DEFECT INSPECTION METHOD AND DEFECT INSPECTION DEVICE OF GRAY TONE MASK, AND DEFECT INSPECTION METHOD AND DEFECT INSPECTION DEVICE OF PHOTOMASK グレートーンマスクの欠陥検査方法及び欠陥検査装置、並びにフォトマスクの欠陥検査方法及び欠陥検査装置 - 特許庁
DEFECT INSPECTION DEVICE AND METHOD FOR SETTING THRESHOLD OF DEFECT INSPECTION 欠陥検査装置および欠陥検査の閾値設定方法 - 特許庁
DEFECT INFORMATION MANAGEMENT SYSTEM AND DEFECT INFORMATION MANAGEMENT METHOD 不具合情報管理システム及び不具合情報管理方法 - 特許庁
SUBSTRATE DEFECT INSPECTION METHOD AND SUBSTRATE DEFECT INSPECTION SYSTEM 基板の欠陥検査方法および基板の欠陥検査システム - 特許庁
SUBSTRATE DEFECT INSPECTION SYSTEM AND SUBSTRATE DEFECT DETECTING METHOD 基板の欠陥検査システム及び基板の欠陥検出方法 - 特許庁
DEFECT INSPECTION METHOD AND DEFECT INSPECTION APPARATUS OF MICROSTRUCTURE 微細構造物の欠陥検査方法及び欠陥検査装置 - 特許庁
DEFECT INFORMATION STORAGE DEVICE AND DEFECT INFORMATION STORAGE METHOD 不良情報保存装置および不良情報保存方法 - 特許庁
DEFECT-INSPECTION OPTICAL SYSTEM AND SURFACE-DEFECT INSPECTION APPARATUS 欠陥検出光学系および表面欠陥検査装置 - 特許庁
COLOR FILTER DEFECT INSPECTING METHOD カラーフィルタ欠陥検査方法 - 特許庁
A defect-full-length measuring means 10 measures the entire length of the defect based on the defect position information and the area of the defect. 欠陥全長測定手段10は欠陥位置情報及び欠陥の面積から欠陥の全長を測定する。 - 特許庁
OPTICAL DISK DEFECT PROCESSING DEVICE 光ディスク欠陥処理装置 - 特許庁
DISPLAY DEVICE, DEFECT DETECTING SYSTEM AND DEFECT DETECTING METHOD 表示装置、欠陥検出システムおよび欠陥検出方法 - 特許庁
DEFECT INSPECTION DEVICE FOR FACE PLATE 面板の欠陥検査装置 - 特許庁
CIRCUIT DEFECT-DETECTING SYSTEM AND METHOD FOR DETECTING CIRCUIT DEFECT 回路欠陥検出システム及び回路欠陥検出方法 - 特許庁
A defect detection and correction part 40 is composed so that defect detection processing has a plurality of defect detection modes and defect correction processing has a plurality of defect correction modes. 欠陥検出修正部40は、欠陥検出処理は複数の欠陥検出モードを有し、欠陥修正処理は複数の欠陥修正モードを有する。 - 特許庁
To provide a defect inspection method capable of capturing surely a deformation defect, and discriminating easily the deformation defect and the other defect such as a foreign matter defect, and a defect inspection device. 変形欠陥の捕捉が確実に行えるとともに、変形欠陥と異物欠陥など他の欠陥との判別が容易に行える欠陥検査方法および欠陥検査装置の提供。 - 特許庁
METHOD FOR REPAIRING DEFECT ON SUBSTRATE 基板欠陥の修理方法 - 特許庁
CRYSTAL-DEFECT EVALUATING METHOD 結晶欠陥の評価方法 - 特許庁
CALCULATION METHOD OF DEFECT DENSITY 欠陥密度の算出方法 - 特許庁
DEFECT INSPECTION DATA PROCESSING METHOD 欠陥検査データ処理方法 - 特許庁