「interferometer」を含む例文一覧(1556)
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位相変調器１０２がＮＲＺＩ符号の駆動信号６により光１を駆動し、ＮＲＺＩ符号の光信号７を生成して、マッハツェンダー干渉計１０３に入力する。 - 特許庁 - A light wavelength measuring device is provided with a two light beam interferometer 1 which demultiplexes input light into two waves and multiplexes them again to measure the wavelength of light from the polarization.condition of the multiplexed wave.
入力光を二つに分波し再び合波する二光束干渉計１を備えた光波長測定装置であり、合波偏波状態から、被測定光波長を測定する。 - 特許庁 - Information is sent to an exposure device precision judging machine 40 from a temperature sensor 30, a reticle microscope 15, an interferometer 17, a sensor 18, a wafer alignment microscope 19, a flowmeter F, and a keyboard K.
露光装置精度判定機４０に、温度センサ３０、レチクル顕微鏡１５、干渉計１７、センサ１８、ウエハアライメント顕微鏡１９、流量計Ｆ及びキーボードＫから情報が送れる。 - 特許庁 - The amplitude of a drive signal supplied to the phase modulator may be controlled so that the sum of a positive phase signal optical intensity and an opposite phase signal optical intensity of the delay interferometer becomes largest.
遅延干渉計の正相信号光強度と逆相信号光強度との和が最大になるように、位相変調器に供給される駆動信号の振幅を制御してもよい。 - 特許庁 - Thus a parallel light having a large beam diameter can be used, and a measuring range is enlarged, so that a laser interferometer suitable for integration of each element can be constituted.
これにより、ビーム径の大きい、平行光を利用することが可能になり、測定範囲が大きく取れ、各素子の集積化に適したレーザー干渉計を構成することを可能にしたものである。 - 特許庁 - To provide an armature unit or the like which can reduce the temperature distribution of the inside and the surface of a jacket for cooling a coil to prevent deterioration of the detection accuracy of a laser interferometer.
コイルを冷却するジャケット内部及び表面の温度分布を低減することにより、レーザ干渉計の検出精度の悪化を防止することができる電機子ユニット等を提供する。 - 特許庁 - To provide a dimension measuring method capable of measuring accurately dimensions of a plurality of portions to be measured in a measuring object, without changing or large-scale-correcting a component and constitution of an interferometer.
干渉計の部品、構成の変更や大掛かりな補正をすることなく、被測定物の複数の被測定個所の寸法を正確に測定できる寸法測定方法を提供する。 - 特許庁 - The interferometer includes: an interferometer body having a CCD 31 for capturing interference fringes formed by a surface shape of a work W; a display section 70 for displaying images of interference fringes captured by the CCD 31; and a personal computer 60 for displaying a chart including a reference line that serves as an evaluation basis of interference fringes displayed at the display section 70.
本発明の干渉計は、ワークＷの表面形状によって形成される干渉縞を撮像するＣＣＤ３１を有する干渉計本体と、ＣＣＤ３１により撮像された干渉縞の画像を表示する表示部７０と、表示部７０に表示された干渉縞の評価基準となる基準線を含むチャートを表示させるパソコン６０とを備えることを特徴とする。 - 特許庁 - The heterodyne interferometer is provided with a laser light source 101 which emits two beams of laser light in the longitudinal mode having lasing frequencies different from each other under a condition being not supplied with a magnetostatic field strongly.
静磁場の積極的な印加を受ける環境を免れた環境下において相互に異なる発振周波数の２本の縦発振モードを有するレーザ光を出射するレーザ光源１０１を備えた。 - 特許庁 - The interferometer 342 splits the adjusted beam 348 into a first beam and a second beam and rotates the first and second beams so that the beams has a polarization angle of 180 degree with each other.
干渉計３４２は、調整されたビーム３４８を第１のビームと第２のビームとに分離し、一方のビームに対して他方のビームが１８０度となるよう第１のビームと第２のビームとを回転させる。 - 特許庁 - The humidity in an interferometer 12 including deliquescent optical materials such as transmitting windows for infrared light 5, 6, and 7 and a beam splitter 10 is controlled to be low with the heat produced at a heater 3 for a light source.
赤外光源用ヒータ３から発生する熱により、赤外光透過窓５、６、７、ビームスプリッタ１０等の潮解性を有する光学材料を含む干渉計１２内を低湿度に保つ。 - 特許庁 - Since the oblique incidence interferometer 1 is configured as a non-common optical path type, it is not necessary to precisely carry out control of a distance between a surface S to be measured and respective parts 200, 300, thereby providing the excellent user-friendliness.
斜入射干渉計１を非共通光路型とすることで、各部２００、３００と被測定面Ｓとの距離管理を精密に行うことを不要にし利便性を良好にする。 - 特許庁 - An interferometer is provided with a light source section 100 which emits light rays and a microscope section 200 which projects the light rays emitted from the section 100 toward objects 31 and 32 to be measured after transforming the light rays into parallel rays of light.
干渉計は、光を発する光源部１００と、光源部１００からの光を平行光にして測定対象物３１，３２に向けて照射する顕微鏡部２００を備えている。 - 特許庁 - Consequently, a condensed beam which is emitted from an interferometer 2 and condensed by an objective lens system 4, is projected on the surface of an object to be measured 5 as a size-adjustable condensed light spot P.
したがって、干渉計２から出射され、対物レンズ光学系４により集光される集光ビームは、被測定物体５の表面に大きさ可変な集光スポットＰとして照射される。 - 特許庁 - In the inspection apparatus, a control section 305 determines which algorithm should be used for the inspection on the basis of position coordinates from an X/Y interferometer 5, and controls a switch SW-A, thereby bringing image memories to store a reference image.
Ｘ／Ｙ干渉計５からの位置座標に基づき、制御部３０５は、どのアルゴリズムで検査するかを判定し、スイッチＳＷ−Ａを制御して画像メモリＭ１〜Ｍ４に参照画像を記憶する。 - 特許庁 - To provide a step-system proximity exposure method that can enhance the transfer accuracy of an exposure pattern onto a substrate, even when detection accuracy of an optical measurement sensor, such as a laser interferometer, tends to deteriorate.
レーザ干渉計等の光学的計測センサの検出精度が低下しやすい場合であっても、基板上の露光パターンの転写精度を高めてることができるステップ式近接露光方法を提供する。 - 特許庁 - The optical modulating device 100 is equipped with a light source 101, the phase modulator 102, a Mach-Zehnder interferometer 103, an optical band-pass filter 104, an NRZ/NRZI converter 105, and a driving circuit 106.
光変調装置１００は、光源１０１と、位相変調器１０２と、マッハツェンダー干渉計１０３と、光バンドパスフィルタ１０４と、ＮＲＺ／ＮＲＺＩ変換器１０５と、駆動回路１０６とを備える。 - 特許庁 - The multiplexed light Lc is divided into light fluxes of wavelengths λ1 and λ2, and a measuring signal of a sine wave of one period is obtained for (1/2)λ1 movement and (1/2)λ2 movement by the principle of a Michelson interferometer.
この合波光Ｌｃを波長λ１、λ２の光束に分離し、マイケルソン干渉計の原理により、（１／２）λ１移動及び（１／２）λ２移動に対して１周期の正弦波の測定信号を得る。 - 特許庁 - The interferometer comprises light sources (110, 220) by which a first beam equipped with a first polarization and a first frequency and a second beam equipped with a second polarization and a second frequency are output.
本発明の干渉計は、第１の偏光と第１の周波数を備えた第１のビームと第２の偏光と第２の周波数を備えた第２のビームとを出力する光源（１１０、２２０）を有する。 - 特許庁 - To provide an optical fiber fixing method for reducing an influence on optical fibers caused by distortion and thermal expansion of an adhesive, and also to provide an optical fiber interferometer using this method.
接着剤の歪み及び熱膨張による光ファイバへ与える影響を低減することを可能とする光ファイバの固定方法及びこれを用いた光ファイバ干渉計を実現すること。 - 特許庁 - By the exposure device, the position information on the measurement stage is measured by the interferometer system 118, and the position information of the wafer stage WST is measured by the encoder systems (70A-70F).
このため、露光装置によると、干渉計システム１１８により計測ステージの位置情報が計測され、エンコーダシステム（７０Ａ〜７０Ｆ）によってウエハステージＷＳＴの位置情報が計測される。 - 特許庁 - This sensor is used in the field of electric communication application in the present, the optical fiber interferometer is driven using a narrow-band light source such as a semiconductor laser for increasing stability of a wavelength, and using a wide-band light source.
現在、電気通信応用で用いられ、波長の安定性を増大させる半導体レーザ等の狭帯域光源、および広帯域光源を用いて、光ファイバー干渉計を駆動させ得る。 - 特許庁 - An analyzer 11 analyzes the second interference fringe image acquired by the second interferometer I_2, and detects a displacement of the reflecting flat mirror F_1 with respect to a predetermined measuring position set previously.
解析装置１１は、第２の干渉計Ｉ_2により取得された第２の干渉縞画像を解析し、予め設定された所定の測定位置に対する折り返し平面ミラーＦ_1の位置ずれを検出する。 - 特許庁 - The Talbot interferometer guides light that is emitted by a light source 1 and passes through an inspection-object optical system L to a sensor part M that includes a diffraction grating 3 and an image pickup device 4 to measure a wave front of the inspection-object optical system.
トールボット干渉計は、光源１から発せられて被検光学系Ｌを通った光を、回折格子３および撮像素子４を含むセンサ部Ｍに導き、被検光学系の波面を計測する。 - 特許庁 - The receiver inputs the second photon to the Sagnac interferometer after passing it through the polarization plate at a time 2 subsequent to the time 1 to interact with reference light in the nonlinear optical material.
受信者は時刻１よりも後の時刻２に第２の光子を、上記偏光板を通過させた後で上記サニャック干渉計に入力し、非線形光学材料中で参照光と相互作用させる。 - 特許庁 - The first liquid-crystal cell 161 and the second liquid-crystal cell 162 transmit the light branched in the optical interferometer and delay the light according to applied signals, respectively.
第一液晶セル１６１および第二液晶セル１６２のそれぞれは、光干渉計において分岐された各光のうちの一方の光を通過させ、通過させる光を印加信号に応じて遅延させる。 - 特許庁 - The first measurement light 16c reflected by the slight movement Z mirror 13 is returned to an interferometer 7 via the reflector 16a, thus measuring a position in the first direction of the slight movement stage 3.
微動Ｚミラー１３により反射された第１の計測光１６ｃを反射鏡１６ａを介して干渉計７へ戻して微動ステージ３の第１の方向における位置を計測する。 - 特許庁 - Optical waveguides 4, 5, 6, 7, 8, 9, 12 constituting an interferometer are formed on a planar lightwave circuit substrate 3, and a refractive index changer 11 for changing a refractive index of a part of the optical waveguides is provided.
平面光波回路基板３に干渉計を構成する光導波路４，５，６，７，８，９，１２を形成し、その光導波路の一部の屈折率を可変する屈折率可変器１１を設ける。 - 特許庁 - Thus, even when the chamber 3 receives a vacuum pressure and is deformed, a positional relationship between the column 1 and the interferometer 21 is maintained, and hence the measuring error of the stage position can be suppressed to a small value.
これにより、試料室３が真空負圧を受けて変形した場合においてもカラム１と干渉計２１との位置関係が維持され、ステージ位置の計測誤差を小さく抑えることができる。 - 特許庁 - The surface position sensor comprised of a focus sensor FS is used to measure the surface position of a measuring surface S on a stage, and the measured result is compared with that of another sensor such as an interferometer, for example.
フォーカスセンサＦＳより構成される面位置センサを用いてステージ上の計測面Ｓの面位置を計測し、その計測結果を、例えば干渉計などの別センサの計測結果と比較する。 - 特許庁 - To heighten the degree of integration in a lattice type optical filter formed by alternately longitudinally connecting symmetrical Mach Zehnder interferometer circuits (symmetrical MZIs) and optical path length difference setting circuits of asymmetrical MZIs in a multistage shape.
対称マッハツェンダ干渉計回路（対称ＭＺＩ）と非対称ＭＺＩでなる光路長差設定回路とを交互に多段縦列接続したラティス型光フィルタにおける、集積度を高める。 - 特許庁 - To find such interference order of the light wave interferometer, which takes a size measurement of a ≥1/2 wavelength with two kinds of wavelengths by an easy method, that the measurement results based upon the two kinds of wavelength equal each other.
２種の波長により２分の１波長以上の寸法測定を行う光波干渉計において、簡易な方法で２種の波長による測定結果が一致する干渉次数を求める。 - 特許庁 - To provide a control method and a control circuit for electric power to be supplied to a heater in an optical interferometer which controls a transmitted light frequency by refractive index variation of an optical waveguide due to heat.
熱による光導波路の屈折率変化により透過光周波数を制御する光干渉計において、ヒータに供給する電力の制御方法および制御回路を提供する。 - 特許庁 - A prescribed phase shift Δϕj of a light signal guided in this waveguide (j) is caused, and consequently the correction of aberrations of an interference pattern of the multibeam interferometer lasts a long time.
この導波路ｊを案内される光信号の規定された位相シフトΔφ_ｊが生じ、それにより、マルチビーム干渉計における干渉パターンの収差の補正が長持ちすることになる。 - 特許庁 - A cutoff frequency of a filter part for removing a nonlinear error component included in a measurement signal of the laser interferometer is set to an inverse number (1/Ta) of a cycle Ta of digital control of acceleration of the stage.
レーザ干渉計の測定信号に含まれる非線形誤差成分を除去するフィルタ部のカットオフ周波数を、ステージの加速度のデジタル制御の周期Ｔａの逆数（１／Ｔａ）に設定する。 - 特許庁 - When a wavelength (λ_1) of the input signal(IS) corresponds to the wavelength (λ_2) of the source, the source (2) is switched off and the output signal(OS) is a replica of the input signal(IS) regenerated at the interferometer (10).
入力信号(IS)の波長(λ_１)が、ソースの波長(λ_２)に一致するときには、ソース(2)はオフに切り換えられ、出力信号(OS)は、干渉計(10)で再生される入力信号(IS)の複製となる。 - 特許庁 - The mirror 11 introduces the laser light emitted from a laser light source to the reference mirror 13, and at the same time, the laser light reflected by the reference mirror 13 to a laser interferometer in reverse, via the same route.
オフセットミラー１１は、レーザ光源から発射されたレーザ光をリファレンスミラー１３へ導くとともに、リファレンスミラー１３で反射されたレーザ光を、往路と逆の経路を辿ってレーザ干渉計へ導く。 - 特許庁 - An optical signal of a first wavelength λ1 to be transmitted downwards and an optical signal of a second wavelength λ2 to be transmitted upwards are multiplexed/demultiplexed by an optical multiplexer/demultiplexer 20 of a Mach-Zehnder interferometer.
下り方向に伝送される第１の波長λ１の光信号と上り方向に伝送される第２の波長λ２の光信号とを、マッハツェンダー干渉計型の光合分波器２０で合分波する。 - 特許庁 - To prevent relative variations in the position measurement among a plurality of interference optical systems, in an interferometer system equipped with a plurality of interference optical systems used for position measurement on the same axial direction.
同一軸方向の位置計測に用いられる複数の干渉光学系を備える干渉計システムにおいて、複数の干渉光学系の間での位置計測の相対変化を防止する。 - 特許庁 - To determine a refractive index of a step part of a transparent film covering the surface of a measured object and a physical film thickness from which an influence of the refractive index is removed, accurately at high speed by utilizing an interferometer.
測定対象物の表面を覆う透明膜の段差部分の屈折率と当該屈折率の影響を除去した物理膜厚とを干渉計を利用して精度よく、かつ高速に求める。 - 特許庁 - To provide a method capable of measuring an optical axis direction of measuring light even in a laser interferometer in which a positioning range of a target is narrower than ever before and an optical axis of the measuring light is fixed.
ターゲットの位置決め範囲が従来より狭く、かつ、測定光の光軸が固定されたレーザ干渉計であっても、測定光の光軸方向を測定可能な方法を提供すること。 - 特許庁 - An optical carrier phase difference detecting section 30 has an optical carrier interferometer 32 and an interference signal detecting section 34 further including an optical-to-electrical converter 36 and a peak detection circuit 40.
光搬送波位相差検出部30は、光搬送波干渉計32と干渉信号検出部34とを具えており、更に干渉信号検出部は、光電変換器36と、ピーク検出部40とを具えている。 - 特許庁 - To provide a near-infrared spectral analyzer having a constitution in which a detector receiving interference light and converting it into an electric signal is placed outside an interferometer, and the interference light is guided into the detector by an optical fiber.
干渉光を入光して電気信号に変換する検出器を干渉計の外部におき、干渉光を光ファイバで検出器に導く構成にした近赤外分光分析計を提供する。 - 特許庁 - In this interferometer for measuring the surface shape of an optical element by utilizing interference, a reference wave front generation unit for generating a wave front which is a measurement reference of the surface shape is installed in an optical path to be inspected.
干渉を利用して光学素子の面形状を測定する干渉計において、該面形状の測定基準となる波面を生成する基準波面生成ユニットを被検光路中に設けている - 特許庁 - To disclose an optical transmitter including a laser source, a modulator for generating a differential phase shift keyed signal, and a delay interferometer having at least one input and at least one output.
レーザ源、差動位相偏移変調信号を生成する変調器、ならびに、少なくとも１つの入力および少なくとも１つの出力を有する遅延干渉計を含む光送信器が開示される。 - 特許庁 - To stably and precisely measure the absolute shape of a spherical mirror and lens, and to measure the absolute shape of a spherical mirror and lens having a long radius of curvature, in a Fizeau type interferometer.
フィゾー型干渉計における、安定的で高精度な球面レンズ、ミラーの絶対形状計測、さらに曲率半径の大きな球面レンズ・ミラーの絶対形状計測を目的としている。 - 特許庁 - A measuring optical fiber 10 within the measurement area 12 includes two first measuring optical fibers 20, 21 of a Mach-Zehnder interferometer (MZI) 19 and a second measuring optical fiber 22 for polarization fluctuations detection.
測定領域１２内の測定用光ファイバ１０は、マッハツェンダー干渉計（MZI）１９の２本第１測定用光ファイバ２０，２１と、偏波変動検出用の第２測定用光ファイバ２２と、を備える。 - 特許庁 - Only the change amount due to the rotation of the lens to be inspected is calculated on the basis of the Zernike-coefficient, and the aberration amount of the lens to be inspected, in which the aberration amount of the interferometer is removed from the change amount is calculated.
そして、ツェルニケ係数から被検レンズの回転に伴う変化量のみを算出し、この変化量から干渉計が持つ収差量を除去した被検レンズの収差量を算出する。 - 特許庁 - A computer 70 computes the acoustic velocity of the transverse waves, on the basis of waveform data on the second laser beam detected by an interferometer 50 and compares the temperature measured by a temperature sensor 80 with a prescribed temperature.
コンピュータ７０は、干渉計５０で検出された第二レーザビームの波形データから横波の音速を算出すると共に、温度センサ８０により測定された温度を所定温度と比較する。 - 特許庁 - The measuring apparatus has a main interferometer, which emits a light beam on an object and receives its reflected light for measuring information about the position of the object.
被計測物体に対して計測用の光ビームを出射してその反射光を受光することにより該被計測物体の位置に関する情報を計測する主干渉計を備えた計測装置である。 - 特許庁
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