PLASMA ETCHING METHOD, PLASMA ETCHING SYSTEM AND PLASMAPROCESSING SYSTEM プラズマエッチング方法、プラズマエッチング装置及びプラズマ処理装置 - 特許庁
HIGH FREQUENCY PLASMAPROCESSING SYSTEM 高周波プラズマ処理装置 - 特許庁
PLASMAPROCESSING APPARATUS AND METHOD THEREFOR プラズマ処理装置と方法 - 特許庁
PLASMAPROCESSING APPARATUS AND WAFER プラズマ処理装置及びウエハ - 特許庁
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REMOTE TYPE PLASMAPROCESSING METHOD リモート式プラズマ処理方法 - 特許庁
BOLT AND PLASMAPROCESSING APPARATUS ボルト及びプラズマ処理装置 - 特許庁
INLINE TYPE PLASMAPROCESSING DEVICE インライン型プラズマ処理装置 - 特許庁
PLASMAPROCESSING APPARATUS, METHOD FOR DETECTING ABNORMALITY OF PLASMAPROCESSING APPARATUS, AND METHOD FOR PLASMAPROCESSING プラズマ処理装置、プラズマ処理装置の異常検出方法、及びプラズマ処理方法 - 特許庁
PLASMAPROCESSING APPARATUS, WINDOW MEMBER FOR MONITORING OF PLASMAPROCESSING, AND ELECTRODE PLATE FOR PLASMAPROCESSING APPARATUS プラズマ処理装置、プラズマ処理監視用窓部材及びプラズマ処理装置用の電極板 - 特許庁
PLASMAPROCESSING APPARATUS, METHOD FOR USING PLASMAPROCESSING APPARATUS, AND METHOD FOR CLEANING PLASMAPROCESSING APPARATUS プラズマ処理装置、プラズマ処理装置の使用方法およびプラズマ処理装置のクリーニング方法 - 特許庁
PLASMAPROCESSING EQUIPMENT AND METHOD FOR PROCESSING THEREOF プラズマ処理装置および処理方法 - 特許庁
PLASMA SOURCE, PROCESSING APPARATUS AND PROCESSING METHOD プラズマ源、処理装置及び処理方法 - 特許庁
MICROWAVE PLASMAPROCESSING METHOD, MICROWAVE PLASMAPROCESSING EQUIPMENT, AND ITS PLASMA HEAD マイクロ波プラズマ処理方法、マイクロ波プラズマ処理装置及びそのプラズマヘッド - 特許庁
PLASMAPROCESSING METHOD AND HIGH-SPEED PLASMA ETCHING APPARATUS プラズマ処理方法、高速プラズマエッチング装置 - 特許庁
PLASMAPROCESSING APPARATUS AND METHOD FOR GENERATING PLASMA プラズマ処理装置およびプラズマ生成方法 - 特許庁