「diffraction」を含む例文一覧(7687)
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物質同定部４は、電子線回折像解析部３から送信された格子面間隔データ、ＥＤＸ分析部２から送信された元素データをもとに検索用データベースを検索して物質を同定する。 - 特許庁 - An ultraviolet curing resin layer 2 having a diffusion pattern formed thereon is provided on one surface of a transparent resin film 3 and an ultraviolet curing resin layer 4 having a diffraction grating pattern formed thereon is provided on the other surface.
透明樹脂フィルム３の一方の面に拡散パターンが成形された紫外線硬化樹脂層２が設けられ、他方の面に回折格子パターンが成形された紫外線硬化樹脂層４が設けられたこと。 - 特許庁 - To eliminate difference in diffraction efficiency caused by difference in the pitch, in diffractive optical element having a grating or a plurality of grating areas with different pitch.
ピッチの異なる格子を有する回折光学素子や、ピッチが異なる複数の格子領域を有する回折光学素子において、ピッチの違いにより生じる回折効率の違いを無くすための手段を提供する。 - 特許庁 - Disclosed is a niobate alkali-type piezoelectric/electrostrictive ceramics sintered compact in which a tetragonal perovskite-type oxide is the main crystal phase, and the skewness of the diffraction peaks in the (002) faces of the tetragonal crystals is 1 to 3.3.
正方晶ペロブスカイト型酸化物が主結晶相であり、正方晶（００２）面の回折ピークの非対称度が、１以上、３．３以下であるニオブ酸アルカリ系の圧電／電歪セラミックス焼結体の提供による。 - 特許庁 - To reproduce a signal having a period equal to or below the diffraction limit of light without reducing the amplitude of a reproduced signal and to provide good sensitivity to recording and reproduction.
再生信号振幅を低下させることなく、光の回折限界以下の周期の信号を再生することが可能であり、かつ、良好な記録再生感度を有する光磁気記録媒体及びその再生方法を提供する。 - 特許庁 - To provide a position detecting mark which is used for optically detecting the position on a substrate surface and can surely detect the positions of diffraction grating patterns etc., disposed in multiplicity on the substrate surface.
基材上の位置を光学的に検出するための位置検出マークにおいて、基材上に多数配設された回折格子パターンなどの位置を確実に検出可能な位置検出マークを提供することである。 - 特許庁 - The diffraction gratings 4 and 5 can deform the beam diameter of a beam transmitted through the beam shaping element along the thickness at different ratios along the width Y and length Z to shape the beam diameter.
回折格子４，５によって、ビーム整形素子を厚み方向に透過するビームのビーム径を幅方向Ｙと長手方向Ｚとに対して、異なる割合で変形させることができ、ビーム径を整形することができる。 - 特許庁 - To provide a constitution capable of improving the temperature characteristics in a lens, having diffraction action for first and second laser beams, having different wavelengths and an optical head system using the lens as an objective lens.
波長の異なる第１および第２のレーザ光に対する回折作用を備えたレンズ、およびこのレンズを対物レンズとして用いた光ヘッド装置において、その温度特性を向上可能な構成を提供すること。 - 特許庁 - The RuTe_2 in which the half width of the maximum diffraction peak shows a specific value is superior in applied voltage durability, and realizes a catalyst for the fuel cell having a practicability capable of substituting a noble metal catalyst such as platinum.
最大回折ピークの半値幅が特定の値を示すＲｕＴｅ_２は、印加電圧耐久性に優れ、白金等の貴金属触媒に代替しうる実用性を有する燃料電池用触媒を実現する。 - 特許庁 - To provide a diffractive optical element which can have high diffraction efficiency for diffracted light of specific order (design order) in a wide wavelength range and sufficiently suppress unnecessary diffracted light, and is easy to manufacture.
広い波長領域における特定次数（設計次数）の回折光に対する高い回折効率が得られるとともに、不要回折光を十分抑制でき、さらに製造が容易な回折光学素子を提供する。 - 特許庁 - The correlation is calculated when the coupling coefficient κ of the diffraction grating layer G_n is constant, when the plurality of grooves 22 have a constant depth D, and when the cladding layer 24 has a band gap wavelength λ_Eclad.
この相関関係は、回折格子層Ｇ_ｎの結合係数κが一定であり、複数の溝２２の深さＤが一定であり、クラッド層２４のバンドギャップ波長λ_Ｅｃｌａｄが一定である場合に算出される。 - 特許庁 - The portion (P) which is turned into a long wavelength is formed with a light irradiation and a successive heat treatment and the optical element (10) functions as a wavelength- selective filter by a wavelength-selective reflection on the diffraction grating (4G).
長波長化させた部分(P)は光照射とそれに続く加熱処理により形成されており、回折格子(4G)による波長選択的な反射により光学素子(10)は波長選択フィルターとして機能する。 - 特許庁 - The reflection type liquid crystal display device provided with a liquid crystal cell having a liquid crystal layer formed between two transparent substrates having electrodes and a reflection layer is provided with a transmission type diffraction layer consisting of a cholesteric liquid crystal phase.
電極を有する２枚の透明基板の間に液晶層が形成された液晶セルと、反射層を備える反射型液晶表示装置に、コレステリック液晶相からなる透型回折層を設ける。 - 特許庁 - Thus, an expensive lens is not required by adjusting tilt of the objective lens 15 based on light intensity distribution of the diffraction image B, thereby an inexpensive tilt adjusting device 2 of the objective lens can be constituted.
このように、回折像Ｂの光強度分布に基づいて対物レンズ１５の傾きを調整することで、高価なレンズが不要となり、もって、安価に対物レンズ傾き調整装置２を構成することができる。 - 特許庁 - The diffraction optical element has an anti-reflection coating (302) formed on the surface relief patterns, thereby forming coated surface relief patterns of about the same size as the surface relief patterns formed on the substrate.
回折光学素子は、表面レリーフパターン上に形成された反射防止コーティング(302)を有し、これによって、基板上に形成された表面レリーフパターンとほぼ同じ寸法のコーティングされた表面レリーフパターンが形成される。 - 特許庁 - A beam shaping mirror 7 is provided with a transparent member 7c including, in nonparallel, a first optical surface 7a equipped with a wavelength selective film Ft, and a second optical surface 7b equipped with a diffraction grating Gr.
ビーム整形ミラー７は、波長選択性膜Ｆｔが設けられた第１光学面７ａと、回折格子Ｇｒが設けられた第２光学面７ｂと、を互いに非平行に有する透明部材７ｃから成る。 - 特許庁 - The hologram 6 acts similarly as a concave mirror for measurement light for recursive reflection by performing the diffraction reflection of measurement light at an infrared wavelength region being applied from the side of the surface for forming the hologram.
ホログラム６は、ホログラム形成面側から入射された赤外線波長域の測定光を回折反射することにより、測定光に対して凹面鏡と同様に作用し測定光を再帰反射する。 - 特許庁 - This objective lens 10 is a biconvex single lens made of resin having two lens surfaces 11 and 12 being aspherical surfaces, and concentric zonal diffraction lens structure with an optical axis as center is formed on the 1st surface 11.
対物レンズ１０は、非球面である２つのレンズ面１１，１２を有する両凸の樹脂製単レンズであり、第１面１１に光軸を中心とする同心輪帯状の回折レンズ構造が形成されている。 - 特許庁 - To provide a method and apparatus which enable measuring of the adhesion of an alloy phase in a plated layer with a higher accuracy against any change in the distance between a diffraction position of X rays and a detection system as caused by the vibration of a steel plate.
鋼板の振動によりＸ線の回折位置と検出系との距離が変動するような場合に、めっき層中の合金相の付着量を精度よく測定する測定装置および方法の提供。 - 特許庁 - To obtain an optical functional element which makes an extent where interference fringes of reflected wave faces of a lens or the like having a curved surface nearly being a flat surface can be observed to proper size and in which accuracy of the wave face produced by a diffraction pattern is high.
平面に近い曲面を有するレンズなどの反射波面の干渉縞の観察できる範囲を適切な大きさにして、かつ、回折パターンによって生成される波面の精度が高い光機能素子を得る。 - 特許庁 - A sensor part arranged on a light receiving surface of a photodetector 120 is irradiated with only signal light of BD light passing through the diffraction regions 118a0 to 118h0, but the signal light does not irradiate gaps of the sensor part.
光検出器１２０の受光面上に配されたセンサ部には、回折領域１１８ａ０〜１１８ｈ０を通るＢＤ光の信号光のみが照射され、センサ部の隙間に信号光は照射されない。 - 特許庁 - The luminous element part 100 comprises a luminous layer 40, a positive electrode 30 and a negative electrode 50 for impressing an electric field on the luminous layer 40, and a diffraction grating 12 that is of a distributed Bragg reflection type and of the first order.
発光素子部１００は、発光層４０と、発光層４０に電界を印加するための陽極３０および陰極５０と、分布ブラッグ反射型であり、かつ１次オーダの回折格子１２とを含む。 - 特許庁 - The substrate 31 is isotropically etched to about 200 Å so that the protrusions 46a, 46b are completely removed and a diffraction optical element 47 having 8 steps shown in Fig (s) can be obtained.
これにより、基板３１は等方的に約２００オングストローム、エッチングされるため、突起部４６ａ、４６ｂはほぼ完全に除去され、(s)に示す８段の階段形状を有する回折光学素子４７が得られる。 - 特許庁 - This C. I. Pigment Yellow 12 is characterized by showing ≥0.94 and ≤1.80 half value width of peak intensity within 8.0 to 11.8° (2θ) in an X-ray diffraction measurement after drying the wet cake of the pigment at 90°C.
顔料のウェットケーキを９０℃で乾燥した後のＸ線回折測定において、8.0〜11.8度（2θ）にある強度ピークの半価幅が０．９４以上１．８０以下であることを特徴とするＣ．Ｉ．ピグメントイエロー１２。 - 特許庁 - To attain the enlargement and reproduction of a magnetic domain with no repetitive reproduction, to reproduce a signal having a period below the diffraction limit of light without reducing the amplitude of the reproduced signal and to considerably increase recording density.
繰り返し再生が発生しない磁区拡大再生を実現し、再生信号振幅を低下させることなく、光の回折限界以下の周期の信号を再生可能とし、記録密度を大幅に向上させる。 - 特許庁 - To provide a method for duplicating a hologram, the method bringing out the diffraction performance of an precursor and the modulation amount in the refractive index of a recording material as much as possible and duplicating a high-quality hologram; and to provide a hologram duplicated by the method.
原版の回折性能と記録材料の屈折率変調量を最大限に引き出し、高品質なホログラムを複製するホログラム複製方法及びそれにより複製されたホログラムを提供する。 - 特許庁 - To provide a card in which indicated information is abundant in a decorative property, there is provided with an eye-catching function attracting public attention, and a diffraction figure can be easily obtained without the need of special observational device.
表示する情報が装飾性に富み、人の目をひきつけるアイキャッチ機能を備えるカードを提供するとともに、特別の観察装置を必要とせず、容易に回折像を得られるカードを提供する。 - 特許庁 - Diffuse scattering must be taken into account for any realistic consideration of diffraction effects or images for any but very special kinds of deviations from perfect crystal periodicity.
散漫散乱は、完全結晶の周期性からのずれという非常に特別な種類を除くあらゆるものについて、回折効果または像に関するあらゆる現実的な考察に対して考慮されなければならない。 - 科学技術論文動詞集 - To provide a processing method for a hologram recording material which has high sensitivity, high resolution, high diffraction efficiency, and long storage life, and is applicable to a three-dimensional display, a high-density optical recording medium, a holographic optical element, etc.
３次元ディスプレイ、高密度光記録媒体、ホログラフィック光学素子等への応用可能な高感度かつ高解像度、高回折効率、高保存性を有するホログラム記録材料の処理方法を提供する。 - 特許庁 - When orders of recording and reproducing diffraction light of the DVD and the BD are defined as m2 and m4, respectively, the second compatible objective lens has the diffractive lens structure satisfying a condition of 0.75≤(λ4×m4)/(λ2×m2)≤0.99.
また、第２の互換対物レンズは、ＤＶＤとＢＤの記録再生回折光の次数をｍ２、ｍ４としたときに、０．７５≦（λ４×ｍ４）／（λ２×ｍ２）≦０．９９の条件を満足する回折レンズ構造を有する。 - 特許庁 - The mode synchronization semiconductor laser 10 is provided with an optical waveguide layer 13 comprising a gain region 15, an intensity modulation region 14 to perform intensity modulation in the adjustable frequency to an induced light to realize synchronization among the modes of the induced and excited light generated in the gain region, and a diffraction grating region provided with a uniformly continuous diffraction grating 17 having the predetermined uniform grating interval to reflect the induced and excited light.
モード同期半導体レーザ１０は、利得領域１５と、該利得領域で発生する誘導励起光のモード間の同期を図るべく該誘導光に調整可能の周波数で強度変調を施すための強度変調領域１４と、前記誘導励起光を反射するための一様に連続する均一な所定の格子間隔を有する回折格子１７が設けられた回折格子領域とを有する光導波路層１３を備える。 - 特許庁 - Diffraction X rays generated are recorded in a two-dimensional X-ray detector at a stroke in a short period of time, thereby visualizing the intensity of diffraction X rays from the ultrafine structure in a reciprocal lattice space to rapidly analyze its structure.
基板結晶表面上に育成された超微細ナノワイヤ、基板結晶とその表面を覆うキャップ層の間に挟まれた、埋もれた超微細ナノワイヤ、あるいは、薄膜結晶などの超微細構造体に、0.1 nm以下の短波長X線を表面から数°以下の角度で入射させ、生じる回折X線を２次元X線検出器に短時間で一度に記録することにより、前記超微細構造体からの回折X線強度を逆格子空間において可視化し、その構造を迅速に解析する。 - 特許庁 - In the case of applying doping to a semiconductor substrate by emitting a neutron beam to the semiconductor substrate including at least one stable isotope as a constituent element to cause nuclear reaction of the stable isotope, employing a diffraction pattern obtained by emitting the neutron beam 15 to a diffraction grating 12 provides spatial contrast to the emission dose of the neutron so as to carry out spatially selectable doping.
少なくとも一つの安定同位体を構成元素として含む半導体基体に中性子線を照射して安定同位体の核反応を起こすことにより半導体基体にドーピングを行う場合に、中性子線１５を回折格子１２に照射することにより得られる回折パターンを用いて半導体基体１１に対する中性子の照射量に空間的な濃淡を持たせ、空間的に選択的なドーピングを行う。 - 特許庁 - An image processing device with dark-field detectors divided into a plurality of numbers and memories for making the detectors store images is provided that can recognize diffraction contrast detected in a specific direction from a plurality of sheets of images obtained from the divided detectors as well as Z contrast scattered in a uniform direction, and make selection of each contrast as well as clearly display diffraction contrast parts by coloring the same.
上記課題を解決するために、複数に分割された暗視野検出器と、当該検出器に画像を記憶するメモリーを備え、分割された検出器から得られる複数枚の画像から特定方向に検出される回折コントラストと一様な方向に散乱されるＺコントラストを認識し、各コントラストの取捨選択や回折コントラスト部に色をつけ回折コントラスト部を明示できるような画像処理装置を備えた。 - 特許庁 - In a measuring method of an X-ray diffraction pattern of the translin crystal, the translin crystal obtained using sodium formate as a precipitant is frozen in crystallizing solution containing polyalcohol, and X-ray diffraction data is collected in a frozen state.
トランスリン結晶のＸ線回折像の測定方法、該結晶のＸ線回折像より得られる３次元構造座標、該構造座標を含むデータベース若しくは記録媒体、該構造座標を用いるトランスリンの機能を調節する能力を有する化合物の同定方法、該３次元構造座標を用いるトランスリンに潜在的に結合しうる化合物からなる化合物群の調製方法、及び、該３次元構造座標を用いるトランスリンの変異体の作製方法。 - 特許庁 - The reflector is formed on a base material, and has a metal oxide layer and a reflection layer consisting of Ag doped with an element having a smaller atomic radius than that of Ag from a side near the base material when seen from a base material side, wherein crystallite size calculated from diffraction peaks originating in Ag by X-ray diffraction measurement using Cu K-alpha beam of the reflector, is 2 to 23 nm.
基材上に形成される反射体であり、該反射体は、基材側から見て基材に近い側から、金属酸化物層、Ａｇに対して小さい原子半径を有する元素がドープされたＡｇからなる反射層、を有するものであり、該反射体のＣｕＫα線を用いたＸ線回折測定により、Ａｇに由来する回折ピークから算出される結晶子サイズが２〜２３ｎｍであることを特徴とする反謝体。 - 特許庁 - A spectroscopic apparatus 60 includes a diffraction grating for dispersing fluorescence from a specimen in one direction for each wavelength, a multi-channel PMT 66 having a plurality of cells 65 arranged along the dispersing direction of fluorescence dispersed by the diffraction grating, and light-shielding plates 68A and 68B for restricting the incident range of fluorescence incident onto the plurality of cells 65 by a restricting width variable within an amount of change smaller than the width of the cells 65.
標本からの蛍光を一方向に波長ごとに分散させる回折格子と、回折格子により分散させられた蛍光の分散方向に沿って配列された複数のセル６５を有するマルチチャンネルＰＭＴ６６と、複数のセル６５に入射される蛍光の入射範囲をセル６５の幅より小さい変化量で可変の制限幅により制限する遮光板６８Ａ，６８Ｂとを備える分光装置６０を提供する。 - 特許庁 - The external resonator type wavelength tunable laser apparatus 10 comprises a semiconductor laser medium 11, a diffraction optical element 13 for spatially dispersing the wavelengths of the light emitted from the semiconductor laser medium 11, and a wavelength selecting means having a reflecting surface 15a moved across the light subjected to the wavelength dispersion by the diffraction optical element 13 and selectively reflecting part of the light as return light by the reflecting surface 15a.
外部共振器型の波長可変レーザ装置１０は、半導体レーザ媒質１１と、半導体レーザ媒質１１からの射出光を空間的に波長分散する回折光学素子１３と、回折光学素子１３により波長分散された光を横切るように移動する反射面１５ａを有し、反射面１５ａにより前記光の一部を戻り光として選択的に反射する波長選択手段とを備える。 - 特許庁 - Furthermore, this display has a light source, the above diffraction gratings formed parallel in the first direction for inputting the light from the light source; an optical means for selectively extracting the diffracted light formed in one of the first and second states of the diffraction gratings; and a projector for projecting the above diffracted light extracted by the above optical means on the screen.
また、光源と、上記の複数の回折格子を前記第１の方向に併設され前記光源から放射された光が入射される回折格子と、前記回折格子の前記第１及び第２の状態のいずれかにおいて生じた回折光を選択的に取り出す光学手段と、前記光学手段により取り出された前記回折光をスクリーンに投影する投影手段と、を備えたことを特徴とする表示装置が提供される。 - 特許庁 - The fiber gratings 10 composed of a double refractive material having a diffraction structure changed at equal intervals/unequal intervals in the refractive index for embodying the diffraction grating periods changing at the equal intervals/unequal intervals for selectively guiding desired guided light as diffracted light and reflecting the guided light exclusive of the selected guided light as non-diffracted light as well as the optical waveguide and the process for producing the same.
所望の導波光を回折光として選択的に導波すると共に、選択導波光以外の導波光を非回折光として反射するための等間隔／不等間隔で変化する回折格子周期を実現するために屈折率を等間隔／不等間隔で変化させた回折構造を有する複屈折性材料から構成されるファイバーグレーティング１０並びに光導波路及びこれらの製造方法。 - 特許庁 - An optical waveguide 4 having a diffraction grid 13 is provided on the emitting side of a GRIN-SCH-MQW active layer 3 emitting laser beams to output the laser beams including at least two oscillation vertical modes within the half value width of an oscillation wavelength spectrum by combination-setting an oscillation parameter including a gain area formed by the GRIN-SCH-MQW active layer 3 and the wavelength selection characteristic of the diffraction grid 13.
レーザ光を発光するＧＲＩＮ−ＳＣＨ−ＭＱＷ活性層３の出力側に、回折格子１３をもつ光導波路４を設け、ＧＲＩＮ−ＳＣＨ−ＭＱＷ活性層３が形成する利得領域と回折格子１３の波長選択特性とを含む発振パラメータの組み合わせ設定によって発振波長スペクトルの半値幅内に２本以上の発振縦モードを含むレーザ光を出力する。 - 特許庁 - The display surface 2 of the display body including the optical diffraction structure is constituted of double structure having stripe pairs 6 of first and second linear stripes 6_1 and 6_2 which are adjacent to each other and parallel with each other and have different diffraction characteristics, and diffraction gratings 7_1 and 7_2 which constitute the linear stripes 6_1 and 6_2.
光回折構造を含む表示体の表示面２を、相互に隣接していて平行で、回折特性の異なる第１直線縞６_1 と第２直線縞６_2 の縞対６と、それら直線縞６_1 、６_2 を構成する回折格子７_1 、７_2 との二重構造で構成し、パターン領域Ｘ、Ｙの回折格子７_1 、７_2 の傾き角β_1 、β_2 、縞対６の傾き角αが相互に同じで、縞対６のピッチｄ_1 、ｄ_2 が相互に異なるものとすることにより、目視状態では隠しパターンＸ又はＹは判別困難であるが、隠しパターンの縞対６のピッチｄ_1 又はｄ_2 と同じピッチの透明部と不透明部からなる判別具をその上に重ね合わせることで、隠しパターンＸ又はＹが判別可能となる。 - 特許庁 - The compact has a region having different orientation in a uniaxial pressing direction, and the difference between the full width at half maximum in the X-ray diffraction peak of the main crystal face in the same region and the full width at half maximum in the other region is ≥0.05°.
一軸加圧方向における配向度が異なる領域を有し、当該領域における主要な結晶面のＸ線回折ピークの半値全幅と他の領域における半値全幅の差が０．０５°以上である。 - 特許庁 - The optical fiber 14 is inserted in the optical fiber insertion hole 16, and a part on which the diffraction grating 12 of the optical fiber 14 is bonded to the inner wall of the optical fiber insertion hole 16 of the ferrule 18 through adhesives 28.
光ファイバ１４は、光ファイバ挿入孔１６に挿入されており、光ファイバ１４の回折格子１２が形成された部分は、接着剤２８を介してフェルール１８の光ファイバ挿入孔１６の内壁に接着されている。 - 特許庁 - The external threads 30 are screwed into or out of the internal thread section 12 and is thus moved in the rectilinear direction C, by which the rotation of the diffraction grating 20 in the direction A through the threads side recessed part 32 and the optical parts side projecting part 22 is made possible.
雄ネジ３０を雌ネジ部１２内にて螺入あるいは螺出させて直線方向Ｃに移動させることで、ネジ側凹部３２ならびに光学部品側凸部２２を介して、回折格子２０を方向Ａに回転可能にした。 - 特許庁 - The tunable optical filter is provided with an elastic substrate (104), a diffractive element (102) in the elastic substrate, an actuator (106) for stretching the elastic substrate to control the pitch of the diffraction element, a 1st optical path (110) and a 2nd optical path (112).
可調光フィルタは、弾性基板（１０４）、弾性基板内の回折素子（１０２）、弾性基板を伸長させて回折素子のピッチを制御するためのアクチュエータ（１０６）、第１の光路（１１０）及び第２の光路（１１２）を備える。 - 特許庁 - A femto-second pulse beam P_1 (ω, k_1) (ω denotes a frequency and k_1 denotes a wavenumber) is stationarily transmitted from a first light source 73 through an optical medium (sample) 71 and a diffraction grating 71a is formed at the optical medium (sample) 71.
第１の光源７３から光媒体（試料）７１に対してフェムト秒パルス光Ｐ_１（ω、ｋ_１）（ωは周波数、ｋ_１は波数）が定常的に透過しており、光媒体（試料）７１に回折格子７１ａが形成されている。 - 特許庁 - The second surface 12 totally reflects one of the light of the zeroth order component of the long wavelength and the light of the q-th order (q≠0, q=an integer) diffraction component of the short wavelength region which are transmitted through the first surface and transmits the other one of the light.
第２の面１２は、上記第１の面を透過した長波長域の０次回折成分の光と短波長域のｑ次（ｑ≠０，ｑ＝整数）回折成分の光とのうちの一方を全反射し、他方を透過させる。 - 特許庁 - Before beams are condensed to the photodetectors, the beams are condensed to the separate photodetectors on the inner side and outer side of the luminous fluxes by diffraction gratings and the respective spherical, radial comatic, an tangential comatic aberration signals are obtained by the computation of the respective photodetectors.
光検出器に集光する前に、回折格子により光束の内側と外側を別々の光検出器に集光させるようにし、それぞれの演算により球面、ラジアルコマ、タンジェンシャルコマの各収差検出信号を得る。 - 特許庁 - To provide a pattern drawing method for contact X-ray lithography wherein drawing is carried out by moving the zeroth-order diffraction image of an opening formed in a mask relatively with respect to a substrate applied with a photosensitive agent, and which enables high-contrast continuous drawing.
マスクに形成した開口部の０次回折像を、感光剤を塗布した基板に対して相対移動させることにより描画する近接Ｘ線リソグラフィのパターン描画方法であって、コントラストの高い連続描画を可能にする。 - 特許庁
- 特許庁
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