「interferometer」を含む例文一覧(1556)
＜前へ 1 2 .... 20 21 22 23 24 25 26 27 28 .... 31 32 次へ＞- A folded Sagnac fiber optic acoustic sensor array (1200) operates in a manner similar to a Sagnac interferometer but uses a common delay path to reduce distributed pickup in downlead fibers.
折り畳みサニャック光ファイバ音響センサアレイ（１２００）は、サニャック干渉計と同様の態様で動作するが共通の遅延経路を用いてダウンリードファイバにおける分散ピックアップを低減する。 - 特許庁 - To provide a measuring method using an oblique incidence interferometer with which the shapes of a plurality of faces arranged at the positions different from each other in their height direction can be measured collectively and with high accuracy.
高さ方向の異なる位置に配置された複数の面の形状を一括でかつ高精度に測定できる斜入射干渉計を用いた測定方法を提供する。 - 特許庁 - The splitter unit 120, the first waveguide 131, the second waveguide 132, and the directional coupler unit 140 form an optical interferometer that branches an input light and causes the branched light to interfere.
分岐部１２０、第一導波路１３１、第二導波路１３２および干渉部１４０は、入力光を分岐し、分岐した各光を干渉させる光干渉計である。 - 特許庁 - The system error measuring apparatus is equipped with an optical unit 2 to be installed on a photoconducting path for luminous flux to be inspected, on the occasion of measuring the system error of the interferometer 3 for wavefront measurements.
システム誤差計測装置は、波面測定用干渉計３のシステム誤差の計測を行なう際に、被検光束の導光路上に設置される光学ユニット２を備えている。 - 特許庁 - Variations in a linear motor drive signal is suppressed, by adding a circuit which decreases an external disturbance peculiar to an installed environment which is superimposed, when the output of the laser interferometer is inputted to a servo circuit.
レーザ干渉計出力をサーボ回路に入力する際に重畳する設置環境特有の外乱を低減する回路を付加して、リニアモータ駆動信号の変動を抑制する。 - 特許庁 - The light intensity of the interferometer 8 is minimized in the vicinity of the sensor gap of the load cell 6 and detected as a light correlation signal by an optical detector 9.
ギャップ可変ファブリペロー型干渉計８は、ファブリペロー型ロードセル６のセンサギャップ間隙近傍で光強度が最小となり、光検出器９により光相関信号として検出される。 - 特許庁 - Each step in the step-shaped part 10 is measured by a white-color interferometer to measure height of the glass member contact part 11 for the optical function surface 9 with high precision.
階段形状部１０の各段差を白色干渉計によって測定することで、光学機能面９に対するガラス部材接触部１１の高さを高精度で計測することができる。 - 特許庁 - To provide an imprint apparatus capable of quickly filling gas in a gap between a substrate and a mold in high concentration at the time of imprint processing, while suppressing the gas leak to an optical path of an interferometer.
干渉計の光路へのガス漏れを抑制しつつ、インプリント処理時に基板とモールドとの隙間にガスを迅速に高い濃度に充填させるインプリント装置を提供する。 - 特許庁 - To provide a position detection device capable of detecting highly accurately the position of a wafer stage, even if a temperature distribution, a pressure distribution or the like is generated on a measuring beam optical path of a laser interferometer.
レーザー干渉計の測定ビーム光路上に温度分布や圧力分布等が生じていても、ウエハステージの位置を高精度に検出する位置検出装置を提供する。 - 特許庁 - An infrared ray generated by an FTIR 5 provided with an interferometer gets incident into the sample 2, and total-reflected in an inside of the sample 2 to be emitted from the specified surface a of the sample 2.
干渉計を備えたＦＴＩＲ５で発生する赤外光が試料２に入射し、試料２の内部で全反射して前記試料２の特定の表面ａより出射する。 - 特許庁 - Since an actuator for stage position control and a laser interferometer read position for stage position measurement are always fixed regardless of a position of a stage, design of a control controller is easy.
ステージ位置制御のためのアクチュエータとステージ位置計測のためのレーザ干渉計読み取り位置とが、ステージの位置によらず常に一定となるため、制御コントローラの設計が容易となる。 - 特許庁 - To provide a method of evaluating the shape of an aspheric lens for accurately evaluating the aspheric shape in a short time without complicating an interferometer and without increasing cost.
干渉計の複雑化、コスト高を招くことなく、短時間で非球面形状の評価を精度良く行うことのできる非球面レンズの形状評価方法を提案すること。 - 特許庁 - A single or multiple measuring mirror(s) 30 and/or measuring laser beam 20 of an interferometer system are positioned so that no relevant part of the laser beam is parallel to the z-direction.
レーザ・ビームの関連する部分がｚ方向に平行にならないように干渉計システムの１つ又は複数の測定ミラー３０及び／又は測定レーザ・ビーム２０を配置する。 - 特許庁 - To provide a point-diffraction interferometer capable of inspecting surface quality of an extreme ultraviolet lithography optical system using a high-order harmonic X-ray source with excellent coherence.
干渉性が優秀な高次高調波エックス線光源を利用して超紫外線リソグラフィー用光学系の表面品質を検査できるエックス線干渉計測装置を提供する。 - 特許庁 - To provide an interferometer displacement measuring system of high precision to be used in a lithography projector even when the pressure and temperature in an optical path of measurement beams and reference beams are disturbed externally.
測定ビームおよび基準ビームの光路内の圧力および温度の外乱があっても、精度の高いリソグラフィ投影装置で使用するための干渉計変位測定システムを提供する。 - 特許庁 - An individual adjustment part 12 adjusts the phase shifter of the interferometer 1b based on the output signal from the optical detector 2a and an output signal from the optical detector 2b.
個別調整部１２は、光検出器２ａの出力信号および光検出器２ｂの出力信号に基づいて、遅延干渉計１ｂの移相要素を調整する。 - 特許庁 - The control circuit 34 determines the position of the measuring object point based on this information and the position information of the moving stage 50 output from an interferometer system 14 and 16.
制御回路３４は、この情報と干渉計システム１４および１６から出力される移動ステージ５０の位置情報とに基づいて測定対象点の位置を求める。 - 特許庁 - A Michelson interferometer (10) is provided which is adapted to receive an input signal(IS) and the continuous optical signal generated by the source (2) to generate an output signal(OS).
入力信号(IS)と、ソース(2)によって生成された連続的な光信号とを受け取って、出力信号(OS)を生成するように構成されたマイケルソン干渉計(10)が設けられる。 - 特許庁 - Such an optical locating system as an interferometer is provided with a super luminescent device(SLD) (for example, laser diode having at least one anti-reflection coating surface) and a detector.
光学的位置測定システム（例えば、干渉計）は、スーパールミネッセントデバイス（ＳＬＤ）（例えば、少なくとも１つの反射防止コート表面を有するレーザダイオード）と検出器とを有している。 - 特許庁 - The first interferometer 18 is fixed to the fixed frame 12, the first mirror 34 to the first frame 24, the second mirror to the second frame, and the third mirror 38 to the stage 26.
第１干渉計１８は固定フレーム１２に、第１ミラー３４は第１フレーム２４に、第２ミラーは第２フレームに、第３ミラー３８はステージ２６に、それぞれ取り付けられている。 - 特許庁 - To provide a method of measuring lens aberrations, dispensing with inclination adjusting work to make an optical axis of an interferometer coincide with a lens optical axis, and shortening the total measurement time.
干渉計の光軸とレンズ光軸を一致させるための傾き調整作業が不要になり、全体の測定時間を短縮できるレンズ収差測定方法を提供する。 - 特許庁 - The sample 4 is measured and irradiated with a light from a radiation source 1, including a tunable laser in an interferometer 10 provided with a reference arm 12 and a measurement arm 13.
この目的のために、同調可能レーザを含む放射源１の光により、基準アーム１２および測定アーム１３を備えた干渉計１０内でサンプル４を放射測定する。 - 特許庁 - To provide the alignment method of an optical inspection equipment, including an interferometer in which the man-hours of adjustment setting can be reduced, and the precision of inspection measurement can be made high and the mechanism of the optical inspection equipments.
調整設定の工数が削減され、検査測定の精度が高い干渉計を含んだ光学検査装置のアライメント方法およびその機構を提供することを目的とする。 - 特許庁 - Then, based on the position calculated by the Michelson interferometer and the distance which is calculated based on time of flight, a distance to a long-distance measuring object is calculated.
そして、マイケルソン干渉計により算出された位置と、飛行時間により算出された距離とに基づいて遠距離にある測定対象物Ｗまでの距離を算出する。 - 特許庁 - This instrument is structured to measure reference balls 9 in a noncontacting manner by using a measurement optical head 5 comprising an interferometer as a position measuring means for measuring the positions of the reference balls 9.
基準球９の位置測定を行う位置測定手段として、光学的干渉計による測定光学ヘッド５を用い、非接触により基準球９を測定するように構成した。 - 特許庁 - To realize an interferometer system and a method of an optical interferometry for measuring a moving body, which carry out the optical interferometry for a test body having an object section to be measured which is moved sequentially.
測定対象となる部分が順次移動するような被検体を光干渉計測し得る動体測定用干渉計装置および動体測定用光干渉計測方法を得る。 - 特許庁 - To obtain a rotationally symmetrical aspherical shape measuring instrument which is capable of measuring a shape of a target surface constituted by a rotationally symmetrical aspheric surface without changing a relative position of an interferometer to the target surface.
回転対称な非球面からなる被検面の形状を、干渉計と被検面との相対位置を変えることなく測定可能な回転対称非球面形状測定装置を得る。 - 特許庁 - For example, the 1st Mach Zehnder interferometer M1 has a 1st port r1 provided to one end M1a and a 2nd port r2 and a 3rd port r3 provided to another end M1b.
例えば、第１のマッハツェンダ干渉計Ｍ１は、一端Ｍ１ａに設けられた第１のポートｒ１と、他端Ｍ１ｂに設けられた第２及び第３のポートｒ２，ｒ３とを有する。 - 特許庁 - To highly accurately measure a scanning quantity of an aspherical face to be inspected without using reflected rays of light in the neighborhood of a vertex of the aspherical face to be inspected in aspherical face measurement by a scanning type interferometer.
走査型干渉計による非球面測定において、被検非球面の頂点付近反射光を使用せずに被検非球面の走査量を高精度に測定する。 - 特許庁 - To unwrap the entire two-dimensional data within an effective area even when there is a lack of data in an unwrap method and apparatus for two-dimensional data by an interferometer.
干渉計による２次元位相デ−タのアンラップ方法および装置において、データの欠落があっても有効領域内の２次元位相データ全体をアンラップすることができるようにする。 - 特許庁 - A return reflector 210 can be a plane mirror that directs returning beams to retrace paths through the interferometer optical system to combine and exit along the axis of the input beam.
リターン反射器（２１０）は、干渉計光学系を通る光路をリトレースして結合し、入力ヒ゛ームの軸に沿って出射するようにリターンヒ゛ームを配向する平面ミラーとすることができる。 - 特許庁 - In an optical circuit of Mach-Zehnder interferometer, physical lengths of the parts (that is, branched waveguide) located between 3-dB couplers 13, 14 of input/output waveguides 11, 12 are equal to each other.
マッハツェンダー干渉計光回路は、入出力導波路１１，１２のうち、３−ｄＢカップラー１３，１４間に位置する部分（つまり分岐導波路）の物理的長さが等しくなっている。 - 特許庁 - To perform two-dimensional driving of a movable body continuously even upon occurrence of a fault in the measuring instrument system by switching servo control by an encoder system to servo control by an interferometer system.
エンコーダシステムによるサーボ制御から干渉計システムによるサーボ制御への切り換えを行い、計測器系の異常発生時にも、移動体を継続して２次元駆動する。 - 特許庁 - To provide a laser interferometer which can properly reflect reference light, can surely cause the reflected reference light and measurement light to interfere with each other, and can reduce the number of components.
参照光を適切に反射できて、反射された参照光と測定光とを確実に干渉させることができ、部品点数も削減できるレーザ干渉計を提供する。 - 特許庁 - When a fault is detected in the encoder system or the wafer stage deviates from the measurement region of the encoder system, switching is made to drive control based on the measurements of the interferometer system.
エンコーダシステムの異常が検知された際、又はウエハステージがエンコーダシステムの計測領域から外れた際には、干渉計システムの計測結果に基づく駆動制御に切り換える。 - 特許庁 - To embody a microoptelectronic mechanical system(MOEMS) device capable of providing a silicon optical bench(SiOB) device with a switching function to avert many of the performance threhoslds of an interferometer switch.
干渉計スイッチの性能限界の多くを回避するスイッチング機能をシリコンオプティカルベンチ（ＳｉＯＢ）デバイスに提供することができるマイクロオプトエレクトロメカニカルシステム（ＭＯＥＭＳ）デバイスを実現する。 - 特許庁 - An absolute distance measuring device based on a laser interferometer can combine measurement technologies of low, intermediate, and high resolution to determine an absolute distance to the surface of a sample.
レーザ干渉計に基づく絶対的距離測定装置は、低、中、高解像度の測定技術を組み合わせて、サンプル表面までの絶対的距離を高解像度で求めることができる。 - 特許庁 - Further, a beam interruption means 120 interrupting an optional part of the divided first beam or second beam is provided between the beam dividing means 100 and the interferometer 2.
そして、分割された第１のビームまたは第２のビームのうち任意の部分を遮断するビーム遮断手段１２０をビーム分割手段１００と干渉計２との間に備える。 - 特許庁 - To provide the shearing interferometer, etc., which can obtain interference fringes in two mutually orthogonal directions with simple constitution without using any rotating mechanism or switching mechanism, etc.
回転機構、又は切り換え機構等を使用せずに、簡易な構成で、相互に直交する２方向について各々干渉縞を得ることができるシアリング干渉計等を提供すること。 - 特許庁 - To provide a laser interferometer which can obtain stable measurement precision without any variation in the angle of a reference mirror and a reflecting mirror to a half-mirror in spite of vibration, secular changes, etc.
ハーフミラーに対する参照ミラーと反射ミラーの角度が振動や経年変化等によっても変動せず、安定した測定精度が得られるレーザー干渉計を提供する。 - 特許庁 - To provide an interference fringe analytical method and an aberration measuring method capable of coping quickly with modulation of a space carrier at low cost, in a spatial phase shift method for a multiwavelength interferometer.
多波長干渉計の空間的位相シフト法において高速、かつ、低コストで空間キャリアの変調に対応できる干渉縞解析方法及び収差測定方法を提供する。 - 特許庁 - The laminar flow 51 of the gas under test has been fed to an entire optical measurement path between the gas side reflecting mirror 13B and a gas laser interferometer 30 formed by a gas laser beam Pb.
気体レーザ光束Ｐｂが形成する気体側反射鏡１３Ｂと気体レーザ干渉計３０との間の光学的測長光路全体に被検気体の層流５１を流した。 - 特許庁 - In this interferometer 1, a polarized beam splitter 2, a Faraday rotator 3, a cubic half mirror 4 and a wavefront modulator 5 are provided, in this order along the route of light 21, before wavefront modulation.
干渉計１において、波面変調前の光２１の経路に沿って、偏光ビームスプリッタ２、ファラデーローテータ３、立方体型ハーフミラー４、波面変調器５をこの順に設ける。 - 特許庁 - To provide a coordinate calibration method capable of efficiently calibrating the abscissas of measurement data of a surface shape measured with an interferometer, and that is easily applicable to various kinds of objects to be inspected.
干渉計で測定した面形状測定データの横座標を効率的に校正可能であって、多種多様な被検物にも容易に適用可能な座標校正方法を提供する。 - 特許庁 - To provide a micro movable element suitable for suppressing rotational displacement regarding a movable part performing translational displacement motion at driving, and an optical interferometer including such a micro movable element.
駆動時に並進変位動作する可動部について回転変位を抑制するのに適したマイクロ可動素子、および、そのようなマイクロ可動素子を含んでなる光干渉計を提供する。 - 特許庁 - DEVICE FOR EXECUTING ALL OPTICAL SWITCHING OF LIGHT SIGNAL, METHOD FOR CHANGING OVER LIGHT SIGNAL BY USING LIGHT PUMP MD METHOD FOR USING SAGNAC INTERFEROMETER LOOP AS OPTICAL SWITCH
光信号のオ—ル・オプティカル・スイッチングを行なうための装置、光ポンプを使用して光信号を切換えるための方法、および、サニャック干渉計ル—プを光スイッチとして使用する方法 - 特許庁 - To provide a Michelson type interferometer capable of measuring at high resolution an absolute value of a wavelength of light having 0.5nm or less of wavelength, and a spectral diffraction element used therefor.
０．５ｎｍ以下の波長を有する光の波長の絶対値を高い分解能で測定することができるマイケルソン型干渉計及びそれに用いられる結晶分光素子を提供する。 - 特許庁 - To prevent the occurrence of an uncontrollable state by stably operating a bias point stabilized feedback loop in a method for generating multiplier waves employing an optical interferometer type modulator.
光干渉計型変調器を用いて逓倍波を発生させる手法において、バイアス点安定化フィードバックループを安定に動作させ、制御不能な状態になることを防止する。 - 特許庁 - A position measurement system comprises: the laser interferometer measuring a position to be measured by utilizing the interference of laser beams; and the wavelength detector detecting a change in the wavelength of laser beams.
位置計測システムは、レーザ光の干渉を利用して測定対象の位置を計測するレーザ干渉計と、レーザ光の波長の変化を検出する波長検出器とを有する。 - 特許庁 - The optical surface measuring device is characterized by measuring more correctly detailed surface conditions of an object to be measured by utilizing concurrently signals of an interferometer and focal error signals of a PSD.
干渉計の信号及びＰＳＤの焦点誤差信号を共に利用することで、測定対象物の微細な表面状態をより正確に測定することを特徴とする。 - 特許庁
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