METHOD OF CORRECTING MASKPATTERN AND PHOTOMASK マスクパターン補正方法及びフォトマスク - 特許庁
MASK, MANUFACTURING METHOD OF THE MASK, PATTERN FORMING METHOD AND WIRING PATTERN FORMING METHOD マスク、マスクの製造方法、パターン形成方法、配線パターン形成方法 - 特許庁
METHOD FOR FORMING RESIST PATTERN, AND MASK レジストパターン形成方法およびマスク - 特許庁
Then, mask patterns after correcting are created for every maskpattern by performing pattern correction to the mask patterns using the amount of the pattern correction for every maskpattern. そして、前記マスクパターン毎のパターン補正量を用いた前記マスクパターンへのパターン補正を前記マスクパターン毎に行うことにより補正後マスクパターンを作成する。 - 特許庁
MASKPATTERN DESIGNING METHOD AND PHOTOMASK マスクパターン設計方法及びフォトマスク - 特許庁
The first pattern is transferred to a mask layer by etching the mask layer making the first pattern as the mask. 第1のパターンをマスクとしてマスク層をエッチングしてマスク層に第1のパターンを転写する。 - 特許庁
MASKPATTERN DIVIDING METHOD, MASKPATTERN DIVIDING PROGRAM, AND METHOD OF MANUFACTURING EXPOSURE MASK AND SEMICONDUCTOR DEVICE マスクパターン分割方法、マスクパターン分割プログラム、露光用マスクおよび半導体装置の製造方法 - 特許庁
PATTERN FORMING METHOD AND MASK USED FOR PATTERN FORMATION パターン形成方法及びパターン形成に用いるマスク - 特許庁
PATTERN DRAWING DEVICE, PATTERN DRAWING METHOD AND MASK FOR PATTERN DRAWING パターン描画装置、パターン描画方法及びパターン描画用のマスク - 特許庁
The exposure device 10 exposes a wafer 7 to light, by using a maskpattern 30 having a metal wiring maskpattern 31 and an identification maskpattern 32, and a maskpattern 40 having a metal wiring maskpattern 41 and an identification maskpattern 42. 露光装置10は、金属配線マスクパターン31及び識別マスクパターン32を有するマスクパターン30と、金属配線マスクパターン41及び識別マスクパターン42を有するマスクパターン40とを用いてウエハ7を露光する。 - 特許庁
METHOD FOR MANUFACTURING MASK HAVING AUXILIARY PATTERN 補助パターン付きマスクの製造方法 - 特許庁
METHOD FOR CORRECTING MASKPATTERN AND PHOTOMASK マスクパターン補正方法およびフォトマスク - 特許庁
GRAY TONE MASK AND PATTERN TRANSFER METHOD グレートーンマスク及びパターン転写方法 - 特許庁
MASKPATTERN VERIFICATION METHOD AND PROGRAM マスクパターン検証方法およびプログラム - 特許庁
MASKPATTERN GENERATION METHOD AND PHOTOMASK マスクパターン生成方法およびフォトマスク - 特許庁
FINE PATTERNMASK AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME, AND METHOD FOR FORMING FINE PATTERN USING FINE PATTERNMASK 微細パターンマスクおよびその製造方法、ならびにそれを用いた微細パターンの形成方法 - 特許庁
PHASE SHIFT MASK BLANK, PHASE SHIFT MASK AND METHOD FOR TRANSFERRING PATTERN 位相シフトマスクブランク、位相シフトマスク及びパターン転写方法 - 特許庁
TRANSFER MASK BLANK, TRANSFER MASK AND PATTERN EXPOSURE METHOD 転写マスクブランク及び転写マスク並びにパターン露光方法 - 特許庁
MASK SET, METHOD FOR CREATING MASK DATA AND METHOD FOR FORMING PATTERN マスクのセット、マスクデータ作成方法及びパターン形成方法 - 特許庁
METHOD FOR FORMING MASKPATTERN, METHOD AND PROGRAM FOR MANUFACTURING MASK マスクパターンの作成方法、マスクの製造方法およびプログラム - 特許庁
PATTERN TRANSFER MASK, METHOD FOR MANUFACTURING MASK AND EXPOSURE METHOD パターン転写用マスク、マスク作製方法及び露光方法 - 特許庁
HALFTONE MASK AND METHOD OF MANUFACTURING PATTERN SUBSTRATE USING THE MASK ハーフトーンマスク及びこれを用いたパターン基板の製造方法 - 特許庁
EXPOSURE MASK AND METHOD FOR DESIGNING PATTERN OF WIRING LAYER MASK 露光用マスク及び配線層マスクのパターン設計方法 - 特許庁
MASKPATTERN CREATING METHOD, CREATING APPARATUS, AND MASK FOR EXPOSURE マスクパターンの作成方法、作成装置及び露光用マスク - 特許庁
The third layer is etched using the maskpattern as an etching mask. マスクパターンをエッチングマスクとして第3の層をエッチングする。 - 特許庁
METHOD FOR CREATING MASKPATTERN OF MASK FOR EXPOSURE FOR FORMING DIFFUSION LAYER 拡散層形成用露光マスクのマスクパターン作製方法 - 特許庁
METHOD OF CREATING MASKPATTERN DATA AND METHOD FOR MANUFACTURING MASK マスクパターンデータの生成方法およびマスクの製造方法 - 特許庁
METHOD AND DEVICE FOR MULTIPLYING MASKPATTERN PARTIALLY AND MASK STRUCTURE マスクパターン偏倍方法、偏倍装置及びマスク構造体 - 特許庁
PHASE SHIFT MASK BLANK, PHASE SHIFT MASK AND PATTERN TRANSFER METHOD 位相シフトマスクブランク、位相シフトマスク及びパターン転写方法 - 特許庁
METHOD FOR DIVIDING MASKPATTERN AND METHOD FOR FORMING RESIST PATTERN マスクパターン分割方法およびレジストパターン形成方法 - 特許庁
PATTERN INSPECTION METHOD, EXPOSURE MASK, AND PATTERN INSPECTION PROGRAM パターン検査方法、露光用マスク、およびパターン検査プログラム - 特許庁
MASK, RESIST PATTERN, AND METHOD OF FORMING RESIST PATTERN マスク及びレジストパターン並びにレジストパターンの形成方法 - 特許庁