「interferometer」を含む例文一覧(1556)
＜前へ 1 2 .... 19 20 21 22 23 24 25 26 27 .... 31 32 次へ＞- The Mach-Zehnder interferometer 204 is composed by being provided with two MMI optical couplers 205_1 and 205_2, and two waveguide arms 202_1 and 203_1 arranged between them.
マッハツェンダ干渉計２０４は、２つのＭＭＩ光カプラ２０５_1、２０５_2と、それらの間に配置された２本の導波路アーム２０２_1、２０３_1を備えた構成となっている。 - 特許庁 - Measurement values of an interferometric measurement system are corrected for variations of atmospheric conditions such as pressure, temperature and turbulence using measurement values from a second harmonic interferometer.
干渉計測システムの測定値は、第２高調波干渉計からの測定値を使用して、圧力、温度および乱流のような大気の状態の変動に対して補正される。 - 特許庁 - The whole shape is measured by stitching a plurality of microscopic measured data by a Michelson type microinterferometer by using the whole shape data by a Fizeau type interferometer.
フィゾー型干渉計による全体形状データを用いて、マイケルソン型顕微干渉計による複数の顕微測定データをスティッチングして全体形状を測定する。 - 特許庁 - To provide a two-wavelength laser interferometer capable of preventing a measurement error based on difference between optical axes of two kinds of light waves with different wavelengths and achieving highly accurate measurement.
波長の異なる２種類の光波の光軸のずれに基づく測定誤差を防止し、高精度な測定が実現可能な２波長レーザ干渉計を提供する。 - 特許庁 - To provide a method for easily manufacturing a Mach-Zehnder interferometer type optical element having desired characteristics, and to provide a tool used for the manufacturing method.
所望の特性を有するマッハツェンダ干渉計型光学素子を容易に製造することができる方法、および、この製造方法において用いられる治具を提供する。 - 特許庁 - To obtain a measuring instrument capable of highly efficiently measuring a surface shape during working even at a middle working stage before the stage where the surface shape measuring becomes possible with an interferometer, in a aspherical working.
非球面加工において、加工中段、干渉計による測定が可能になる前の段階での面形状測定を高効率に行う測定器を得ることにある。 - 特許庁 - To provide a delay interferometer for stably and exactly demodulating an optical signal subjected to DQPSK modulation or DPSK modulation and a demodulator having the same.
ＤＱＰＳＫ変調またはＤＰＳＫ変調された光信号を安定且つ正確に復調するための遅延干渉計及びこれを備える復調器を提供する。 - 特許庁 - An EO element 8 by a lithium niobate wave-guiding channel is arranged in a Sagnac interferometer, and an voltage 7 of a measuring object is impressed thereto.
サニャック干渉計中にはニオブ酸リチウム導波路によるＥＯ素子８が１つ配置され、ここに測定対象となる電圧７が印加されるようになっている。 - 特許庁 - To provide a Fabry-Perot interferometer capable of heightening light shielding capacity of an aperture, even when a metal layer or a doping layer expected to function as the aperture is not used.
アパーチャとして機能させるための金属層やドーピング層を用いなくても、アパーチャの光遮断能力を高めることができるファブリペロー干渉計を提供する。 - 特許庁 - A collimator optical system 11 applied to an interferometer 2 includes a light source 31 having a light emission surface 31a, a plano-concave lens 32, and a collimator lens 33.
干渉計２に適用されるコリメータ光学系１１は、光出射面３１ａを有する光源３１と、平凹レンズ３２と、コリメータレンズ３３とを備えている。 - 特許庁 - To calibrate a block gage without optical adhesion of the block gage to a plane substrate, when calibrating the block gage optically by using an interferometer.
ブロックゲージを干渉計を用いて光学的に校正するに際して、ブロックゲージを平面基板に光学密着させることなしにブロックゲージを校正することを可能にする。 - 特許庁 - To provide a signal arrival azimuth measuring apparatus capable of detecting arrival azimuth of radio wave correctly during the time of detection processing of radio wave arrival azimuth using interferometer system.
インターフェロメータ方式を用いた電波到来方位の探知処理時に、電波の到来方位を正確に探知できる信号到来方位測定装置を提供する。 - 特許庁 - To enable accurate and easy measurements and evaluation of dynamic linearity, using a laser interferometer for a laser displacement meter used for industrially important fields.
産業上において重要な分野で利用されているレーザ変位計について、レーザ干渉計を用いて動的線形性を正確且つ容易に計測し、評価できるようにする。 - 特許庁 - To provide a dispersion compensation controller which can optimally set the delay interferometer and the variable wavelength dispersion compensator in an optical receiver simultaneously and efficiently.
光受信装置内の遅延干渉計および可変波長分散補償器を同時かつ効率的に最適設定することのできる分散補償制御装置を提供する。 - 特許庁 - To provide a radiographic system obtaining an image utilizable in medical diagnosis or biological diagnosis by an inexpensive and small-sized X-ray source in a Talbot-interferometer system.
タルボ干渉計方式において、安価かつ小型のＸ線源で、医療診断・生物診断に利用可能な画像が得られるＸ線撮影システムを提供する。 - 特許庁 - Depending on the detected change in the interferometer beams, the control device adjusts the position of the stage 38, so that the circuit board is aligned with the optical axis of the lens cylinder 32.
干渉計ビームの検出された変化に応じて、制御装置は回路基板がレンズ筒３２の光学軸と位置合わせされるようにステージ３８の位置を調整する。 - 特許庁 - To provide a highly accurate and low cost compound lens in which a spherical aberration of each single lens constituting the compound lens is suppressed to a level measurable by a laser interferometer, etc.
複合レンズを構成する各単レンズの球面収差がレーザー干渉計等で測定できる程度に抑制された高精度かつ安価な複合レンズを提供する。 - 特許庁 - This interferometer 101, measuring the face shape of the optical element 5 by use of interference, has a reference wave front deforming system that causes the wave front of a reference light to be deformed.
干渉を利用して光学素子５の面形状を測定する干渉計１０１において、参照光の波面を変形させる参照波面変形システムを有する。 - 特許庁 - To provide an optical phase modulation evaluation apparatus capable of measuring a relative inter-bit phase difference of an optical phase modulation signal by arbitrarily changing an optical path length of an optical phase retarder provided in one of arms of a bit delay interferometer and giving different two optical phase differences ϕ between two arms of the bit delay interferometer.
ビット遅延干渉計の一方のアームに備えた光位相遅延器の光路長を任意に変化させて、ビット遅延干渉計の２つのアーム間に異なる２つの光位相差φを与えることによって、光位相変調信号の相対的なビット間位相差の測定を可能にした光位相変調評価装置を提供する。 - 特許庁 - A signal which has been extracted conventionally by using two delay interferometers can be extracted by one delay interferometer 130 by periodically changing a voltage value of an electric signal Vc(t) applied to one arm 130b of the delay interferometer 130 to periodically change a phase of light to π/4 and -π/4.
遅延干渉計１３０の一方のアーム１３０ｂに印加される電気信号Ｖｃ（ｔ）の電圧の値を周期的に変化させ、光の位相をπ／４と−π／４と周期的に変化させることにより、従来２つの遅延干渉計を用いて抽出してきた信号を、１つの遅延干渉計１３０で抽出できるようにする。 - 特許庁 - A filter 57 inputs the measured value of a reticle interferometer 16, a weighted integration value is outputted on the difference of an input to the filter 57 at a certain sampling point and an input to the filter 57 at one sampling point before the sampling point, low frequency noise components are eliminated in the measured value in the reticle interferometer 16.
フィルタ５７は、レチクル干渉計１６の計測値を入力し、あるサンプリング時点でのフィルタ５７への入力と、そのサンプリング時点の１サンプリング前のサンプリング時点におけるフィルタ５７への入力との差分の重み付け積算値を出力し、レチクル干渉計１６の計測値に含まれる低周波なノイズ成分を除去する。 - 特許庁 - To provide wide-band measurement which is not limited by the response time of a photodiode, a method which eliminates complicated control for an interferometer, a method for removing the intensity component of an optical signal under measurement mixing into a homodyne signal, and a method for reducing skew in the observation of in-phase, quadrature components by an optical signal electric field waveform measuring apparatus using a homodyne interferometer.
ホモダイン干渉計を用いた光信号の電界波形計測装置で、フォトダイオードの応答時間に制限されない広帯域計測と、干渉計の複雑な制御不要な手法と、ホモダイン信号に混入する被測定光信号の強度成分の除去手法と、同相、直交成分の観測時のスキュー低減手法を提供する。 - 特許庁 - Positional information in the Y-axis direction of a mobile object RST is measured by using an interferometer 16y and encoders ((24A, 26A_1), (24B, 26B_1)) having excellent short-period stability of measurement values as compared to the interferometer and, based on the measurement result thereof, a predetermined calibration operation is executed to acquire correction information for correcting the measurement values of the encoders.
移動体ＲＳＴのＹ軸方向の位置情報を、干渉計１６ｙと、該干渉計に比べて計測値の短期安定性が優れるエンコーダ（（２４Ａ，２６Ａ_1）、（２４Ｂ，２６Ｂ_1））とを用いて計測し、その計測結果に基づいてエンコーダの計測値を補正する補正情報を取得するための所定の較正動作を実行する。 - 特許庁 - The alignment sensor comprises an image rotary interferometer having an alignment illumination source and receiving electromagnetic radiation from a symmetrical alignment marks illuminated by the illumination source, and a detector for receiving the electromagnetic radiation from the interferometer, thereby obtaining the position of a central location of the alignment mark.
アライメント照明源を有し、前記アライメント照明源により照明された対称アライメントマークからの電磁放射を受信するイメージ回転形干渉計を有し、イメージ回転形干渉計からの電磁放射を受信する検出器を有し、それにより、対称アライメントマークのセンタロケーションの位置が求められるように構成されていることを特徴とするアライメントセンサ - 特許庁 - In order to measure the nonplanarity of the mirror, this interferometer contains a modulator which modulates the position of incoming beam for the interferometer, a synchronous detector which synchronously detects the interfering modulation beam, and a calculator which computes nonflatness of mirror area from effects on output signal of the synchronous detector caused by positional modulation of the incoming beam.
ミラーの非平坦度を測定するため、干渉計は、干渉計の入力ビームの位置を変調する変調器と、干渉した変調ビームを同期検出する同期検出器と、入力ビームの位置変調が同期検出器の出力信号に及ぼす影響からミラーの区域の非平坦度を計算する計算器とを有する。 - 特許庁 - An optical receiver 1 includes: an I branch 10a provided with a delay interferometer 11a, a balanced photo-detector 12a and a data reproduction circuit 14a; a Q branch 10b provided with a delay interferometer 11b, a balanced photo-detector 12b and a data reproduction circuit 14b; a signal processor 15; and phase adjusters 16a, 16b.
光受信装置１は、遅延干渉計１１ａ、バランス型光検出器１２ａ、及びデータ再生回路１４ａが設けられたＩブランチ１０ａと、遅延干渉計１１ｂ、バランス型光検出器１２ｂ、及びデータ再生回路１４ｂが設けられたＱブランチ１０ｂと、信号処理部１５と、位相調整部１６ａ，１６ｂとを備える。 - 特許庁 - The stage device for measuring the position of a stage by using the interferometer and the mirror reflecting light from the laser interferometer comprises a mirror shape calculation means for calculating the shape of the mirror, and a temperature regulating means for regulating the temperature of the mirror on the basis of output from the mirror shape calculation means.
レーザ干渉計と、前記レーザ干渉計からの光を反射するミラーとを用いてステージの位置を計測するステージ装置であって、前記ミラーの形状を算出するミラー形状算出手段と、前記ミラー形状算出手段からの出力に基づいて、前記ミラーの温度を調節する温度調節手段とを備えることを特徴とする。 - 特許庁 - In the method for controlling optical characteristics of the waveguide type optical component by using light induction type refractive index changes, the waveguide type optical components has a Mach-Zehnder interferometer arranged in an optical circuit and two arms of the Mach-Zehnder interferometer are irradiated with ultraviolet light of polarized waves of different directions.
光誘起型の屈折率変化を利用した導波路型光部品の光学特性調整方法であって、導波路型光部品が光回路中にマッハ-ツェンダ干渉計を有し、このマッハ-ツェンダ干渉計の２本のアームに、異なる向きの偏波の紫外光を照射することを特徴とする導波路型光部品の光学特性調整方法。 - 特許庁 - In this control system; a filter 53 inputs the measured value of a wafer interferometer 18, a weighted integration value is outputted on the difference of an input to the filter 53 at a certain sampling point and an input to the filter 53 at one sampling point before the sampling point, and low frequency noise components are eliminated in the measured value in the wafer interferometer 18.
フィルタ５３は、ウエハ干渉計１８の計測値を入力し、あるサンプリング時点でのフィルタ５３への入力と、そのサンプリング時点の１サンプリング前のサンプリング時点におけるフィルタ５３への入力との差分の重み付け積算値を出力し、ウエハ干渉計１８の計測値に含まれる低周波なノイズ成分を除去する。 - 特許庁 - Ultrasonic pulses are generated in the thickness direction of the material 10, a surface displacement generated at a time when the ultrasonic pulses reach the surface of the material is detected by a Sagnac interferometer 50, two ultrasonic reflected echoes appearing in an output signal of the interferometer are mutually correlation-processed, and the propagation time of the ultrasonic waves is computed.
超音波パルスを材料１０の厚さ方向に発生させ、該超音波が材料表面に到達する時に生ずる表面変位をサニャック干渉計５０によって検出し、該干渉計の出力信号の中に現れる２つの超音波反射エコーを相互相関処理することにより材料内の超音波伝搬時間を演算する。 - 特許庁 - Thereby, the time for transmitting the temperature controlled air from the temperature controller 12 through the wind ducts 14x and 14y to the light axes of the X-axis laser interferometer 2 and the Y-axis laser interferometer 3 are same as the time for transmitting the temperature controlled air from the temperature controller 12 to the wavelength compensator 1 through the wind duct 14c.
前記温度制御された気体が送風ダクト１４ｘ、１４ｙを経由して温調器１２からＸ軸レーザ干渉計２の光軸及びＹ軸レーザ干渉計３の光軸に到達するまでの時間と、前記温度制御された気体が送風ダクト１４ｃを経由して温調器１２から波長補償器１に到達するまでの時間と、は同一である。 - 特許庁 - In this double refractive measuring instrument of the present invention, a nonreciprocal optical system is provided in a midway of a loop optical path of a ring interferometer, an orthogonal polarization mode is designed to propagate a measured sample to both directions, and a signal processing technique for an optical fiber gyro is applied to the ring interferometer.
上記の目的を達成するために本発明に係わる複屈折率測定方法はリング干渉計のループ光路の途中に非相反光学系を設け直交する偏光モードが被測定試料を両方向に伝播するように設計しリング干渉計として光ファイバジャイロの信号処理技術を応用したことにある。 - 特許庁 - By using the optical loop interferometer, a loop-like optical fiber in the optical loop interferometer is made to vibrate according to the rotary speed of a vane that is rotated by fluid to generate a change in the intensity of interference light, and the flow rate or the flow velocity of the fluid is measured, based on the generation interval of a signal for indicating the change in the intensity.
光ループ干渉計を用い、流体によって回転する翼車の回転速度に応じて前記光ループ干渉計におけるループ状光ファイバを加振することにより干渉光の強度に変化を生じさせ、この強度の変化を示す信号の発生間隔に基づいて前記流体の流量又は流速を測定する。 - 特許庁 - In the interferometer which has a telecentric optical system 301, it is characterized by having a rotating mechanism 60 that a center axis 51 of a group of at least two lenses 205, 206 constituting the telecentric optical system 301 rotates around an optical axis 50 at the different position from the optical axis 50 of the interferometer.
テレセントリックな光学系（３０１）を有する干渉計において、前記テレセントリックな光学系（３０１）を構成する少なくとも２つから構成されるレンズ（２０５，２０６）群の中心軸（５１）を、前記干渉計の光軸（５０）と異なる位置で前記光軸（５０）を中心として回転させる回転機構（６０）を有することを特徴とする。 - 特許庁 - In a control unit 11, the position of an object 19 is controlled through a drive mechanism 16, on the basis of a measured result by an interferometer 24 for measuring the position of the first part 19.
制御装置１１では、第１部分１９の位置を計測する干渉計２４の計測結果に基づいて駆動機構１６を介して物体１９の位置を制御する。 - 特許庁 - Generally in one mode, this is the system equipped with the interferometer including the main assembly which has polarizing beam splitter interfaces displaced in two lateral directions.
一般的に、一態様においては、本発明は、２つの横方向に変位している偏光ビーム・スプリッタ界面を有する主アセンブリを含む干渉計を備える装置を特徴とする。 - 特許庁 - The two-light flux interferometer uses two kinds of single lights and envelope-processes light intensity distribution of interference stripes detected with an imaging device.
最近、測定範囲の拡大に二種類の単色光を利用した二光束干渉計及びその利用方法が提案されているが、干渉縞の位相を計算するための時間が膨大である。 - 特許庁 - To provide a Fizeau lens which can accurately measure a surface accuracy of the Fizeau lens even if a radius of curvature of a spherical surface to be detected is small with respect to an outer diameter and to provide a Fizeau interferometer.
被検球面の曲率半径が外径に対して小さいレンズであっても、その面精度測定を精度良く行うことが可能なフィゾーレンズ及びフィゾー干渉計を提供する。 - 特許庁 - An interferometer 100 is set up in such a way that an optical axis of measure light is tilted at a tilt angle of Φ_0 toward a surface of an optical disk substrate 150 which is an object to be measured.
干渉計１００が被測定物である光ディスク基板１５０の表面に対して計測光の光軸が傾斜角Φ_０で傾斜するように設置されている。 - 特許庁 - While the interferometer section 154 is driven so as to approach or depart to or from the examinee T, the tomographic images of the examinee T may be obtained in accordance with the signals obtained by the photodetector D.
干渉計部１５４が、被検体Ｔに近接又は離反するように駆動される間に光検出器Ｄにより得られる信号に基づき、被検体Ｔの断層像が得られる。 - 特許庁 - An optical image of pattern drawn on a mask is acquired while using measurement results of a laser interferometer with a stage which holds the mask moving in X-direction and Y-direction (S100).
マスクを保持したステージをＸ方向及びＹ方向に移動させ、レーザ干渉計の測定結果を用いながら、マスクに描画されたパターンの光学画像を取得する（Ｓ１００）。 - 特許庁 - A laser irradiation device, composed of a laser oscillator, an interferometer composed of a mirror and a half-mirror, an optical modulator, a focusing lens mounted on a linear translator, an objective lens and a galvanomirror, is used.
レーザ発振器、ミラーとハーフミラーで構成した干渉計、光変調器、リニアトランスレータに搭載された集光レンズ、対物レンズ、およびガルバノメータミラーからなるレーザ照射装置を用いる。 - 特許庁 - To provide an apparatus and method for measuring the thickness and profile of a transparent film using a white-light interferometer, capable of simultaneously measuring the thickness and surface profile of the transparent thin film.
透明薄膜の厚さと表面形状を同時に測定することのできる、白色光干渉計を用いた透明薄膜の厚さ及び形状の測定装置及び方法を提供する。 - 特許庁 - The interferometer 1 has a half mirror 12 for branching an incident light beam L0 into multiple branched light beams L1, L2, and makes the light beam L1, L2 branched by the half mirror 12 to interfere with each other.
干渉計１は、入射光Ｌ０を複数の分岐光Ｌ１，Ｌ２に分岐するハーフミラー１２を備えており、ハーフミラー１２で分岐された分岐光Ｌ１，Ｌ２を干渉させるものである。 - 特許庁 - To provide a lithographic projection apparatus, in which interferometer systems 6, 8, 14, 15, and 16 have a capacity area, extending over a measurement station 4 and a exposure station 2, and a method.
干渉計システム６、８、１４、１５、１６が第１の測定ステーション４及び第２の露光ステーション２にわたって広がる能力範囲を有するリソグラフィ投影装置１及び方法。 - 特許庁 - To measure a shape of a wafer (thickness distribution) with high accuracy without being affected by errors of flatness of a reference surface of an interferometer even when a main side of the wafer is mirror-finished and a back side of the wafer is coarse.
ウェハの主面が鏡面，その裏面が粗面であっても，干渉計基準面の平坦度の誤差に影響されずに精度よくウェハの形状（厚み分布）を測定すること。 - 特許庁 - To provide an XY stage, having the function of preventing collision of slider portions with each other at their returning to the home positions, and calceling the accumulated detection errors generated at a connection part of a laser interferometer.
原点復帰時のスライダ部同士の衝突を防止し、レーザ干渉計のつなぎ箇所にて発生する累積検出誤差をキャンセルする機能を備えたＸＹステージを実現する。 - 特許庁 - To easily provide a result of shape measurement that is not affected by an error of phase shift occurring when phase shift in an interferometer is performed optically using a plurality of polarizing plates.
干渉計における位相シフトを複数の偏光板を用いて光学的に行う場合に生じる位相シフトの誤差の影響を受けない形状測定の結果を簡易に得る。 - 特許庁 - The first entangled photon pair generating source has a first photon generating source 11, a first asymmetric Mach-Zehnder interferometer 12, and a first polarization/time delay adding device 13.
１つめの縺れ光子対発生源は，第１の光子発生源１１と，第１の非対称マッハツェンダー干渉計１２と，第１の偏光・時間遅延付与装置１３と，を有する。 - 特許庁 - The filter region is a Sagnac interferometer functioning as a loop mirror, and has a structure in which ring resonators 1, 2 structured of a 2×2 optical coupler and optical waveguide are arranged in a loop.
フィルタ領域は、ループミラーとして機能するサニャック干渉計であり、２×２光カプラ及び光導波路で構成されるリング共振器１及び２がループ内に配置された構成をとる。 - 特許庁
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