「Plasma processing」を含む例文一覧(3220)
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プラズマ処理装置およびプラズマ処理機、並びにプラズマ処理方法 - 特許庁 - DISCHARGE PLASMA PROCESSING APPARATUS
放電プラズマ処理装置 - 特許庁 - PLASMA ETCHING PROCESSING METHOD
プラズマエッチング加工方法 - 特許庁 - MAGNETRON PLASMA PROCESSING APPARATUS
マグネトロンプラズマ処理装置 - 特許庁 - PLASMA PROCESSING METHOD, PLASMA PROCESSING APPARATUS, AND STORAGE MEDIUM
プラズマ処理方法、プラズマ処理装置、記憶媒体 - 特許庁 - DISCHARGE PLASMA PROCESSING DEVICE
放電プラズマ処理装置 - 特許庁 - MAGNETRON PLASMA PROCESSING DEVICE
マグネトロンプラズマ処理装置 - 特許庁 - PLASMA PROCESSING APPARATUS AND PLASMA PROCESSING METHOD OF WAFER
プラズマ処理装置及びウエハのプラズマ処理方法 - 特許庁 - PLASMA PROCESSING METHOD, PLASMA PROCESSING APPARATUS, AND STORAGE MEDIUM
プラズマ処理方法，プラズマ処理装置，記憶媒体 - 特許庁 - PLASMA PROCESSING APPARATUS AND PLASMA PROCESSING METHOD OF WAFER
プラズマ処理装置及びウェハのプラズマ処理方法 - 特許庁 - PLASMA PROCESSING SYSTEM, PLASMA PROCESSING METHOD, AND ELECTRODE PLATE OF PLASMA PROCESSING SYSTEM
プラズマ処理装置、プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置の電極板 - 特許庁 - PLASMA GENERATION SYSTEM, PLASMA PROCESSING SYSTEM, PLASMA GENERATING METHOD AND PLASMA PROCESSING PROCESS
プラズマ生成装置、プラズマプロセス装置、プラズマ生成方法及びプラズマプロセス方法 - 特許庁 - PLASMA PROCESSING EQUIPMENT AND PLASMA GENERATION CHAMBER
プラズマ処理装置及びプラズマ生成室 - 特許庁 - PLASMA INSPECTION METHOD, PLASMA PROCESSING METHOD, PLASMA INSPECTION DEVICE, AND PLASMA PROCESSING DEVICE
プラズマ検査方法、プラズマ処理方法、プラズマ検査装置及びプラズマ処理装置 - 特許庁 - PLASMA GENERATING APPARATUS, PLASMA PROCESSING APPARATUS, PLASMA GENERATING METHOD, AND PLASMA PROCESSING METHOD
プラズマ発生装置、プラズマ処理装置、プラズマ発生方法、およびプラズマ処理方法 - 特許庁 - PLASMA GENERATING SYSTEM, PLASMA PROCESSING SYSTEM, PLASMA GENERATING METHOD, AND PLASMA PROCESSING PROCESS
プラズマ生成装置、プラズマプロセス装置、プラズマ生成方法及びプラズマプロセス方法 - 特許庁 - MOUNTING DEVICE, PLASMA PROCESSING DEVICE, AND PLASMA PROCESSING METHOD
載置装置、プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 - 特許庁 - ELECTRIC DISCHARGE PLASMA PROCESSING SYSTEM
放電プラズマ処理装置 - 特許庁 - DISCHARGE PLASMA PROCESSING METHOD
放電プラズマ処理方法 - 特許庁 - PLASMA DISCHARGE PROCESSING APPARATUS AND PLASMA DISCHARGE PROCESSING METHOD
プラズマ放電処理装置、プラズマ放電処理方法 - 特許庁 - PLASMA PROCESSING SILICON PLATE
プラズマ処理用シリコンプレート - 特許庁 - SUBSTRATE HOLDER FOR PLASMA PROCESSING AND PLASMA PROCESSING METHOD
プラズマプロセス用基板ホルダーおよびプラズマ処理方法 - 特許庁 - PLASMA GENERATOR, AND PLASMA PROCESSING DEVICE
プラズマ発生装置およびプラズマ処理装置 - 特許庁 - PLASMA GENERATOR AND PLASMA PROCESSING APPARATUS
プラズマ発生装置およびプラズマプロセス装置 - 特許庁 - PLASMA GENERATOR AND PLASMA PROCESSING APPARATUS
プラズマ生成装置およびプラズマ処理装置 - 特許庁 - PLASMA GENERATOR AND PLASMA PROCESSING APPARATUS
プラズマ発生装置およびプラズマ処理装置 - 特許庁 - PLASMA GENERATING DEVICE AND PLASMA PROCESSING APPARATUS
プラズマ発生装置及びプラズマ処理装置 - 特許庁 - PLASMA PROCESSING CONTAINER AND PLASMA PROCESSOR
プラズマ処理容器およびプラズマ処理装置 - 特許庁 - PLASMA RESISTANCE MEMBER AND PLASMA PROCESSING APPARATUS
プラズマ耐性部材及びプラズマ処理装置 - 特許庁 - PLASMA GENERATING APPARATUS AND PLASMA PROCESSING APPARATUS
プラズマ生成装置及びプラズマ処理装置 - 特許庁 - PLASMA ETCHING METHOD AND PLASMA PROCESSING APPARATUS
プラズマエッチング方法及びプラズマ処理装置 - 特許庁 - MEMBER FOR PLASMA PROCESSING DEVICE
プラズマプロセス装置用部材 - 特許庁 - PLASMA PROCESSING APPARATUS FOR SUBSTRATE
基板のプラズマ処理装置 - 特許庁 - BARREL TYPE PLASMA PROCESSING DEVICE
バレル型プラズマ処理装置 - 特許庁 - MICROWAVE PLASMA PROCESSING APPARATUS
マイクロ波プラズマ処理装置 - 特許庁 - PLASMA PROCESSING APPARATUS, AND BAFFLE PLATE OF PLASMA PROCESSING APPARATUS
プラズマ処理装置及びプラズマ処理装置のバッフル板 - 特許庁 - ATMOSPHERIC PLASMA PROCESSING APPARATUS
大気圧プラズマ処理装置 - 特許庁 - PLASMA PROCESSING APPARATUS AND PROCESSING METHOD
プラズマ処理装置及び処理方法 - 特許庁 - PLASMA PROCESSING METHOD AND PROCESSING APPARATUS
プラズマ処理方法及び処理装置 - 特許庁 - MEMBER FOR PLASMA PROCESSING SYSTEM, MEMBER FOR PROCESSING SYSTEM, PLASMA PROCESSING SYSTEM, PROCESSING SYSTEM, AND PLASMA PROCESSING METHOD
プラズマ処理装置用の部材，処理装置用の部材，プラズマ処理装置，処理装置及びプラズマ処理方法 - 特許庁 - PLASMA PROCESSING DEVICE AND ITS PROCESSING METHOD
プラズマ処理装置及び処理方法 - 特許庁 - PLASMA PROCESSING METHOD AND PROCESSING DEVICE
プラズマ加工方法および加工装置 - 特許庁 - PLASMA PROCESSING APPARATUS AND PROCESSING METHOD
プラズマ処理装置および処理方法 - 特許庁 - PLASMA PROCESSING METHOD AND PROCESSING APPARATUS
プラズマ処理方法および処理装置 - 特許庁 - INDUCTIVELY-COUPLED PLASMA PROCESSING DEVICE, AND PLASMA PROCESSING METHOD
誘導結合プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 - 特許庁 - PLASMA PROCESSING UNIT STRUCTURE
プラズマ処理ユニット構造体 - 特許庁 - PLASMA PROCESSING METHOD OF SUBSTRATE
基板のプラズマ処理方法 - 特許庁 - MEMBER FOR PLASMA PROCESSING APPARATUS
プラズマ処理装置用部材 - 特許庁 - ATMOSPHERIC PRESSURE PLASMA PROCESSING APPARATUS
大気圧プラズマ処理装置 - 特許庁 - DISCHARGE PLASMA PROCESSING METHOD, AND DISCHARGE PLASMA PROCESSING DEVICE
放電プラズマ処理方法および放電プラズマ処理装置 - 特許庁
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