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plasma production experimentの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 1件
To provide an inexpensive plasma cleaning apparatus with good facility investment efficiency, which can shift an experimental device with verifications, such as the cleaning experiment, process development, and application development of electronic parts, to a mass-production apparatus.例文帳に追加
本発明は、電子部品の洗浄実験、プロセス開発、あるいは、用途開発等の検証を行った実験装置を量産装置に移行することができ、設備投資効率のよい安価なプラズマ洗浄装置を提供することを目的とする。 - 特許庁
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