A defect correction function section 184 corrects the defect by using defect information read from the defect address memory 38b. 欠陥アドレスメモリ38b から読み出した欠陥情報を用いて欠陥補正機能部184 で欠陥補正を行う。 - 特許庁
DEFECT INSPECTING APPARATUS, DEFECT INSPECTION METHOD, AND PROGRAM 欠陥検査装置、欠陥検査方法およびプログラム - 特許庁
DEFECT INSPECTION SUPPORT DEVICE AND DEFECT INSPECTION SUPPORT METHOD 欠陥検査支援装置、欠陥検査支援方法 - 特許庁