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morouを含む例文一覧と使い方
該当件数 : 1件
This method comprises processes of: dividing light radiated from a white light source 109 into reference light and signal light by a beam splitter 102; emitting the signal light to a sample 107 through a Morou interferometer 105; making light reflected from the sample surface with the reference light and imaging the interference intensity occurring in the Morou interferometer 105; and applying voltage current to the semiconductor circuit chip as the sample.例文帳に追加
白色光源109から放射された光をビームスプリッタ102により参照光と信号光に分割する工程と、信号光を試料107にミラウ干渉計105を通して入射する工程と、試料表面より反射した光と参照光を干渉させてミラウ干渉計105に生じた干渉強度を画像化する工程と、試料である半導体回路チップに電圧電流を印加する工程とを含む。 - 特許庁
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