「interferometer」を含む例文一覧(1556)
＜前へ 1 2 .... 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 32 次へ＞- To provide an optical wave interference measuring instrument, which can measure the movement quantity of a body moving extremely rapidly accurately by reducing errors which are possibly generated at switching between a 1st and a 2nd interferometer as to a light wave interference measuring instrument which measures the movement quantity of a body which is moving rapidly.
本発明は、高速で移動する物体の移動量を測定する光波干渉測定装置に関し、第１及び第２の干渉計の切替時に生じうる誤差を減少させて高速に移動する物体の移動量を極めて正確に測定することのできる光波干渉測定装置を提供することを目的とする。 - 特許庁 - To provide an interferometer device for measuring a large-sized sample acquiring in a short period of time a plurality of interference fringe images corresponding to portions in a domain to be measured necessary for aperture synthesis, respectively, and measuring highly accurately thickness irregularities over the whole area of the domain to be measured of a specimen, concerning the large-sized sheet-shaped specimen.
シート状の大型の被検体において、開口合成に必要な被測定領域内の各部分に対応した複数の干渉縞画像を短時間で取得することが可能で、被検体の被測定領域全域に亘る厚みムラを高精度に測定し得る大型サンプル測定用干渉計装置を得る。 - 特許庁 - This allows a single spectrum of the order of picometers to be obtained, which is far narrower than the reflection bandwidth of a fiber-optic Bragg grating which has been used so far as a sensor, and allows a wavelength to be detected with a good SN ratio even for a slight wavelength shift by a bandpass type wavelength detector such as one using a Fabry-Perot interferometer.
これにより従来、センサとして使用されていた光ファイバブラッググレーティングの反射帯域幅より遥かに狭いピコメータオーダの単一のスペクトルを得ることができ僅かな波長シフトでも帯域通過型の例えばファブリペロー干渉計を用いた波長検波器でSN良く波長を検出できる。 - 特許庁 - Next, using the sub-reference ferrule 51 provided with the value of the intrinsic top eccentric amount, the displacement amount between a pseudo top and the center point of the tip surface 54 is measured, and the tilt of the clamp section 20A of a micro-interferometer 10A to be calibrated is calibrated based on the difference between the displacement amount and the intrinsic top eccentric amount.
次に、固有頂点偏心量の値が付された副基準フェルール５１を用いて、先端面５４の擬似頂点と中心点との位置のずれ量を測定し、該ずれ量と固有頂点偏心量との差に基づき、被較正顕微干渉計１０Ａのクランプ部２０Ａの傾きを較正する。 - 特許庁 - Two refractive index varying regions 13 composed of an SOA are symmetrically provided in a multi-mode interferometer (MMI) 1 which has two optical input ports 11A and 11B and two optical output ports 12A and 12B, and the refractive index varying regions 13 are so arranged to include two points on which the light in the MMI 1 is once concentrated.
２つの光入力ポート１１Ａ，１１Ｂ及び２つの光出力ポート１２Ａ，１２Ｂを有するＭＭＩ１の内部にＳＯＡからなる２つの屈折率変化領域１３が対称に設けられており、屈折率変化領域１３は、ＭＭＩ１内部の光が一度集中する２点を含むように配置される。 - 特許庁 - When performing an angle measurement processing on an arrival signal by an interferometer system, the angle measurement processing device receives the arrival signal by a plurality of antenna elements for angle measurement in an antenna part, obtains the reception level received by one of the antenna elements and the reception level received in a sum pattern as a synthesized beam, and compares them.
インターフェロメータ方式により到来する信号の測角処理を行う際に、到来する信号を空中線部内の測角用の複数のアンテナ素子で受信し、その中の１つのアンテナ素子で受信した受信レベルと、合成ビームとして和のパターンにより受信した受信レベルとを取得して、これらを比較する。 - 特許庁 - A 1st port 121 and a 2nd port 122, a half-mirror 123, and a 1st mirror 124 and a 2nd mirror 125 which constitute an optical system of a Michelson interferometer are fixed at respective positions on a substrate 126, and a 1st member 126a and a 2nd member 126b are combined whose signs of a coefficient of linear expansion are different to each other.
基板１２６は、マイケルソン干渉計の光学系を構成する第１ポート１２１、第２ポート１２２、ハーフミラー１２３、第１ミラー１２４および第２ミラー１２５それぞれの位置を固定するものであって、線膨張係数の符号が互いに異なる第１部材１２６ａと第２部材１２６ｂとが組み合わされたものである。 - 特許庁 - Optical synchronized tomographic equipment comprises a light source that radiates a short-wavelength light and passes it through a phosphor for converting to first beam having a wide-band wavelength; an interferometer for dividing the first beam into second and third beams; and a reflector for reflecting the second beam as the reference beam.
短波長光を放射し、蛍光体に通過させることで広帯域波長の第１光線に転換される光源、前記第１光線を第２光線と第３光線に分ける干渉計、および前記第２光線を反射させ、参照光線にする反射鏡を備えた光学同調断層撮影装置。 - 特許庁 - To provide an interference optical system for measuring wave fronts, capable of obtaining interference light carrying wave front information of an inspected beam, even when the inspected beam is a beam of low interference, that is less likely to be affected by vibration or the like, and capable of easily regulating the alignment, and to provide an interferometer provided therewith.
被検光束が低可干渉光束である場合でも、被検光束の波面情報を担持した干渉光を得ることが可能であり、かつ振動等の影響を受け難くアライメントも容易に調整し得る波面測定用干渉光学系、およびこれを備えた波面測定用干渉計装置を得る。 - 特許庁 - The interference measuring method uses a transmissive zone plate forming both a first wave surface being a null wave surface for a test plane and a second wave surface being a null wave surface for a Fizeau plane by using a pair of equivalent opposite sign graded transmission diffractive lights, in addition to use of an interferometer and a Fizeau lens for the test plane measurement.
干渉計と、被検面測定用のフィゾーレンズとを使用した干渉測定に、被検面に対するヌル波面である第１波面、及びフィゾー面に対するヌル波面である第２波面を、等量反対符号の次数の一対の透過回折光により形成する透過型ゾーンプレートを使用する。 - 特許庁 - In the shearing interferometer using diffraction gratings, two or more kinds of diffraction gratings which have the same operating wavelength and different pitches, and at least one kind of diffraction grating which has an operating wavelength differing from the same operating wavelength, are made up on their common substrate or support body.
回折格子を用いたシアリング干渉計測装置において、使用波長が同じでピッチの異なる回折格子を二種類以上と、前記使用波長と異なる第二の使用波長用の回折格子を少なくとも一種類を同一の基板、または、同一の支持体上に構成したことを特徴とする。 - 特許庁 - Between the first and second optical couplers 121, 122 in the Mach-Zehnder interferometer, the temperature dependency of the refractive index of a clad in a certain section 112B of the second optical waveguide 112 is different from those in the first waveguide 111 and the other optical waveguide portions 112A, 112C of the second optical waveguide 112.
マッハツェンダ干渉計において第１光カプラ１２１と第２光カプラ１２２との間で、第２光導波路１１２の一部区間１１２Ｂのクラッドの屈折率の温度依存性は、第１光導波路１１１および第２光導波路１１２の他の光導波路部分１１２Ａ，１１２Ｃと異なる。 - 特許庁 - To reduce a magnetic field position detecting error and acquire a desired torque for controlling a synchronous motor in a mechanical system for a low guide friction (an air slider) and a high resolution position detector (a laser interferometer) and a general application not limiting the position detector resolution, guide friction and load mass.
低ガイド摩擦(例えば、エアスライダ)・高分解能位置検出器(例えば、レーザ干渉計)の機構系だけでなく、位置検出器分解能・ガイド摩擦・負荷質量が限定されない汎用的用途においても、界磁極位置検出誤差を少なくし、かつ、同期電動機を制御する上で所望なトルクを得ることができるようにする。 - 特許庁 - Since a light beam at regular pitches on the incident side of an fθ lens is irradiated to the spherical surface at angles of regular pitches by using the fθ lens as a means for creating spherical waves to irradiate the spherical shape in the interferometer for evaluating the spherical shape, it is possible to acquire shape information at regular pitches to the spherical surface.
球面形状を評価する干渉計において球面形状に照射する球面波を生成する手段としてｆθレンズを用いることによりｆθレンズの入射側において等ピッチな光線は球表面に対して等ピッチな角度で照射されるため球表面に対して等ピッチな形状情報を取得することができる。 - 特許庁 - The interferometer system comprises: a synchronous signal generating section 43 for setting up an instantaneous photographing period so as to fall within a light reception acceptable period of a photographing surface 33; and an AOM 13 and an AOM driver 14 which are used for irradiating the test body 7 with a measurement light beam emitted from a semiconductor laser light source 11 only during the instantaneous photographing period.
撮像面３３の受光許容期間内に含まれるように瞬間的撮像期間を設定する同期信号生成部４３と、半導体レーザ光源１１から出射された測定用光束が、この瞬間的撮像期間にのみ被検体７に照射されるためのＡＯＭ１３およびＡＯＭドライバ１４とを備える。 - 特許庁 - To correct the deviation of the optical path length easily and in real time between a waveguide through which measuring light and reflection light pass and a waveguide through which reference light passes caused by the variation of ambient temperature of an interferometer in an optical tomographic imaging apparatus to obtain a tomographic image by performing the frequency analysis of the interference light of the measuring light and reference light.
測定光と参照光の干渉光の周波数解析を行うことにより断層画像を取得する光断層画像化装置において、干渉計の周辺温度の変化に起因して生じる、測定光と反射光が通る導波路および参照光が通る導波路の間の光路長のずれを、リアルタイムで容易に補正可能とする。 - 特許庁 - A surface wave 9 and the elastic wave 10 in the irradiation are detected with the lapse of time by a laser interferometer 8 for collimating the surface 2 of the diagnosed portion 4, the presence of an internal defect 5 or a buried body in the concrete structure 1 in the diagnosed portion 4 is diagnosed based on a waveform change from detection of the surface wave 9 to detection of the final elastic wave 10.
被診断部位４の表面２を視準するレーザ干渉計８により前記照射時の表面波９と弾性波10とを経時的に検出し、表面波９の検出から最終の弾性波10の検出までの波形変化から被診断部位４におけるコンクリート構造物１の内部欠陥５又は埋設物の有無を診断する。 - 特許庁 - The surface shape of the information recording medium is measured in a prescribed area with an optical interferometer or an AFM, to conduct line analysis in the direction along the circumference, the product of a PSD, corresponding to a prescribed wavelength ν and frequency f being the reciprocal of the prescribed wavelength ν, that is, PSD×f, is computed, and the maximum value of PSD×f is at most a prescribed value.
情報記録媒体の表面形状を所定領域において、光干渉計またはＡＦＭで測定し、円周方向に沿った方向でライン解析し、所定の波長νに対応するＰＳＤと当該所定の波長νの逆数である周波数ｆとの積ＰＳＤ×ｆを算出し、これの最大値を所定の値以下とする。 - 特許庁 - The optical interferometer 100 includes a lighting optical system 110, a noninterference beam generation part 120 for multiplexing an object light with a reference light under a noninterference condition to form a noninterference beam, an interference fringe generation means 130 for generating an interference fringe by interference of the noninterference beam, and a CCD camera 140 for imaging the interference fringe.
光学干渉計１００は、照明光学系１１０と、物体光と参照光とを無干渉状態で合波して無干渉光とする無干渉光束生成部１２０と、無干渉光束を干渉させて干渉縞を生成する干渉縞生成手段１３０と、干渉縞を撮像するＣＣＤカメラ１４０と、を備える。 - 特許庁 - In other words, by applying a required arithmetic processing to the XY coordinate of a mounting stand 82a obtained using laser interferometers 83d and 83e and the Z coordinate of the stylus 11 obtained using a laser interferometer 91b while they are associated with each other by a controller 99, the three-dimensional surface shape of the optical surface of the optical element OE can be measured.
つまり、レーザ干渉計８３ｄ，８３ｅを利用して得た載置台８２ａのＸＹ座標と、レーザ干渉計９１ｂを利用して得た触針１１のＺ座標とを、制御装置９９で対応付けつつ必要な演算処理を行うことにより、光学素子ＯＥの光学面の３次元的な表面形状を測定することができる。 - 特許庁 - Kinetic acceleration on the end surface generating when the elastic wave pulses generating by the collision of the missiles reached the other end of the metal rod is measured with the acceleration sensor, the motion on the end surface is measured with a laser interferometer, or measured with a strain gauge installed on the side surface of the metal rod, measured signals are calculated, or obtained data is appropriately corrected.
各飛翔体の衝突で発生した弾性波パルスが金属棒の他端部に到達したときに生じる端面の運動加速度を、加速度センサで計測し、また、前記端面の運動をレーザ干渉計で計測し、或いは金属棒側面に設けた歪ゲージで計測し、計測信号を演算し、また適宜補正を行う。 - 特許庁 - Ultraviolet laser light emitted from a laser light source 20 is condensed onto an arrangement position of a pinhole 22 having a smaller diameter than the diameter of an Airy disk of the ultraviolet laser light, and allowed to pass the pinhole 22, to thereby acquire ultraviolet laser light having an approximately stigmatic spherical wave, and the ultraviolet laser light is introduced into the interferometer 1.
レーザ光源２０から出射された紫外レーザ光を集光レンズ２１により紫外レーザ光のエアリーディスクの直径よりも小さい直径を有するピンホール２２の配置位置に集光し、このピンホール２２を通過させることによりほぼ無収差の球面波を有する紫外レーザ光を得し、この紫外レーザ光を干渉計１に導入する。 - 特許庁 - By using the interferometer, a displacement, velocity sensor is realized.
本発明は、レーザー光が透過することが出来る薄膜光センサーを使用して、レーザー光源とミラーとの間の空間に、レーザー光源のレーザー光とミラーからの反射されたレーザー光との合成波による定在波を作成し、この定在波を横切って薄膜光センサーを配置して、定在波の空間干渉縞を検出するようにしたレーザー干渉計とこれを使用した変移、速度センサを実現したものである。 - 特許庁 - In this method, shape measurement for the lens under test which is to be turned about a rotating shaft R_2, performed as changing relative attitude of a microscope interferometer 1 is divided into two steps, such as a surface side measurement performed with the lens under test 9 supported from the rear face side; and a rear face side measurement performed with the lens under test 9 supported from the surface side.
回転軸Ｒ_２回りに回転せしめられる被検レンズ９に対し、顕微干渉計１の相対姿勢を変えながら行う形状測定を、被検レンズ９が裏面側から支持された状態で行う表面部の測定と、被検レンズ９が表面側から支持された状態で行う裏面部の測定とに分けて行う。 - 特許庁 - Accordingly, even when high n-ratio is accomplished by selecting the first to the fourth high refractive index films 3, 5, 7 and 9, and the materials of the second low refractive index layers 4 and 8, the second and the fourth high refractive index films 5 and 9 do not warp, thus the Fabry-Perot interferometer equipped with an optical multilayer mirror having a broad high reflection band is provided.
したがって、第１〜第４高屈折率膜３、５、７、９や第１、第２低屈折率層４、８の材料の選択により、高ｎ比を達成した場合にも、第２、第４高屈折率膜５、９が反る等の問題が発生しないため、高反射帯域が広い光学多層膜ミラーを備えたファブリペロー干渉計とすることが可能となる。 - 特許庁 - To smoothly and stably control the attenuation gain of a variable optical attenuator constituted by using an interferometer formed of an optical waveguide and a phase modulator using a thin-film h eater and to reduce both the PDL and TDL of an attenuation area which is used frequently for WDM optical communication, etc.
光導波路で形成される干渉計と薄膜ヒータによる位相変調器を用いて構成される可変光減衰器において、減衰利得の制御を円滑かつ安定に行うことができるとともに、ＷＤＭ光通信用途等にて使用頻度の高いアッテネーション領域におけるＰＤＬとＴＤＬを共に低減させる。 - 特許庁 - First and second multi-mode interferometers 72A and 72B constituted by forming nonlinear gain areas 71a and 71b on two arms 71A and 71B of a Mach-Zehnder optical interferometer at shifted positions and coupling the arms with each other are provided with mirrors 73A and 73B at one light input/output port to form an optical cavity.
マッハツェンダ型光干渉計の２本のアーム７１Ａ，７１Ｂのそれぞれに、位置をずらして非線形利得領域７１ａ，７１ｂを形成し、さらに前記２本のアームを結合する第１および第２のマルチモード干渉計７２Ａ，７２Ｂそれぞれにおいて、一つの光入出力ポートにミラー７３Ａ、７３Ｂを設け、光キャビティを形成する。 - 特許庁 - This interferometer apparatus body 1 includes: a beam splitter 3 for splitting the incident light beam into two parts; a mirror 8 and a mirror 9 for turning the direction of light beam reflected by the beam splitter 3, a lens 4, a pinhole 5 and a lens 6 for removing aberration from the light beam transmitted through the beam splitter 3; and a beam splitter 7 for coupling two split light beams.
干渉計装置本体１は、入射する光ビームを二つに分割するビームスプリッタ３と、ビームスプリッタ３で反射された光ビームの方向を変えるミラー８とミラー９と、ビームスプリッタ３を透過した光ビームから収差を取り除くためのレンズ４とピンホール５とレンズ６と、分割された二つの光ビームを結合させるビームスプリッタ７とを有している。 - 特許庁 - To provide an interferometer alignment system for determining interference fringe image data from a display, while dispensing with time for switching between two display screens of a moire fringe images and of an interference fringe image and the costs for preparing the two display screens, and easily checking the contrast of the interference fringes, the measurement area, and the generating status of noise.
モアレ縞画像と干渉縞画像の二つの表示画面を切り替える手間や二つの表示画面を用意するコストを不要としつつ、この表示から干渉縞画像データを判別することができ、干渉縞のコントラスト、測定領域、ノイズの発生状況の確認を容易に行うことができる干渉計アラインメントシステムを提供する。 - 特許庁 - The heterodyne interferometer includes a plurality of light receiving elements for photoelectrically converting a plurality of pieces of light having mutually different frequencies generated by diffraction or reflection of light applied from a light irradiation section by an object, and uses signals output from the light receiving elements to generate two periodic signals for generating information indicating a physical quantity relating to the object.
ヘテロダイン干渉計測装置は、光照射部から照射された光が物体で回折又は反射することで発生した互いに周波数が異なる複数の光を光電変換する複数の受光素子を含み、該受光素子から出力された信号を用いて、物体に関する物理量を示す情報を生成するための２つの周期信号を生成する。 - 特許庁 - The optical DQPSK receiver includes: a first branch and a second branch provided with a delay interferometer, a balanced detector and a data reproducing circuit in the order, respectively; the multiplier to which the preceding stage signal and post stage signal of the data reproducing circuit are input in at least one of the first branch and the second branch; and an amplitude detection circuit for detecting the amplitude of the output signal of the multiplier.
光ＤＱＰＳＫ受信機は、遅延干渉計、バランスド検出器、およびデータ再生回路をそれぞれ順に備える第１ブランチおよび第２ブランチと、第１ブランチおよび第２ブランチの少なくとも一方においてデータ再生回路の前段信号と後段信号とが入力される乗算器と、乗算器の出力信号の振幅を検出する振幅検出回路と、を備える。 - 特許庁 - The Mireau type interferometer objective lens includes: a lens which condenses light emitted from a light source onto a face to be detected; a beam splitter which reflects a part of the light condensed with the lens and passes the rest portion of the light; a substrate 6 provided between the lens and the beam splitter; and a mirror 7 provided on the lens side face of the substrate 6 and reflects the light reflected by the beam splitter.
ミロー型干渉対物レンズは、光源から出射される光を被検面に集光させるレンズと、レンズにて集光される光の一部を反射させるとともに、他を透過させるビームスプリッタと、レンズ、及びビームスプリッタの間に設けられる基板６と、基板６におけるレンズ側の面に設けられ、ビームスプリッタにて反射される光を反射させるミラー７とを備える。 - 特許庁 - The semiconductor optical delay interferometer has a semiconductor wave guide layer structure laminated and grown on a semiconductor substrate and is provided with a connection waveguide for guiding one branched light and a delay waveguide which guides the other branched light and has a path length longer than that of the connection waveguide by a delay length corresponding to one time slot of incident light being differentially phase-modulated light.
半導体光遅延干渉器は、半導体基板上に積層成長された半導体導波層構造を有し、分波光の一方を導波する接続導波路と、分波光の他方を導波し、差動位相変調光である入射光の１タイムスロットに相当する遅延長だけ接続導波路よりも長い経路長を有する遅延導波路とを備える。 - 特許庁 - The laser interferometer 1 includes: a laser light source 2 for emitting laser light with its central wavelength stabilized by modulating the laser light by a modulation signal having a predetermined frequency; a reference mirror 4; a measurement mirror 5; and a displacement detector 6 for detecting the displacement of the measurement mirror 5 based on interference light of the light reflected by the reference mirror 4 and the measurement mirror 5.
レーザ干渉計１は、所定の周波数を有する変調信号にてレーザ光を変調することでレーザ光の中心波長を安定化して射出するレーザ光源２と、参照鏡４と、測定鏡５と、参照鏡４、及び測定鏡５にて反射される光の干渉光に基づいて、測定鏡５の変位を検出する変位検出装置６とを備える。 - 特許庁 - A ganged thermo-optic phase shifter comprises: a Mach-Zehnder interferometer comprising two directional couplers 102a and 102b and an arm waveguide 103 connecting them; a phase shifter comprising double cores, thin film heaters 111 installed on the arm waveguide 103, and wiring 112 for supplying power to the heaters 111; and heat insulating grooves 121 formed on both sides of the arm waveguide 103.
２つの方向性結合器１０２ａ、１０２ｂとそれらを連結するアーム導波路１０３からなるマッハツェンダ干渉計と、二重コア、アーム導波路１０３上に設置された薄膜ヒータ１１１、およびそのヒータ１１１に電力を供給する配線１１２とからなる位相シフタと、アーム導波路１０３の両側に形成された断熱溝１２１とから構成されている。 - 特許庁 - An apparatus separately and independently comprises a first level block 1 mounting an exposure means, a bearing 9 which supports a slide shaft 8 for moving a stage base plate 5 which mounts samples to be exposed, and arranging an interferometer 13 of a laser length-measuring machine 6, which measures the location of the stage base plate 5 on the first level block 1.
露光手段を搭載する第１の定盤１と、露光される試料を搭載するステージ基板５を所定位置に移動するためのスライド軸８を支持するスライド軸受け９と駆動源としてのアクチュエータ７を搭載する第２の定盤２とを分離独立して備え、ステージ基板５の位置を計測するレーザー測長系６の干渉計１３を第１の定盤１に配置する。 - 特許庁 - The phase shift interferometer comprises: an illumination optical system 200 for emitting P wave and S wave; a collimate lens 110; a reference half mirror 120; a pinhole plate 130 having a pinhole 131; and a phase shift interference pattern acquiring section 300 for making object light included in a luminous flux passing the pinhole 131 interfere with the reference light at four different phases, and for acquiring interference patterns of differential phases.
Ｐ波とＳ波とを発射する照明光学系２００と、コリメートレンズ１１０と、参照ハーフミラー１２０と、ピンホール１３１を有するピンホールプレート１３０と、ピンホール１３１を通過する光束に含まれる物体光と参照光とを４つの異なる位相で干渉させて異なる位相の干渉縞を得る位相シフト干渉縞取得部３００と、を備える。 - 特許庁 - The white light interferometer has a first optical system for forming light path difference in the light from a white light source and a second optical system for detecting the light path difference of the light from the first optical system and the second optical system has a branch means for branching light into two lights and a photodetector for detecting the interference fringe formed by the light from the branch means.
白色光干渉計は、 白色光源からの光に光路差を生成するための第１の光学系と、該第１の光学系からの光の光路差を検出するための第２の光学系と、を有し、該第２の光学系は光を２つに分岐する分岐手段と該分岐手段からの光によって生成された干渉縞を検出するための光検出装置を有する。 - 特許庁 - An optical reflector which receives an input beam 22 and transmits a retroreflected reciprocal output beam 28 is provided with a beam splitter 20, which provides first and second parallel secondary beams 27 and 28 and backward reflecting means 21, which changes the directions of the secondary beams 27 and 28 toward the beam splitter 20 and forms a Sagnac interferometer.
入力ビーム２２を受け取り且つ後方反射した相反的出力ビーム２８を伝送する光反射器であって、互いに平行な第一の二次的ビーム２７及び第二の二次的なビーム２８を提供するビームスプリッタ２０と、各々が、二次的なビームをビームスプリッタに向けて方向変更し且つサニャック干渉計を形成する後方反射手段２１とを備える反射器。 - 特許庁 - The equalizer includes controllable interferometer means 101 to 105, which have a coupler 101, which divides light into two part arms 102 and 103 and has a controllable joint ratio, and two arms 102 and 103, one of which has an additional delay that equals an integral multiple of 1/Δf (Δf is a channel interval between adjacent wavelengths, which is used in an optical system).
このイコライザは、光を２つの部分アーム１０２、１０３に分割する、制御可能な結合比を持つカプラ１０１と、一方のアームが、１／Δｆ（Δｆは光学系で利用される互いに隣接する波長間のチャネル間隔である）の整数倍数に等しい追加の遅延を有する、２つのアーム１０２，１０３を有する制御可能な干渉計手段１０１〜１０５とを含む。 - 特許庁 - In a phase unwrapping method in interference fringe analysis using a plurality of interference fringe images acquired by phase shifts through the use of an interferometer for acquiring two-dimensional images of interference fringes, phase unwrapping to target pixels to which phase unwrapping is to be newly performed is determined only by using phase information of related pixels to which phase unwrapping is already performed in images.
干渉縞の２次元画像を取得する干渉計を用いて、位相シフトして取得された複数枚の干渉縞画像を使った干渉縞解析における位相接続方法において、新たに位相接続処理を行なう対象画素に対する位相接続判定を、既に画像内で位相接続されている関連画素の位相情報のみを用いて行なう。 - 特許庁 - The wavelength variable filter has such structure of a ladder interferometer that the length from an input port to an output port is increased or reduced by the same length difference ΔS in order along a path from the array waveguide 13-1 connected to the input port side, and a coupling factor of the optical coupler 15-N in an output port end is rationalized, and thus filter spectrum characteristics are flattened.
入力ポートから出力ポートまでの長さが、入力ポート側に接続されたアレー導波路１３−１を経路から順番に同じ長さの差ΔＳで増加又は減少するようなラダー干渉計の構造で構成され、出力ポート端の光結合器１５−Ｎの結合率を適正化して、フィルタスペクトル特性が平坦性を有するようにする。 - 特許庁 - This planar waveguide type variable optical attenuator 1 comprises a base board 100 and a Mach-Zehnder interferometer 101 composed of two optical waveguide arms 10 and 20 embedded in a clad 70 formed on the base board and having an optical path difference ΔL_0 and thin film heaters 110 and 120 arranged on the surface of the clad 70 and for adjusting the optical lengths of the optical waveguide arms 10 and 20.
平面導波路型可変光減衰器１は、基板１００と、基板上に形成されたクラッド７０内に埋設された光路長差ΔＬ_０を有する２本の光導波路アーム１０、２０と、クラッド７０の表面に配置され光導波路アーム１０、２０の光路長を調整する薄膜ヒーター１１０、１２０よりなるマッハツェンダ干渉計１０１から構成されている。 - 特許庁 - When a distance from a body of an interferometer to an object 110 or displacement is interferometrically measured by using laser beams of a plurality of wavelengths, obtaining interference measurement values that are measured at respective wavelengths, and expanding a measurement range by a synthetic wavelength that is equivalently longer than the wavelengths of the laser beams from combinations of the respective wavelengths, the wavelengths of the plurality of laser beams are measured by using an optical comb 104.
複数の波長のレーザ光により、各波長で測定される干渉測定値を得て、各波長の組み合わせからレーザ光の波長よりも等価的に長い合成波長で測定レンジを拡大して、干渉計本体から対象物１１０までの距離または変位を干渉測定する際に、複数のレーザ光の波長を、光コム１０４を用いて測定する。 - 特許庁 - A drive system drives the movable body based on measurement results of a first measurement system for measuring the position of the movable body in an XY plane and measurement results of a second measurement system for measuring variations in an arm member 71 via a laser interferometer by irradiating a grating RG disposed on one surface in parallel with the XY plane of the movable body WFS with measurement beams from the arm member 71.
駆動系により、アーム部材７１から移動体ＷＦＳのＸＹ平面に平行な一面に配置されたグレーティングＲＧに対して計測ビームを照射して移動体のＸＹ平面内の位置を計測する第１計測系の計測結果と、レーザ干渉計を用いてアーム部材７１の変動を計測する第２計測系の計測結果と、に基づいて移動体が駆動される。 - 特許庁 - The rear stage of the interferometer constituting the OCT system is provided with a light pulse time sharing multiplication unit which delays a second binding light pulse (interference light pulse) by a predetermined delay time behind a first binding light pulse (inference light pulse), and subsequently allowing the first binding light pulse to merge with the second binding light pulse to alternately emit the first binding light pulse and the second binding light pulse.
ＯＣＴ装置を構成する干渉計の後段に、前記第１の結合光パルス（干渉光パルス）に対して第２の結合光パルス（干渉光パルス）を所定の遅延時間遅らせた後、前記第１の結合光パルスと前記第２の結合光パルスを合流して、前記第１の結合光パルスと前記第２の結合光パルスを交互に出射する光パルス時分割多重化ユニットを設けること。 - 特許庁 - In the optical modulator 1, a ring optical waveguide 6 which constitutes a ring resonator 5 is provided in a position where light transmitted by a first optical waveguide 2 or a second optical waveguide 3 of a Mach-Zehnder interferometer 4 combines and an electrode 7 for changing the refractive index of the ring optical waveguide 6 so that the phase of the transmitted light is changed is provided along the ring optical waveguide 6.
光変調器１を、マッハツェンダ干渉計４の第１光導波路２又は第２光導波路３を伝搬する光が結合する位置に、リング共振器５を構成するリング光導波路６が設けられており、伝搬する光の位相が変化するようにリング光導波路６の屈折率を変化させるための電極７が、リング光導波路６に沿って設けられているものとする。 - 特許庁 - This interferometer 10 includes a beamsplitter 32 for splitting a source beam into a test beam 40 and the reference beam 42, an imaging device 24 for detecting an interference pattern, a mirror 38 for reflecting the test beam toward the imaging device, a micromirror 44 for reflecting a portion of the reference beam toward the imaging device and a focusing mechanism 34 for focusing the reference beam on the micromirror.
干渉計１０は、ソースビーム１４を試験ビーム４０及び基準ビーム４２に分割するビームスプリッタ３２と、干渉パターンを検出する結像デバイス２４と、前記試験ビームを結像デバイスの方向に反射するミラー３８と、前記基準ビームの部分を前記結像デバイスの方向に反射するマイクロミラー４４と、及び、前記基準ビームを前記マイクロミラーに集光する集光機構３４と、を含む。 - 特許庁 - A polishing surface plate having an open part for a laser beam to pass for chemical/mechanical polishing, a support stage for holding a wafer, a laser interferometer which generates a laser beam toward a wafer while detecting the beam reflected on the wafer, and a transparent resin insert which is transmissive provided at the open part for a laser beam to pass in the polishing surface plate, are provided.
ケミカルメカニカル研磨用に、（ａ）レーザービーム通過用の開口部を有する研磨定盤、（ｂ）ウエハを保持するための支持台、（ｃ）ウエハへ向けてレーザービームを発生させることが可能であり、かつ、ウエハから反射されてくる光を検出することが可能な、レーザー干渉計、及び、（ｄ）該研磨定盤の中のレーザービーム通過用の開口部に設置される光透過性の透明樹脂製インサートを備える研磨装置を作成する。 - 特許庁 - The optical device constituted by forming a Mach-Zehnder interferometer 3 equipped with first and second two optical waveguides on an output side on a substrate having an electrooptical effect, includes a curve to turn the second optical waveguide 3f to a direction parting from the first optical waveguide 3e and includes a monitor section 10 in a position shifted from the output end of the second optical waveguide having the curve.
出力側に第１、第２の２つの光導波路を備えたマッハツェンダ型干渉計３を、電気光学効果を有する基板上に形成した光デバイスにおいて、第２の光導波路３ｆを、第１の光導波路３ｅから離れる方向に反らせる湾曲部を備えるものとし、湾曲部を備えた第２の光導波路の出力端からずらした位置にモニタ部１０を備えるものとする。 - 特許庁
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