「interferometer」を含む例文一覧(1556)
＜前へ 1 2 .... 13 14 15 16 17 18 19 20 21 .... 31 32 次へ＞- Related to a Mach-Zehnder interferometer type optical circuit 111 as an optical device, first - third stages of asymmetric Mach-Zehnder interferometer type optical circuits 113_1, 113_2, and 113_3 are connected in sequence, arranged in spiral, on a substrate 112.
光デバイスとしてのマッハ・ツェンダ干渉計型光回路１１１は、基板１１２上に第１段〜第３段の非対称型マッハ・ツェンダ干渉計型光回路１１３_1、１１３_2、１１３_3を順に接続し、これらを渦巻き状に配置した構成となっている。 - 特許庁 - In a chemical substance detection chip having a Mach-Zehnder interferometer formed on a substrate, an input light waveguide part of the interferometer or an output light waveguide part thereof is partly formed as a tapered waveguide, or the thickness or width of one of two waveguides, into which a waveguide is branched from a Y branch of the interferometer, is taperedly changed.
基板上に形成したマッハツェンダー干渉計を有する化学物質検出チップにおいて、干渉計入力光導波路部又は出力光導波路部の一部をテーパ形状の導波路とするか、又はマッハツェンダー干渉計のＹ分岐から二つに分岐する導波路の一方の導波路の厚さ又は幅をテーパ状に変化するように構成する。 - 特許庁 - This phase shift interferometer is equipped with a lighting optical system 200, a non-interference light beam generation means 300, and a phase shift interference fringe acquisition part 400.
照明光学系２００と、無干渉光束生成手段３００と、位相シフト干渉縞取得部４００と、を備える。 - 特許庁 - The angular displacement of the object is measured by an interferometer, by splitting a laser beam into a reference beam and a measuring beam.
レーザビームを参照ビーム及び測定ビームに分割することによって、物体の角変位が干渉計によって測定される。 - 特許庁 - To provide a flatness measuring interferometer capable of highly accurately measuring flatness of a wafer that a dielectric substance film is formed.
誘電体膜が形成されたウエハの平面度を高精度に測定できる平面度測定用干渉計を提供すること。 - 特許庁 - To provide an interferometer system capable of suppressing deterioration of measurement performance caused by an environmental fluctuation of a space where light travels.
光が進行する空間の環境変動に起因する計測性能の劣化を抑制できる干渉計システムを提供する。 - 特許庁 - To simplify the adjustment of a center frequency of a delay Mach-Zehnder interferometer used for optical phase modulation adopting the DQPSK system.
ＤＱＰＳＫ方式の光位相変調に用いる遅延マッハツェンダ干渉計の中心周波数の調整を簡略化する。 - 特許庁 - Measurement accuracy can be enhanced on the basis of actual measurements and tolerance of interferometer, e.g. fixing accuracy, can be relaxed.
そのため、実計測に基づき計測精度を向上することができ、干渉計の取り付け精度等の許容値も緩和できる。 - 特許庁 - A laser beam Lout from a laser light source 10 is made to separately travel through two optical paths OP1 and OP2 in a two-beam interferometer.
レーザ光源１０からのレーザ光Ｌoutを、２光束干渉計内で２つの光路ＯＰ１，ＯＰ２に分離して進行させる。 - 特許庁 - To perform coarse adjustment of a fixed mirror or a moving mirror in a two-beam interferometer having a coarse adjustment mechanism for the fixed mirror.
固定鏡の粗調整機構を有する二光束干渉計において、固定鏡もしくは移動鏡の粗調整を行う。 - 特許庁 - To provide a system and a method for compensating a nonlinearity of a position data of the interferometer by using a digital numerical processing.
デジタル数値処理を利用して干渉計位置データの非線形性を補償するためのシステム及び方法を提供すること。 - 特許庁 - To reduce influence of a measurement error in a stage device measuring a position by using a laser interferometer and a mirror.
レーザ干渉計とミラーを用いて位置計測をするステージ装置において、計測誤差の影響を低減することを目的とする。 - 特許庁 - A phase control apparatus 115, in the same manner, controls the phase of a phase shifter 109 in the interferometer 107 of the Q branch 103.
位相制御装置１１５は、同様に、Ｑブランチ１０３の干渉計１０７の移相要素１０９の位相を制御する。 - 特許庁 - In addition, the position of the object can be decided in detail from the position data of the position detecting means and the phase data of an optical interferometer.
そして、位置検出手段の位置データと光干渉計の位相データとから、被測定体の詳細な位置が確定できる。 - 特許庁 - To provide an astigmatism measuring apparatus and adjustment apparatus for easily detecting the astigmatism of a lens in a short time, utilizing an interferometer.
干渉装置を利用して、レンズの収差を容易に且つ短時間で検出する収差検出装置を提供することである。 - 特許庁 - To prevent deformation or vibration in a base from propagating to a structure for holding reference mirrors serving as measurement references for a length measurement interferometer.
測長干渉計の測定基準となる基準ミラーを保持する構造体に、ベースの変形や振動が伝播するのを防ぐ。 - 特許庁 - To provide a two-beam interferometer capable of accurately stopping a rotary mirror on a center burst position by repeatedly rotating the rotary mirror by small energy.
少ないエネルギーで回転鏡を反復回動させて正確にセンターバースト位置に停止できる二光束干渉計の提供。 - 特許庁 - The optical interferometer composed of an optical branch part, a plurality of optical waveguides having different lengths and an optical coupling part is disclosed.
光分岐部、複数の長さの異なる光導波路、及び光結合部から構成される光干渉計が開示される。 - 特許庁 - To provide a technique for reducing the area of a reflector which reflects a measurement wave emitted by an interferometer.
干渉計から発射される測定波を反射させる反射体の面積を小さくすることができる技術を提供する。 - 特許庁 - To provide a method of manufacturing a phase type diffraction grating and/or an amplitude type diffraction grating constituting an X-ray Talbot interferometer.
Ｘ線タルボ干渉計を構成する位相型回折格子及び／又は振幅型回折格子の製造方法を提供する。 - 特許庁 - To provide a method of manufacturing a phase type diffraction grating and an amplitude type diffraction grating constituting an X-ray Talbot interferometer.
Ｘ線タルボ干渉計を構成する位相型回折格子及び振幅型回折格子の製造方法を提供する。 - 特許庁 - The second and third height sensors are preferably part of a composite XY interferometer system extended with a Z measuring axis.
第２および第３高さセンサーは、Ｚ測定軸で拡張された複合ＸＹ干渉計システムの一部であることが好ましい。 - 特許庁 - In the Sagnac interferometer, two waveguide type PPLNs are incorporated which are developed as wavelength converting elements for optical communication.
サニャック干渉計には、光通信における波長変換素子として開発された導波路型PPLNが２つ組み込まれている。 - 特許庁 - The Mach-Zehnder type TO switch 2 has a heating electrode 5 as a thermooptic phase shifter formed on a Mach-Zehnder interferometer 4.
マッハツエンダー型ＴＯスイッチ２は、マッハツエンダー干渉計４上に熱光学位相シフタである加熱電極５を形成して成る。 - 特許庁 - To provide a laser interferometer capable of appropriate measurement of displacement of an object to be measured even if the object moves.
被測定物が移動をする場合であっても適切に被測定物の変位を測定することができるレーザ干渉計の提供。 - 特許庁 - As a reticle stage is 19 moved, a reference phase cycle which is a reference for scanning exposure is generated, using an interferometer 22A.
また、レチクルステージ１９の移動に伴い、干渉計２２Ａにより走査露光の基準となる基準位相周期を発生させる。 - 特許庁 - SHEARING INTERFERENCE MEASURING METHOD AND SHEARING INTERFEROMETER, METHOD OF MANUFACTURING FOR PROJECTION OPTICAL SYSTEM, AND PROJECTION OPTICAL SYSTEM, AND PROJECTION EXPOSURE DEVICE
シアリング干渉測定方法及びシアリング干渉計、投影光学系の製造方法、投影光学系、及び投影露光装置 - 特許庁 - A laser interferometer 13X1 is equipped with an optical path changing device 40 having a movable mirror 410 and a fixed mirror 420.
レーザ干渉計１３Ｘ１は可動ミラー４１０及び固定ミラー４２０を有する光路変更装置４０を備えている。 - 特許庁 - To provide a system and a method, more efficient and simpler, for reducing or eliminating walk-off in an interferometer.
干渉計においてウォークオフを低減又は排除するための、より効率的でより簡素なシステム及び方法を提供すること。 - 特許庁 - The position of an X direction of the wafer table 11 is measured by an X-axis laser interferometer 23X and the moving mirror 21X.
Ｘ軸レーザ干渉計２３Ｘ及び移動鏡２１Ｘによって、ウエハテーブル１１のＸ方向の位置を計測する。 - 特許庁 - The lens interferometer is provided with a polarization element so as to be capable of sensing the polarization state of the projected radiation beam.
レンズ干渉計には、投影された放射ビームの偏光状態を感知可能であるように、偏光要素が設けられる。 - 特許庁 - The tool 100 for manufacturing the Mach-Zehnder interferometer type optical element is provided with a groove formation member 110 and a lid member 120.
マッハツェンダ干渉計型光学素子製造用治具１００は、溝形成部材１１０および蓋部材１２０を備える。 - 特許庁 - The system further comprises an interferometer configured to generate an interference pattern between the local pulse and the remote pulse.
システムは、さらに、ローカルパルスと上記遠隔パルスとの間に干渉パターンを生成するように構成された干渉計を含む。 - 特許庁 - To provide a reference beam interferometer where influence of an environmental parameter on variation of wavelength of a light beam is further minimized.
光ビームの波長の変化に対する環境パラメータの影響がさらに最小化される参照ビーム干渉計を提供する。 - 特許庁 - One path of the interferometer has a longer path length than other path by an equal quantity to a time delay Δt of the photon.
干渉計の一本の経路は、光子の時間遅延Δｔに等しい量だけ、他の経路よりも長い経路長を有する。 - 特許庁 - The optical system of the present invention comprises any one or more of reflectometer, polarimeter, imaging, interferometer, and/or scanning angle system.
本光学システムは、反射計、偏光計、画像化、干渉計、および／または走査角システムのうちの任意の１つ以上を備える。 - 特許庁 - To solve the disadvantage of a known alignment system that a self-referencing interferometer in an alignment measurement system may be relatively expensive.
既知のアライメントシステムの不利な点は、アライメント測定システムの自己参照干渉計が比較的高価となりうることである。 - 特許庁 - In the alignment system, a self-reference interferometer to form two superposed relatively rotating images of alignment markers is used.
アライメントシステムにおいて、２つの重なり合う、相対回転されたアライメントマーカの像を作り出す自己参照干渉計を用いる。 - 特許庁 - A nonlinear crystal element 10 of this dispersion interferometer changes a part of laser light (fundamental wave W1) into a double harmonic W2.
ディスパーション干渉計の非線形結晶素子１０は、レーザ光（基本波Ｗ１）の一部を２倍高調波Ｗ２に変える。 - 特許庁 - To make it possible to detect fine waviness component having high spatial frequency with high precision by means of interferometer for face shape measurement.
本発明は、面形状測定用の干渉計で空間周波数の高い微細なうねり成分を高精度に検出する。 - 特許庁 - TEST STRUCTURE FOR SIMULTANEOUSLY DECIDING CHARACTERISTICS OF TWO PORTS OF OPTICAL COMPONENT USING OPTICAL NETWORK ANALYSIS OF INTERFEROMETER BASE
干渉計ベースの光ネットワーク解析を用いて光学部品の二つのポートの特性を同時に決定するための試験構造 - 特許庁 - To measure the membrane stiffness of a vibration membrane economically under the ordinary environment (at normal temperature and normal pressure) without using expensive interferometer etc.
通常環境（常温常圧）下で、かつ、高価な干渉計等を用いずに安価に、振動膜の膜スチフネス測定すること。 - 特許庁 - To prevent reflecting surfaces (reflecting surfaces of a Z interferometer) arranged on the side surface of stages from getting wetted with a liquid, in a liquid immersion area.
ステージ側面に設けられた反射面（Ｚ干渉計の反射面）が液浸領域の液体で濡れることを防止する。 - 特許庁 - An international research team recently announced that it has directly observed gravitational waves at the Laser Interferometer Gravitational-Wave Observatory (LIGO).
国際研究チームが先日，レーザー干渉計重力波観測所(LIGO(ライゴ))で重力波を直接観測したと発表した。 - 浜島書店 Catch a Wave - The Michelson interferometer 17 is a well-known interferometer having mirrors 21, 23 and 25, and emits the pair of beams 20a, 20b of the pulsed light 20 with Δt phase difference based on the pulsed light 27a emitted from a pulsed light emitting device 27.
マイケルソン干渉計１７は、ミラー２１、２３及び２５を有する周知の干渉計であり、パルス光出射装置２７から出射するパルス光２７ａに基づいてΔｔの位相差を有するパルス光２０の対２０ａ・２０ｂを出射させることができる。 - 特許庁 - The x interferometer 121 and the y interferometer 122 are provided, respectively, with a plurality of interference optical axes X_1, X_2 and Y_1, Y_2, and the position and attitude of the stage body 101 are determined by performing corrective calculation of parallelism error between these interference optical axes.
本発明では、ｘ干渉計１２１、ｙ干渉計１２２はそれぞれ複数本の干渉光軸Ｘ_１、Ｘ_２、Ｙ_１、Ｙ_２を備え、これら干渉光軸の軸間平行度誤差を補正計算することで、ステージ本体１０１の位置・姿勢を求める。 - 特許庁 - The measuring area restricted by the shielding plate 2 is extracted from measurement results of the interferometer, and the abscissas of the surface shape measurement data are calibrated by the interferometer, based on the relative positional information, with respect to a reference coordinate system on the object 1.
そして、干渉計の測定結果から遮光板２により限定された測定領域を抽出し、被検物１上の基準座標系に対する前記相対位置情報に基づいて、干渉計による面形状測定データの横座標を校正する。 - 特許庁 - To provide a tilt calibrating method of a micro-interferometer clamp section and a tool for tilt calibration that easily calibrates the tilt of the clamp section of each manufactured micro-interferometer and establishes the traceability system related to the tilt adjusting accuracy of the clamp section.
製造された各々の顕微干渉計においてクランプ部の傾き較正を容易に行うことができ、かつクランプ部の傾き調整精度に係るトレーサビリティ体系を確立し得る顕微干渉計クランプ部の傾き較正方法および傾き較正用治具を得る。 - 特許庁 - A stage WST is moved while the position is monitored using an X interferometer 127 and a Y interferometer 16, and Z positions of Y scales 39Y_1 and 39Y_2 provided on an upper surface of the stage WST are measured by using surface position measuring sensors 72a to 72d.
Ｘ干渉計１２７、Ｙ干渉計１６を用いて位置を監視しながらステージＷＳＴを移動させ、面位置計測センサ７２ａ〜７２ｄを用いてステージＷＳＴ上面に設けられたＹスケール３９Ｙ_１，３９Ｙ_２のＺ位置を計測する。 - 特許庁 - LIGHT TRACKING TYPE LASER INTERFEROMETER BY OSCILLATING OPTICAL LEVER USING SPHERICAL SURFACE MOTOR, AND COORDINATE MEASURING METHOD USING THIS DEVICE
球面モータを用いた首振り運動光てこによる光線追尾式レーザ干渉測長装置および該装置を用いた座標測定方法 - 特許庁
- 特許庁
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