setting a lightening condition different from a lightning condition under measurement by a measuring system M for exposing a substrate to a light.例文帳に追加
露光装置EXは、露光の制御のための計測を原版ステージRSに配置された第1マークRmと基板ステージWSに配置された第2マークwmとを使って行なう計測システムMと、ある照明条件で基板の露光を行なうために計測システムMによって計測が行なわれる際に当該照明条件とは異なる照明条件を設定可能な制御部CNTとを備える。 - 特許庁
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