MASK-MAKING METHOD, PATTERN EXPOSURE DEVICE, AND MASK マスク作成方法、パターン露光装置、及び、マスク - 特許庁
MASK FOR FORMING ELECTRICALLY CONDUCTIVE PATTERN AND MASK DEVICE 導電パターン形成用マスク及びマスク装置 - 特許庁
MASK AND METHOD FOR FORMING PATTERN BY USING MASK マスク及びマスクを用いたパターン形成方法 - 特許庁
METHOD FOR PRODUCING MASK AND MASKPATTERN DESIGN DEVICE マスク作成方法及びマスクパターン設計装置 - 特許庁
PRODUCTION OF MASK FOR PATTERN TRANSFER AND MASK FOR PATTERN TRANSFER パターン転写用マスクの製造方法及びパターン転写用マスク - 特許庁
MASKPATTERN CORRECTION METHOD, MASKPATTERN CORRECTION DEVICE AND PROGRAM THEREFOR マスクパターン補正方法,マスクパターン補正装置およびそのプログラム - 特許庁
A maskpattern 15 stores the maskpattern data posterior to compaction processing. マスクパターン15は、コンパクト化処理後のマスクパターンデータを格納する。 - 特許庁
PATTERNMASK FOR ELECTRON BEAM IRRADIATION 電子線照射用パターンマスク - 特許庁
AUTOMATIC LAYOUT DEVICE FOR MASKPATTERN マスクパターンの自動レイアウト装置 - 特許庁
MASK AND METHOD FOR FORMING PATTERN マスク及びパターン形成方法 - 特許庁
METHOD FOR FORMING SHADOW MASKPATTERN シャドウマスクパターンの形成方法 - 特許庁
PATTERN FORMING MASK, AND PATTERN FORMING DEVICE USING THE MASK パターン形成用マスクおよびそれを使用したパターン形成装置 - 特許庁
PATTERN ARRANGEMENT METHOD OF EXPOSURE MASK 露光マスクのパタン配置方法 - 特許庁
MASK, METHOD FOR MANUFACTURING MASK, PATTERN-FORMING APPARATUS AND PATTERN-FORMING METHOD マスク、マスクの製造方法、パターン形成装置、パターン形成方法 - 特許庁
MASKPATTERN CORRECTION METHOD, MASK FOR EXPOSURE, AND MASK FORMING METHOD マスクパターン補正方法、露光用マスクおよびマスク製造方法 - 特許庁
MASKPATTERN CORRECTION METHOD, EXPOSURE MASK, AND METHOD FOR MANUFACTURING MASK マスクパターン補正方法、露光用マスクおよびマスク製造方法 - 特許庁
METHOD FOR CORRECTING MASKPATTERN, MASK FOR EXPOSURE TO LIGHT, AND MASK-MANUFACTURING METHOD マスクパターン補正方法、露光用マスクおよびマスク製造方法 - 特許庁
METHOD FOR CREATING MASKPATTERN DATA, METHOD FOR FORMING MASKPATTERN, AND METHOD FOR FORMING PATTERN マスクパターンデータ作成方法、マスクパターン形成方法、及びパターン形成方法 - 特許庁
SEMICONDUCTOR DEVICE AND MASKPATTERN 半導体装置およびマスクパターン - 特許庁
METHOD FOR FORMING MASK AND PATTERN マスクおよびパターン形成方法 - 特許庁
PATTERN-DRAWING METHOD, MASK, AND MASK MANUFACTURING METHOD パターン描画方法、マスクおよびマスク製造方法 - 特許庁
DEVICE FOR CORRECTING MASKPATTERN, PROGRAM FOR CORRECTING MASKPATTERN, AND METHOD FOR MANUFACTURING EXPOSURE MASK マスクパターン補正装置、マスクパターン補正プログラムおよび露光用マスクの製造方法 - 特許庁
VERIFICATION METHOD OF MASKPATTERN DATA, MANUFACTURING METHOD OF MASK, AND VERIFICATION PROGRAM OF MASKPATTERN DATA マスクパタンデータの検証方法、マスクの製造方法、マスクパタンデータの検証プログラム - 特許庁
MASKPATTERN TRANSFER METHOD, MASKPATTERN TRANSFER DEVICE, MANUFACTURE THEREOF, AND TRANSFER MASK マスクパタ—ン転写方法、マスクパタ—ン転写装置、デバイス製造方法及び転写マスク - 特許庁
DEVICE FOR CREATING MASKPATTERN, METHOD FOR CREATING MASKPATTERN, AND SEMICONDUCTOR DEVICE マスクパターン生成装置、マスクパターン生成方法及び半導体装置 - 特許庁
Then the mask material pattern and resist pattern are used as a mask to process the substrate. そして、マスク材パターンとレジストパターンをマスクに基板を加工する。 - 特許庁
MASK AND METHOD FOR FORMING HOLE PATTERN BY USING THE MASK マスク及びそれを用いたホールパターン形成方法 - 特許庁
SHADOW MASK AND ETCHING MASKPATTERN FOR MANUFACTURING THE SAME シャドウマスク及びシャドウマスク製造用エッチングマスクパターン - 特許庁
MASKPATTERN VERIFICATION METHOD, MASKPATTERN GENERATION METHOD, PATTERN DATA PROCESSOR, AND PROGRAM マスクパターン検証方法、マスクパターン作成方法、パターンデータ処理装置、およびプログラム - 特許庁
METHOD FOR CORRECTING MASKPATTERN, MASKPATTERN CORRECTION DEVICE, CIRCUIT DESIGN DEVICE, AND PROGRAM FOR CORRECTING MASKPATTERN マスクパターンの補正方法、マスクパターンの補正装置、回路設計装置及びマスクパターンを補正するプログラム - 特許庁
MASKPATTERN TRANSFER METHOD, MASKPATTERN TRANSFER EQUIPMENT USING THE MASKPATTERN TRANSFER METHOD, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD マスクパターン転写方法、該マスクパターン転写方法を用いたマスクパターン転写装置及びデバイス製造方法 - 特許庁
MASKPATTERN DATA PREPARATION METHOD, MASKPATTERN DATA PREPARATION PROGRAM, MASK, AND MANUFACTURING METHOD FOR SEMICONDUCTOR DEVICE マスクパターンデータ作成方法、マスクパターンデータ作成プログラム、マスク、半導体装置の製造方法 - 特許庁