In the defect detection, whether the wiring has the defect, the defect position, and the defect kind of a short defect or open defect can be identified. 欠陥検出は、配線の欠陥の有無、欠陥位置、ショート欠陥かオープン欠陥かの欠陥種の判別が可能である。 - 特許庁
DEFECT INSPECTION METHOD, DEFECT INSPECTION DEVICE, AND DEFECT INSPECTION SYSTEM 欠陥検査方法、欠陥検査装置及び欠陥検査システム - 特許庁