The shape measuring device 1 which is a simultaneously pickup type oblique incident interferometer includes a tunable light source 11 which can tune the wavelength of light. 同時撮像型の斜入射干渉計である形状測定装置1は、光の波長を変えられる波長可変光源11を備える。 - 特許庁
To perform operation verification of an optical fiber interferometer rapidly and accurately with a simple configuration, and to reduce the mistakes of diagnosis in an OCT apparatus. 簡単な構成で迅速且つ正確に光ファイバ干渉計の動作検証を行い、OCT装置における診断ミスを軽減する。 - 特許庁
The delay interferometer in which a phase shifter 20 is incorporated includes a demultiplexer 12, a first reflecting mirror 14, a second reflecting mirror 16 and a multiplexer 18. 位相シフタ20が組み込まれた遅延干渉計であり、分波器12、第1反射鏡14、第2反射鏡16、及び合波器18を具えて構成される。 - 特許庁
To provide an interferometer reference lens whose constitution is made more compact without reducing a converging angle while securing a satisfactory aberration performance. 良好な収差性能を確保しつつ、集束角を小さくすることなく、よりコンパクトな構成を有する干渉計用基準レンズを提供する。 - 特許庁
To provide manufacturing methods for an X-ray phase type diffraction grating and an X-ray amplitude type diffraction grating used for an X-ray Talbot interferometer. X線タルボ干渉計に用いられるX線位相型回折格子及びX線振幅型回折格子の製造方法を提案する。 - 特許庁
Such servocontrol by the hybrid system makes it possible to perform drive control of the stage having stability of the interferometer and accuracy of the encoder together. このハイブリッド方式のサーボ制御により、干渉計の安定性とエンコーダの精密さを兼ね備えたステージの駆動制御が可能になる。 - 特許庁
A lens interferometer is provided as a measurement device for measuring at least one relative position of each of the primary and secondary matching markers. 少なくとも一つの第一および第二の整合マーカーの相対位置を測定するための測定装置として、レンズ干渉計が備えられる。 - 特許庁
In the use as pinhole of an interferometer, it can be so arranged to emit a spherical wave from the microscopic light transmission area 31. 干渉計のピンホールに使用された場合には微小光透過領域31から球面波が射出されるように構成することができる。 - 特許庁
Acceleration information obtained from a feedback signal FS1 output from a laser interferometer 32 in previous operation is stored in the acceleration table 64. 加速度テーブル64は、以前の動作時にレーザ干渉計32から出力された帰還信号FS1から求めた加速度情報を記憶する。 - 特許庁
Each Mach-Zehnder interferometer type optical circuit 113 comprises two arms, a short arm 114 and a long arm 115, and a directional coupler 116. 各マッハ・ツェンダ干渉計型光回路113は短いアーム114と長いアーム115の2本のアームと方向性結合器116からなる。 - 特許庁
A filter 21, whose center frequency is matched with the conterminous wavelength receives an output signal from the interferometer structure 10 via a coupling means 14. 連続波波長に中心合わせされたフィルタ21は、結合手段14を介して、干渉計構造体10の出力信号を受け取る。 - 特許庁
A position measuring part 82 measures the present position of the slider 2 using the measurement results of the laser interferometer which is selected by the selecting part 81. 位置計測部82は、選択部81により選択されたレーザ干渉計の計測結果を用いてスライダ2の現在位置を計測する。 - 特許庁
To provide a fixed-wavelength absolute distance interferometer that has a simple configuration and economically provides an accurate absolute distance measurement result. 本発明は、構成が単純であり、正確な絶対距離測定結果を経済的に提供できる固定波長絶対距離干渉計の提供。 - 特許庁
The waveguide type optical coupler is constituted of the Mach-Zehnder interferometer including three directional couplers and two arm parts for connecting them. 3つの方向性結合器とこれらを接続する2つのアーム部を有するマッハ・ツェンダ干渉計により導波型光カプラを構成する。 - 特許庁
A monitor includes a Mach-Zehnder interferometer with a free-spectral range that matches the dispersion compensator free-spectral range or an integer sub-multiple or multiple thereof. モニタは分散補償器のフリースペクトルレンジ又はその約数若しくは倍数に一致するフリースペクトルレンジを持つマッハツェンダー干渉計を含む。 - 特許庁
To provide a profile irregularity measurement holder with a laser interferometer measuring with high accuracy and high efficiency, the profile irregularity of objects to be measured with various sizes. 各種大きさの被計測物の面精度を高精度、高能率で計測するレーザー干渉計での面精度計測保持具を提供する。 - 特許庁
To stabilize a delay interferometer without using a wavelength variable continuous laser, thereby stabilizing a phase difference between adjacent optical pulses of a multiplexed optical signal. 波長可変連続レーザを用いずに遅延干渉計を安定化させ、多重化光信号の隣接光パルス間の位相差を安定化させる。 - 特許庁
An imaging device 200 accurately positions the positioning stage 210 to the image reduction assembly 230 by using signals generated from the interferometer assembly 100. イメージング装置200は干渉計組品100から発生する信号を用いて、イメージ縮小組品230に対して位置決めステージ210を正確に位置決めする。 - 特許庁
A selecting part 81 selects a laser interferometer to be used out of the plurality of laser interferometers 3a-3q according to the position of the slider 2. 選択部81は、スライダ2の位置に応じて、複数のレーザ干渉計3a〜3qの中から使用すべきレーザ干渉計を選択する。 - 特許庁
To control a phase difference between both arms of an optical interferometer to an optimum value, in an optical receiving apparatus for receiving an optical differential quaternary phase shift keying (DQPSK) signal. 光DQPSK信号を受信する光受信装置において光干渉計の両アームの位相差を最適値に制御する。 - 特許庁
To provide an interferometer capable of suppressing difficulty in the operation of an operation part for adjusting positions of optical components caused by a position in which a case is attached and an orientation of the case. 筐体部が取付けられる位置や向きにより、光学部品の位置を調整する操作部が操作し難くなるのを抑えた干渉計を提供する。 - 特許庁
To provide a lens support device capable of setting an examined lens or an examined face easily onto an interferometer under an aligned condition, even when an outside diameter of the examined lens or the examined face thereof is changed. 被検レンズや被検面の外径が変わっても、調芯した状態で簡便に干渉計にセットできるレンズ支持装置を提供する。 - 特許庁
In a mode-coupling evaluation device 10, an interferometer 14 interferes a linearly-polarized light excited to BF 13 with a mode coupled linearly-polarized light. モード結合評価装置10において、干渉計14は、BF13に励振した直線偏光とモード結合した直線偏光とを干渉させる。 - 特許庁
The end faces 103a and 103b of the overhang section 103 of the metrological ring 101 are mirror-finished and become reflecting mirrors facing an interferometer. メトローロジリング101の張出し部103の端面103a、103bには鏡面加工が施されており、干渉計に対向する反射ミラーとなっている。 - 特許庁
To provide an oblique incidence interferometer of two orthogonal polarization type which is capable of improving spatial resolution of measurement and the size of which is prevented from being increased. 測定の空間分解能を向上しつつ装置の大型化を回避できる2直交偏光式の斜入射干渉計を提供すること。 - 特許庁
PRESSURE DETECTION DEVICE USING SUPERCONDUCTOR THIN FILM WHICH TRANSITS FROM SUPERCONDUCTOR TO INSULATOR BY PRESSURE, JOSEPHSON ELEMENT AND SUPERCONDUCTING QUANTUM INTERFEROMETER 圧力によって超伝導体から絶縁体へ遷移する超伝導体薄膜を用いた圧力検出装置、ジョセフソン素子および超伝導量子干渉計 - 特許庁
To provide a wavelength-drift detecting device which detects the drift of the wavelength of semiconductor laser beams simply and can adjust the drift, and an interferometer. 半導体レーザー光の波長のドリフトを簡単に検出して調整することができる波長ドリフト検出装置及び干渉計を提供する。 - 特許庁
A controllable interferometer unit also has a controllable delay which adjusts the relative phase of passing light set inside the first or second arm. 制御可能な干渉計ユニットは、通過する光の相対的な位相を調整する制御可能な遅延も第1または第2のアーム内に有している。 - 特許庁
Thereby a manufacturing error due to the adhesive can be eliminated and installation of a corner cube in the usual practice is dispensed with in the interferometer and the spectroscope. これにより、接着剤に起因する製造誤差を排除することができ、干渉計や分光器においては、従来のようなコーナーキューブの設置が不要となる。 - 特許庁
To provide a 90-degree optical hybrid interferometer having an optical circuit configuration, capable of miniaturizing a device, while attaining the output port arrangement of OIF standard. OIF標準の出力ポート配置を実現しつつ、デバイスのコンパクト化が可能な光回路構成を有する、90度光ハイブリッド干渉計を提供する。 - 特許庁
To provide an interferometer for measuring surface shape, etc., and its measuring method which is capable of efficiently measuring the shape, etc., of not only spherical lens but also aspherical lens at high accuracy. 球面のみならず非球面レンズの形状等を高精度且つ効率的に測定可能な干渉計及びその測定方法を提供する。 - 特許庁
An optical receiver 5 comprises a delay interferometer 22, detectors a9 and b10, and a second storage means for recording the time information and detector information. 光受信機5は、遅延干渉計22とディテクタa9とディテクタb10と、時刻情報およびディテクタ情報を記録する第2の記憶手段とを備える。 - 特許庁
An optical receiver 11 comprises a delay interferometer 23, detectors a15 and b16, and a third storage means for recording the time information and detector information. 光受信機11は、遅延干渉計23とディテクタa15とディテクタb16と、時刻情報およびディテクタ情報を記録する第3の記憶手段とを備える。 - 特許庁
The optical circuit of multi-stage configuration may comprise other optical circuits as well as the Mach-Zehnder interferometer type optical circuit 111, or may comprise a combination of them. 多段構成とする光回路はマッハ・ツェンダ干渉計型光回路111以外に、他の光回路あるいはこれらの組み合わせでも可能である。 - 特許庁
An optical filter 14 is composed of an asymmetric Mach-Zehnder interferometer and converts a frequency modulation component of the modulated optical signal into an amplitude modulation signal. 光フィルタ14は、非対称マッハツェンダ干渉計から成り、変調光信号の周波数変調成分を振幅変調信号に変換する。 - 特許庁
After installing the mask in the lithographic projection apparatus, changes in the position of the mask pattern surface along the optical axis can be determined by using an interferometer. リソグラフィ投影機器にマスクを設置した後で、干渉計によって光軸に沿ったマスクのパターン表面の位置の変動を求めることができる。 - 特許庁
To provide an optical locating method, especially, which effectively reduces and/or removes coherence with spurious or ghost reflection on measuring beam in an interferometer. 光学的位置測定、殊に、干渉計での測定ビームに関するスプリアス又はゴースト反射とのコヒーレンスを実質的に低減及び/又は除去すること。 - 特許庁
At this time, two pulse beams having a pulse interval matched with the optical path difference between a reference surface and a measurement surface of an interferometer are generated as shown in the drawing. この場合、図に示すように、干渉計の参照面と測定面との光路差に合わせたパルス間隔を有する2個のパルス光が発生する。 - 特許庁
A nearly-punctate through hole on an one- or two-dimensional array (12, 15) is incorporated into the perforated masks (2, 6) on both the inlet and outlet ends of the interferometer. 1次元又は2次元配列(12,15)のほぼ点状の貫通孔が、干渉計の入口端及び出口端の孔空きマスク(2,6)に組み入れられている。 - 特許庁
Next, interferometer peaks indicating the physical properties of the object are obtained, and their array is compared with predetermined classified patterns to extract necessary peak. 次に、物体の物理特性を表す干渉計ピークを求めて、これらの配列を、あらかじめ定められた分類パターンと照合し、必要なピークを抽出する。 - 特許庁
A substance sensing apparatus according to the present invention includes: irradiating means (light source 3, interferometer 4); measuring means (detector 5); and detecting means (computer 6). 本発明に係る物質センシング装置は、照射手段(光源3、干渉計4)と、測定手段(検出器5)と、検出手段(コンピュータ6)とを備える。 - 特許庁
A optical path limiting device 15 generates an optical path difference between the excited linearly-polarized light and mode coupled linearly-polarized light at the interferometer 14. 光路長制御装置15は、干渉計14における、励振した直線偏光とモード結合した直線偏光と光路に光路長差を発生させる。 - 特許庁
The third fine movement stage measurement system includes an encoder system including a plurality of Y heads 96, 97 and a laser interferometer system including laser interferometers 76a-76d. 第3の微動ステージ計測系は、複数のYヘッド96,97を含むエンコーダシステムとレーザ干渉計76a〜76dを含むレーザ干渉計システムとを含む。 - 特許庁
The recipient prepares an 1/4 wavelength retarder and a Mach-zehnder interferometer where isotropic nonlinear optical material is arranged for one of two optical routes. 受信者は、1/4波長遅相子と、2つの光経路のうち片方に等方的な非線形光学材料を配置したマッハ−ツェンダー干渉計を準備する。 - 特許庁
The optical axes of the light beams are deflected in parallel from the axis of measurement, and part of the light beams is passed through an interferometer and guided to the parallel reflecting part. 光ビ−ムの光軸は、測定軸から平行に偏倚しかつ、光ビ−ムの一部が干渉計を通過して平行反射部へ導かれる。 - 特許庁
To obtain an optical receiver in which the operating point can be judged by using only the output from one synchronous detection circuit, and to provide a control method of an optical interferometer. 1台の同期検波回路の出力だけを用いて動作点判定を可能とする光受信装置および光干渉計の制御方法を得る。 - 特許庁
To measure the amount of a dead path and to decrease the dead path in a heterodyne interferometer having a plurality of laser beams with slightly different wavelengths as a light source. 僅かに波長のずれた複数のレーザ光を光源とするヘテロダイン干渉計において、デッドパスの量を測定し、デッドパスを低減できるようにする。 - 特許庁
By the Fabry-Perot interferometer 5 and the concave diffraction grating 7, emission angles on a Y-Z plane and an X-Z plane are made different for each wavelength. ファブリペロー干渉計5と凹面回折格子7とで光をY−Z面とX−Z面とにおける射出角を波長毎に異ならせる。 - 特許庁
To provide an interferometer that suppresses costs and a measurement time, and efficiently measures a variety of surface shapes including aspherical surfaces. コスト及び測定時間を抑えるとともに、非球面を含む様々な表面形状を効率良く測定することが可能な干渉計を提供する。 - 特許庁
One of the first and second diffraction gratings (G1, G2) may further show some degree of zero order reflection to provide the mirror (MI) of the interferometer. 第1および第2回折格子(G1、G2)の1つは、干渉計のミラー(MI)を設けるためにある程度の0次反射をさらに示してもよい。 - 特許庁