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plasmsを含む例文一覧と使い方
該当件数 : 1件
After the insulating layer 14x is formed and before or after hydrogen is introduced, plasms is generated by introducing gas containing nitrogen to a plasma generation chamber, and nitrogen is introduced to the insulating layer 14x by irradiating the insulating layer 14x with that plasma.例文帳に追加
絶縁層１４ｘを形成した後、水素を導入する前あるいは後に、プラズマ発生室に窒素を含有するガスを導入してプラズマを発生させ、かかるプラズマを絶縁層１４ｘに照射して絶縁層１４ｘに窒素を導入する。 - 特許庁
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