「interferometer」を含む例文一覧(1556)
＜前へ 1 2 .... 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 32 次へ＞- In order to trim the array waveguide grating 1 of the integrated optical multibeam interferometer consisting of many (N) waveguides (i), at least one of those waveguides (i) is processed over an area Bj of its optical path length Lj only by irradiation varying the core refractive index nj.
多数（Ｎ個）の導波路ｉからなる集積された光マルチビーム干渉計のアレイ導波路格子１のトリミングのために、これらの導波路ｉの少なくとも１つｊが、コア屈折率ｎ_ｊを変化させる照射によってのみ、その光路長Ｌ_ｊに沿った領域Ｂ_ｊにわたって処理される。 - 特許庁 - To provide a versatile interferometer and a light source device without generating a fluctuation of a Moire fringe caused by a heat generation of a laser, without complicated adjustment at the time of a fault of the laser light source or at the exchange by an end of service life, and at the same time capable of utilizing various interferometers.
レーザからの発生熱による干渉縞のゆらぎが発生せず、また光源であるレーザの故障や寿命による交換時に複雑な調整を必要とせず、同時に各種波長のレーザをも使用可能とする汎用性のある干渉計装置及びその光源装置を得ること。 - 特許庁 - Namely, only reception data from a single direction are given to an interferometer angle measurement processor 4, by dividing a space into two or more azimuth detection ranges by two or more filtering sections 31-3m, restricting the azimuth of angle measurement and removing signals coming from outside the azimuth detection range.
すなわち、複数のフィルタ処理部３１〜３ｍにより空間を複数の方探範囲に分割し、測角方位を限定して方探範囲の外からの到来信号を除去することにより、インターフェロメータ測角処理器４に対して単一の方向からの受信データを与えるようにする。 - 特許庁 - This interferometer 1 is provided with a light source 11 for emitting linearly polarized light, and a nonpolarized light generating optical system 12 for converting the linearly polarized light into mixed light of the two linearly polarized lights of which the vibration directions are orthogonal each other and of which the advancing directions are the same each other.
干渉計（１）に、直線偏光の光を射出する光源（１１）と、その直線偏光の光を互いの振動方向が直交し互いの進行方向が同じである２つの直線偏光の光の混合光に変換する非偏光生成光学系（１２）とを備える。 - 特許庁 - To provide a manufacturing method for a differential phase modulated light receiving module can reduce a cost and can make a size compact, while keeping the consistency of delay of a differential signal flowing between a delay interferometer and a balanced receiver in an inside of the balanced receiver, and the differential phase modulated light receiving module.
バランスドレシーバの内部に遅延干渉計とバランスドレシーバとの間を流れる差動信号の遅延の整合性を保ちつつ、低コスト化、小型化を実現できる差動位相変調光受信モジュールの製造方法及び差動位相変調光受信モジュールを提供する。 - 特許庁 - The interferometer adopts a moving mirror driving mechanism comprising: an elongated guide rail 40; a slider 30 which is engaged with the guide rail 40 and slides on the guide rail 40; the moving mirror 16 which is fixed to the slider 30; and a plurality of voice coil motors 50 for driving the slider.
干渉計の移動鏡駆動機構として、長尺状のガイドレール４０と、ガイドレール４０に嵌着され、該ガイドレール４０上を摺動するスライダ３０と、前記スライダ３０に固定された移動鏡１６と、該スライダを駆動する複数のボイスコイルモータ５０とを備えた移動鏡駆動機構を用いる。 - 特許庁 - A discrete shape error for each length measurement shaft interval of the reflecting surface is measured by calculating the difference between average values of measurement data at the individual length measurement shaft positions of the first laser interferometer at the plurality of points, or the average value of the differences of the measurement data, for each stepped movement position.
そして、ステップ移動位置毎に、複数点における第１レーザ干渉計の各測長軸位置での測定データの平均値の差分、又は該測定データの差分の平均値を算出することで、反射面の測長軸間隔毎の離散的な形状誤差を計測する。 - 特許庁 - To provide an interferometer for suitably measuring rotation symmetry mirror of large aspherical surface amount by forming a wave front, the rotation symmetry axis of which is the extension line of the slit as a reference wave front, while conserving the meridional cross section of the incident wave front on the slit by using the oblique incidence slit.
斜入射スリットを用いることにより、スリットに入射する波面のメリジオナル断面を保存したまま、スリットの延長線を回転対称軸とする波面を参照波面として形成し、非球面量が大きい回転対称ミラーの計測に好適な干渉計を提供すること。 - 特許庁 - When making directional couplers 11-1 to 11-5 and 11-7 to 11-11, and 11-6 and 11-12 with variable coupling ratio in operation, a random pulse train can be outputted from the final stage of the cascade- connected characteristic-variable asymmetrical Mach-Zehnder interferometer 103.
結合率可変方向性結合器１１−１〜１１−５，１１−７〜１１−１１、結合率可変方向性結合器１１−６，１１−１２を動作させると、縦続接続特性可変非対称マッハツェンダ型干渉計１０３の後段から、ランダムパルス列を出力することができる。 - 特許庁 - A surface 130 to be measured is irradiated with an optical probe beam 112 having a uniform wave front, and a reflected probe beam 132, having a reflected wave front with distortions caused by the surface 130 is faced to a light-sharing interferometer device 101 to acquire an optical interference pattern.
均一な波面を有する光プローブビーム１１２を被計測表面１３０に照射し、表面１３０によって引き起こされるひずみを帯びた反射波面を有する反射プローブビーム１３２を、光シェアリング干渉計デバイス１０１に向け、光干渉模様を取得する。 - 特許庁 - To provide a real-time measurement branch type interferometer that takes a real-time measurement of light interference with high precision by suppressing disorder of a wavefront during passage through an optical element for converting a reference light and a test light into two circular polarized lights which have mutually opposite rotational directions of polarization.
参照光および被検光を偏光の回転方向が互いに逆向きとなる２つの円偏光に変換するための光学素子を通過する際の波面の乱れを抑制し、実時間での光干渉測定をより高精度に行うことが可能な実時間測定分岐干渉計を得る。 - 特許庁 - An analyzer 11 analyses the second interference fringe image obtained by the second interferometer I_2, measures a deformation amount of the mirror surface S_1 formed on the surface of the reflecting plane mirror F_1, and corrects the transmission wave front to cancel an error caused by a deformation of the reflecting plane mirror F_1.
解析装置１１は、第２の干渉計Ｉ_2により取得された第２の干渉縞画像を解析して、折り返し平面鏡Ｆ_1の鏡面Ｓ_1の変形量を測定し、折り返し平面鏡Ｆ_1の変形によって生じた誤差を打ち消すように透過波面の補正を行う。 - 特許庁 - The positioning device also includes a mirror for varying an optical path of the laser light, by bending the linearly polarized laser light acquired from the laser interferometer, and a quarter-wave plate for varying the laser light via the mirror into a circularly polarized laser light and irradiating the fixed mirror therewith.
前記レーザ干渉計から得られた直線偏光のレーザ光を折り曲げることで、そのレーザ光の光路を変更させるミラーと、前記ミラーを経由した前記レーザ光を円偏光のレーザ光に変換して前記固定ミラーに照射するλ／４板と、を備える。 - 特許庁 - The delay line interferometer inside the demodulator performs adjustment of phase difference between two split lights caused to interfere, using a phase modulation unit such as a piezo actuator and a phase modulation unit such as a heating element that operates slower in modulation speed than the first optical phase modulation unit and is slower deterioration speed.
復調器内部の遅延干渉計において、干渉させる2つの分岐光の位相差の調整をピエゾ素子などの位相調整手段と、第一の位相調整手段よりも低速で動作し、かつ劣化速度が遅い発熱体などの位相調整手段とを用いて行う。 - 特許庁 - The light tracking type laser interferometer using an oscillating optical lever in a mechanism for varying irradiation direction of an object light in the interference metering optical system, is provided with an oscillating mechanism 3 to widen irradiation angle range by driving the mechanism 3 with the spherical surface motor 1.
干渉測長光学系における物体光の照射方向を変化させる機構に首振り運動光てこを用いた光線追尾式レーザ干渉測長装置において、球面モータ１により駆動することにより照射角範囲を拡大できる首振り機構３を備えたものである。 - 特許庁 - Correction data for correcting a measurement error of the encoder system are generated using an interferometer system, a measurement result of the encoder system is corrected using the correction data, and the table WTB is driven based upon the corrected measurement result, so the highly precise driving control over the table is performed.
干渉計システムを用いてエンコーダシステムの計測誤差を補正する補正データを作成し、その補正データを用いてエンコーダシステムの計測結果を補正し、補正された計測結果に基づいてテーブルＷＴＢを駆動することができるので、高精度なテーブルの駆動制御が可能となる。 - 特許庁 - The interferometer system is equipped with a plurality of interference optical systems 25A and 25B used for the position measurement in the same axial direction and a spectroscopic system 51 breaking beams from a light source 50 into a plurality of beams parallel to each other, corresponding to a plurality of interference optical systems 25A and 25B.
本発明の干渉計システムは、同一軸方向の位置計測に用いられる複数の干渉光学系２５Ａ，２５Ｂと、複数の干渉光学系２５Ａ，２５Ｂに対応して光源５０からのビームを互いに平行な複数のビームに分ける分光光学系５１とを備える。 - 特許庁 - A cutoff frequency of a filter part for removing a nonlinear error component included in a measurement signal of the laser interferometer is set to an inverse number (1/Ts) of a cycle Ts in which servo control for bringing the stage position after control by a stage movement control part close to a target position is executed.
レーザ干渉計の測定信号に含まれる非線形誤差成分を除去するフィルタ部のカットオフ周波数を、ステージ移動制御部による制御後のステージ位置を目標位置に近づけるサーボ制御が行われる周期Ｔｓの逆数（１／Ｔｓ）に設定する。 - 特許庁 - One beam including an orthogonally polarized object and reference beams output from an interferometer or the like is inputted, and spectral diffraction into four beams and phase shifting are applied thereto simultaneously by performing reflection and transmission by the first and second bonded surfaces, to thereby generate four-phase beams.
干渉計等により出力された直交偏光された物体および参照ビームを含んでいる一つのビームを入力して、第１および第２の接合面で反射と透過することで４本のビームに分光と同時に位相シフトを施して、４相のビームを生成する。 - 特許庁 - Further, the interferometer includes a shielding member 106 for shielding the measuring beam to form a non-interference region not interfering the reference beams having the second luminance and a CCD camera 111 for imaging an interference region formed by synthesized beams and the non-interference region.
さらに、干渉計は、第２の輝度とした参照光と干渉しない非干渉領域を形成するように測定光を遮光する遮光部材１０６と、合成光により形成される干渉領域及び非干渉領域を撮像するＣＣＤカメラ１１１とを備える。 - 特許庁 - A storage part 28 stores a table in which control parameters such as a phase difference of signals used for control at a fixed mirror attitude control part 21 and a transfer function used for control at a moving mirror speed control part 24 are prepared for each temperature range in an interferometer chamber.
記憶部２８には、固定鏡姿勢制御部２１における制御に用いられる信号の位相差や移動鏡速度制御部２４における制御に用いられる伝達関数等の制御パラメータを、干渉計室内の温度範囲毎に用意したテーブルを格納しておく。 - 特許庁 - In this device for distributing/transmitting a quantum key, phase modulation is individually applied to two double light pulses 7, 8 appearing in two output ports 5, 6 of an asymmetrical Mach-Zehnder interferometer 2 having a transmission side, and thereafter they are integrated with each other by a polarization beam splitter 12.
本発明の量子鍵配付送信装置は、送信側の持つ非対称マッハツェンダー干渉計２の２つの出力ポート５，６に現れた２つの２連光パルス７，８に対し個別に位相変調を施した後にそれらを偏光ビームスプリッター１２で統合させる。 - 特許庁 - The planar lightwave circuit includes at least two interferometers composed of a plurality of optical waveguides, and dummy patterns arranged on both sides of the optical waveguide of the interferometer having an optical waveguide density smaller than the maximum optical waveguide density, of the interferometers.
本発明に係る平面光波回路は、複数の光導波路からなる少なくとも２つの干渉計と、前記干渉計のうち、最大の光導波路密度より小さい光導波路密度をもつ前記干渉計の前記光導波路の両側に配置されたダミーパターンと、を備える。 - 特許庁 - This lithographic apparatus includes an illumination system that is configured to regulate a radiation beam, a projection system that is configured to project at least a portion of the radiation beam as a projected radiation beam, and a lens interferometer for sensing the wavefront state of the projected radiation beam.
リソグラフィ装置は、放射ビームを調節するように構成された照明システム、投影された放射ビームとして放射ビームの少なくとも一部を投影するように構成された投影システム、および投影された放射ビームの波面状態を感知するレンズ干渉計を含む。 - 特許庁 - The combination spectrograph is constituted to make respective wavelength dispersing directions of a parallel interferometer A of high wavelength dispersion and a diffraction grating B of low wavelength dispersion orthogonal each other, and a two-dimensional array type optical detecting part 50 is provided to detect light dispersed two-dimensionally by the spectrograph, so as to constitute the optical measuring instrument.
高波長分散の平行干渉計（A）と低波長分散の回折格子（B）をそれぞれの波長分散方向が直交するように組合せ分光装置を構成し、分光装置で、２次元的に広がった光を２次元アレイ型光検出部（５０）を設け、光計測装置を構成する。 - 特許庁 - In a sub-routine 601, when a wafer stage is moving in the X-axis direction, bending in the X-axis and Z-axis directions of a moving mirror for measuring Y-position extending in the X-axis direction is detected with an interferometer for measuring amount of yawing within the XY plane of a wafer stage.
サブルーチン６０１において、ウエハステージをＸ軸方向に移動させつつ、ウエハステージのＸＹ平面内のヨーイング量を計測する干渉計により、Ｘ軸方向に延びるＹ位置計測用の移動鏡のＸ軸及びＺ軸方向の曲がりを検出する。 - 特許庁 - As a result, it is possible to suppress or prevent transfer errors (transfer position errors) of an extremely small pattern that cannot be observed with an interferometer, caused by strains or tiny deformations generated in the body 14 by moving the mask stage RST and the substrate stage WST, and the printing accuracy can be improved.
これにより、マスクステージ及び基板ステージが移動することによりボディに生じる歪みもしくは微少変形に起因する干渉計では見えない微少なパターンの転写誤差（転写位置誤差）を抑制ないしは防止することが可能になり、焼き付け精度を向上させることができる。 - 特許庁 - A system can include an interferometer having a reference arm that includes a first optical fiber of length of L1 and a sample arm that includes a second optical fiber of length of L2 and a first rotary coupler configured to conform with an optical tomography imaging probe, wherein the rotary coupler is in optical communication with the sample arm.
長さL1の第一の光ファイバーを含む参照アームおよび長さL2の第二の光ファイバーを含むサンプルアームを有する干渉計、および光学断層撮影撮像プローブと適合するよう構成された第一のロータリーカプラーを含むことができ、ロータリーカプラーは、サンプルアームと光通信する。 - 特許庁 - The measuring device has an interferometer 10 that has the vacuum optical path cylinder 20 of which longitudinal length is variable and one end has a movable miller 29, makes a laser beam come into and reflect in the vacuum optical path cylinder 20, and makes the reflected laser beam interfere with a laser beam having passed another optical path.
長手方向の長さが可変でかつ一端に可動ミラー２９を設けた真空光路筒２０を有し、この真空光路筒２０内にレーザ光を入射させて反射させ、その反射レーザ光を他の光路を通ったレーザ光と干渉させる干渉計１０を備えた測定装置。 - 特許庁 - To provide a length measuring instrument which can operate without returning a stage to the datum point of a moving device, even when measurement light or reference light is interrupted or instantaneously discontinued and the displacement data of a displacement interferometer becomes indistinct by allowing the stage to return to the datum point by itself.
光の干渉計を応用し、この干渉縞の数をカウントすることにより被測定体の移動量を計測する光干渉測長装置では、測定光もしくは参照光が遮られると被測定体の移動距離が不明となり、計測が続行不能となる。 - 特許庁 - The orthogonal two-phase signal of the interferometer is converted into the polar coordinate, then calculation for emphasizing only a changed part of the radius element is performed, it is converted into the orthogonal coordinate again, and it is displayed similarly to the Lissajous's waveform, thereby obtaining a display resolution required for adjustment.
干渉計直交２相信号を極座標に変換した後、半径成分の変動分のみを強調する演算を行い、再び直交座標に変換し、リサージュ波形と同様に表示することにより、調整に必要な表示分解能を得ることができる。 - 特許庁 - Only a small number of optimum characteristic quantities among SSB spectrums of probe light are always monitor-detected by using a Fabry-Perot interferometer, and a bias correction signal inputted into the SSB modulator is automatically generated and updated based thereon, to thereby control the SSB modulator.
プローブ光のＳＳＢスペクトラムのうち、少数の最適な特徴量だけを、ファブリペロー干渉計を用いて常時モニター検出し、これに基づいてＳＳＢ変調器に入力されるバイアスの補正信号を自動的に発生更新させ、ＳＳＢ変調器を制御する。 - 特許庁 - The synthesized frequencies of two branched optical signals (optical signal and complementary optical signal) to which the two photodetectors 11 feed from a delay interferometer are converted into electrical signals, and then synthesized on the signal line (S) of the coplanar waveguide 30 to which the signal lines of the flexible substrates 40a, 40b are connected.
２つの受光器１１が遅延干渉計から入力する２つの分岐光信号（光信号と相補光信号）の合波は、電気信号に変換されてから、フレキシブル基板４０ａ、４０ｂの信号線が接続しているコプレーナ導波路３０の信号線（Ｓ）上で行われる。 - 特許庁 - A standard micro-interferometer 10 where the tilt of the clamp section 20 is calibrated using a reference ferrule 41 measures the top eccentric amount of the tip surface 54 of a sub-reference ferrule 50, and the measured value is provided as an intrinsic top eccentric amount to the sub-reference ferrule 50.
基準フェルール４１を用いてクランプ部２０の傾き較正がなされた標準顕微干渉計１０により、副基準フェルール５０の先端面５４の頂点偏心量を測定し、その測定された値を固有頂点偏心量の値として副基準フェルール５０に付す。 - 特許庁 - A main bellows 36 is arranged between the carriage 30 and the fixing part 34, a sub-bellows 38 having double structure is arranged between the reflection mirror 20 and the carriage 30, and a sub- bellows 38 having double structure is arranged between the interferometer part 14 and the fixing part 34.
ベローズ駆動キャリッジ３０と固定部３４との間に主ベローズ３６を配置し、反射ミラー２０とベローズ駆動キャリッジ３０との間に２重構造の副ベローズ３８を配置し、干渉計部１４と固定部３４との間に２重構造の副ベローズ４０を配置する。 - 特許庁 - Next, an object to be measured is disposed at the measurement position, and the number of data sets required for an FFT are calculated from measurement data at respective timings in this period by using a linear approximation, and a Fourier transform is applied to an optical beat signal which is obtained by an optical interferometer, at even frequency intervals, thereby obtaining the tomographic image.
そして測定位置に測定対象を配置し、測定データからこの時間のタイミング毎に直線近似によってＦＦＴに必要な数のデータを算出して、光干渉計より得られる光ビート信号を等周波数間隔でフーリエ変換することにより、断層画像を得る。 - 特許庁 - In this optical interferometer, light to be measured from a laser diode 20 is converted into parallel luminous flux by a collimator lens 21, divided into two luminous fluxes by a beam splitter 22, and reflected at diffraction gratings 23 and 24 in Littrow arrangement to form optical differences in the luminous fluxes corresponding to the inclinations of the diffraction gratings 23 and 24.
レーザダイオード２０からの測定対象光をコロメータレンズ２１により平行光束に変換し、ビームスプリッタ２２より２つの光束に分割した後、リトロー配置の回折格子２３、２４で反射し、光束中に回折格子２３、２４の傾きに対応する光路差を形成する。 - 特許庁 - To obtain a method and an apparatus for the measurement of an interference wherein a detection area up to a part near the peripheral edge of an area generating interference fringes can be measured with high accuracy, in an electronic moire measurement which measures a measuring object by an interferometer by generating carrier fringes.
被計測対象を干渉計でキャリア縞を発生させて測定する電子モアレ測定において、干渉縞の発生しているエリアの周縁付近までを検出領域とする高精度な計測ができる干渉測定方法及び干渉測定装置を得ること。 - 特許庁 - Thereafter, in a detection part 109, a second harmonic wave is generated from the long wavelength side of wide spectrum range light obtained by a nonlinear optical medium 108 by a self-reference interferometer, and then interfered with a fundamental wave on the short wavelength side, and a resulting optical beat is detected and photoelectrically converted.
この後、非線形光学媒質１０８により得られた広スペクトル帯域光は、検出部１０９において、自己参照型干渉計で長波長側より第２高調波が生成され、これと短波長側の基本波とが干渉させられ、この結果発生する光ビートが検出されて光電変換される。 - 特許庁 - To provide a dispersion interferometer usable for actual time control, and capable of removing an influence of a high-frequency noise, reducing a measurement error caused by signal intensity change, and heightening accuracy, by extracting a phase from a signal intensity ratio of a fundamental wave and a double harmonic which are Fourier components of a modulated signal.
変調信号のフーリエ成分である基本波、２倍高調波の信号強度比から位相抽出を行うことにより、高周波ノイズの影響を無くすとともに信号強度変化による測定誤差を低減し高精度化することができ、実時間制御での利用が可能なディスパーション干渉計を提供する。 - 特許庁 - In the electronic moire measurement which measures the measuring object by the interferometer by generating the carrier fringes, an image in which the carrier fringes are generated is acquired in a plurality of different directions, the OR of an effective image as an electronic moire image in a plurality of images is performed, and information on the detection area is obtained.
被計測対象を干渉計でキャリア縞を発生させて測定する電子モアレ測定において、キヤリア縞を発生させた画像を異なる複数の方向について取得した後、該複数個の画像の電子モアレ画像の有効画像のＯＲを取ることによって、検出エリアの情報を得ること。 - 特許庁 - It is designed so that each interface reflects and permeates each beam at least once, and the interferometer combines two beams after passing through at least twice for one or more remote objects in order to form an output beam containing information on difference in optical length between paths propagated by the two beams.
各界面は、少なくとも１回各ビームを反射し、また透過し、干渉計が、２つのビームが伝搬した経路間の光路長の差に関する情報を含む出力ビームを生成するために、１つまたは複数の遠隔対象物に少なくとも２回通過した後で、２つのビームを結合するように構成されている。 - 特許庁 - To make stable the relative position of a measuring mirror to a detected substrate without causing variation in measuring base geometric shape due to heat (temperature variation) or load variation to exert any influence on the geometric shape of the measuring mirror as to the x/y coordinate measurement base having the measuring mirror for interferometer position detection.
干渉計位置検出のための測定ミラーを有するｘ／ｙ座標測定台において、熱（温度変化）や負荷変化に起因する測定台幾何形状の変化が測定ミラーの幾何形状に何の影響も及ぼさず、測定ミラーの被検サブスレートに対する相対位置が安定であるように改善すること。 - 特許庁 - Since the light splitting part 200 emits the reference light in such the attitude that the reference light reaches the composite part 300 directly, the oblique incidence interferometer 1 is made up similar to general conventional ones in fundamental configuration, thereby enabling the image inverting section 500 to be disposed in a conventional optical path of the measurement light or the reference light.
光分割部２００は、参照光が直接合成部３００に至る姿勢で参照光を出射するので、斜入射干渉計１の基本的な構成を一般的な従来のものと同様にでき、従来の測定光または参照光の光路中に像反転部５００を設置できる。 - 特許庁 - To provide an exposure device for an original optical disk, in which a laser interferometer is used and variation of a track pitch is decreased.
露光用レーザ光源からのレーザ光を強度変調し、この強度変調されたレーザ光をレジスト原盤に照射することにより露光パターンを形成する光ディスク用原盤露光装置で、露光用レーザ光とレジスト原盤の相対位置を検出する手段がレーザ干渉計である光ディスク原盤露光装置において、トラックピッチの変動を低減する。 - 特許庁 - To provide an interferometer capable of attaining higher accuracy of measurement regardless of a using environment by enabling a user to easily measure dispersions of bias and amplitude of interference fringe intensities of interference fringes obtained from a plurality of imaging elements and deviations from a phase design value in a periodic base or before measurement.
複数の撮像素子から得られる干渉縞の干渉縞強度のバイアス及び振幅のバラツキ、並びに位相の設計値からの偏差を、定期的に又は測定の前にユーザが容易に計測することを可能とし、測定の高精度化を達成すると共に、使用環境を選ばない干渉計を提供する。 - 特許庁 - Emergent light X of an optical device 1 is made incident onto an orthogonal double luminous flux interferometer 23 via an incident port 21 and a wavelength filter 22, to make emergent a plurality of lights Yc1-Yd2 having both periodic intensity variations to a monotonous variations of the wavelength of incident light Y and different variation phases of the intensity.
光デバイス１の出射光Ｘを、入射ポート２１および波長フィルタ２２を介して直交２光束干渉計２３に入射させて、入射光Ｙの波長の単調変化に対して強度が周期的に変化し且つその強度の変化位相が異なる複数の光Ｙｃ１〜Ｙｄ２を出射させる。 - 特許庁 - An equalizer includes controllable interferometer means which have a coupler that divides light into two part and has a controllable joint ratio, and two arms, one of which has an additional delay that equals an integral multiple of 1/Δf (Δf is a channel interval between adjacent wavelengths which is used in an optical system).
イコライザは、光を２つの部分に分割する、制御可能な結合比を持つカプラと、一方のアームが、１／Δｆ（Δｆは光学系で利用される互いに隣接する波長間のチャネル間隔である）の整数倍数に等しい追加の遅延を有する、２つのアームを有する制御可能な干渉計手段とを含む。 - 特許庁 - The distance measuring device includes a transparent electrode 44 which is disposed opposite to the electroconductive measuring object 2 on the optical axis of measuring light L_1 of a laser interferometer 1 and a signal processing circuit 52 as a capacitance detecting means which detects the capacitance between the transparent electrode 44 and the measuring object 2.
距離測定装置は、レーザ干渉計１の測定光Ｌ_１の光軸上において導電性の被測定物２に対向配置された透明電極４４と、透明電極４４および被測定物２の間の静電容量を検出する静電容量検出手段としての信号処理回路５２とを備える。 - 特許庁 - This device comprises: a plurality of laser interferometers 3a-3q; a position measuring part 82 measuring the position of a slider 2; and a selecting part 81 selecting a laser interferometer used for controlling the position of the slider 2 out of the plurality of interferometers 3a-3q according to the measurement position of the slider measured by the position measuring means 82.
複数のレーザ干渉計３ａ〜３ｑと、スライダ２の位置を計測する位置計測部８２と、位置計測手段８２により計測されるスライダの計測位置に応じて、複数のレーザ干渉計３ａ〜３ｑの中からスライダ２の位置制御のために使用するレーザ干渉計を選択する選択部８１と、を備える。 - 特許庁
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