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vacuumableを含む例文一覧と使い方
該当件数 : 2件
On a surface of a material W to be processed, a thin film is formed by heat treatment by using a transition metal containing material gas containing transition metals and an oxygen containing gas in a vacuumable treatment container 14.例文帳に追加
真空引き可能になされた処理容器14内で、遷移金属を含む遷移金属含有原料ガスと酸素含有ガスとにより被処理体Wの表面に、熱処理により薄膜を形成する。 - 特許庁
The thin film is formed on a surface of a substrate to be treated through a heat-treatment using a copper-containing gas, a transition metal-containing gas and a reduction gas in a vacuumable treatment container 14.例文帳に追加
真空引き可能になされた処理容器14内で、銅を含む銅含有原料ガスと遷移金属を含む遷移金属含有原料ガスと還元ガスとにより被処理体の表面に、熱処理により薄膜を形成する。 - 特許庁
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