「interferometer」を含む例文一覧(1556)
＜前へ 1 2 .... 9 10 11 12 13 14 15 16 17 .... 31 32 次へ＞- Further, the measurement unit may include a combined light source for the encoder as well as the interferometer.
さらに、測定ユニットは、エンコーダならびに干渉計用の複合光源を含むことができる。 - 特許庁 - POSITION DETECTING DEVICE, POSITION DETECTING METHOD, MICHELSON INTERFEROMETER, AND FOURIER TRANSFORM SPECTROSCOPIC ANALYZER
位置検出装置、位置検出方法、マイケルソン干渉計、およびフーリエ変換分光分析装置 - 特許庁 - INTERFEROMETER BY OPTICAL SYSTEM OF OPTICAL FIBER, AND BEAM COUPLING UNIT AND MANIPULATOR SYSTEM THEREFOR
光ファイバ光学系による干渉計、及びそのためのビーム結合ユニット及び操作器システム。 - 特許庁 - The second photodetector is optically coupled to the destructive optical output of the delay interferometer.
第２の光検出器は、遅延干渉計の相殺的光出力に光学的に結合される。 - 特許庁 - To provide an interferometer that has an inexpensive configuration and can easily inspect objects to be inspected.
安価な構成で、被検物等の検査を容易に行うことができる干渉計を提供する。 - 特許庁 - To minimize a beam shift between a measurement beam and a reference beam in an interferometer.
干渉計において、測定ビームと基準ビームとの間に生じるビームずれを最小化する。 - 特許庁 - At least one laser interferometer 24 is directed its measuring beam 23 into the transfer elements 9, 20.
少なくとも一つのレーザー干渉計（２４）は、測定ビーム（２３）を移動要素（９、２０）に向ける。 - 特許庁 - To improve work efficiency in an interference fringe measurement by simplifying a device configuration for image display of an interferometer in an image processing device and an interferometer measurement system.
画像処理装置および干渉計測定システムにおいて、干渉計の画像表示のための装置構成を簡素化し、干渉縞計測の作業性を向上することができることができるようにする。 - 特許庁 - The refractive index distribution measurement system is provided, including a two-beam interferometer and a signal processing apparatus 90 for acquiring refractive index distribution of a subject from interference fringe images acquired by the interferometer.
２光束干渉計と、干渉計が取得した干渉縞像から被検物の屈折率分布を取得する信号処理装置９０と、を有する屈折率分布測定システムを提供する。 - 特許庁 - To improve the accuracy of measurement by decreasing a correction error caused by an influence of refractive index distribution when a measurement output of a measurement interferometer is corrected by using a measurement output of a correction interferometer.
測定用干渉計の測定出力を補正用干渉計の測定出力を用いて補正する際に、屈折率分布の影響による補正誤差を低減し、測定精度の向上を図ること。 - 特許庁 - This vibration detector is constituted to include a ΔΣmodulator using a phase difference change between a reference light and a reflected light caused by an optical path change in an interferometer as a feedback parameter to the interferometer (piezoelectric oscillator driver 181).
干渉計内の光路変化による参照光と反射光との位相差変化を干渉計（ピエゾ振動子ドライバ１８１）への帰還パラメータとするΔΣ変調器を含むようにする。 - 特許庁 - To solve the problem that it becomes difficult to perform phase control over a delay interferometer if input signal light is abnormal in a configuration that DQPSK modulated signal light is decoded by the delay interferometer and a data reproducing circuit.
遅延干渉計およびデータ再生回路によりＤＱＰＳＫ変調信号光を復号する構成において、遅延干渉計の位相制御が入力信号光の異常時に困難となる。 - 特許庁 - The recipient inputs the second photon in the Mach-Zehnder interferometer at time 2 after time 1 to measure the photons in each of two outputs of the Mach-Zehnder interferometer.
受信者は時刻１よりも後の時刻２に第２の光子を、上記マッハ−ツェンダー干渉計に入力し、上記マッハ−ツェンダー干渉計の２つの出力それぞれにおいて光子の測定を行う。 - 特許庁 - The substrate support device 41 comprises a laser interferometer system 29, a movable stage structure 42, a stage mirror 43 fixed by the movable stage structure for reflecting laser beams of the laser interferometer system.
基板支持装置４１は、レーザー干渉計システム２９と、可動なステージ構造物４２と、可動なステージ構造物に固定され、レーザー干渉計システムのレーザービームを反射するステージミラー４３と、を備える。 - 特許庁 - To prepare correction data for measurement error of an interferometer due to bending of a reflection mirror, use an interferometer for improving measuring accuracy with the correction data to drive a movable body in high accuracy.
反射鏡の曲がりに起因する干渉計の計測誤差の補正データを作成し、該補正データを用いて計測精度が改善される干渉計を用いて、移動体を高精度に駆動する。 - 特許庁 - To provide an interferometer capable of measuring an aspheric shape with the same accuracy as that of a sphere and measuring various face shapes, and provide a semiconductor exposing device, using an optical element which uses the interferometer.
非球面の形状を球面と同じ精度で測定が可能で、かつ種々の面形状の測定に対応できる干渉計及びそれを用いた光学素子を用いた半導体露光装置を得ること - 特許庁 - To provide an XY-stage with function capable of measuring and holding the position coordinate value of an interferometer from a range detection value of the interferometer itself without introducing any special means of measurement.
干渉計の位置座標値を、特別な測定手段を導入することなく、干渉計自身の距離検出値に基づいて測定して保持することができる機能を備えたＸＹステージを実現する。 - 特許庁 - To provide a nondestructive sample probing method and device by an X-ray interferometer, capable of easily and non-destructively probing matter contained in a sample by the X-ray interferometer.
試料内の含有物をＸ線干渉計により、容易に、かつ非破壊的に探査することができる、試料のＸ線干渉計による非破壊的探査方法及びその装置を提供する。 - 特許庁 - This approach includes determining differences 46, 48 between an output phase of each interferometer at a time t and the phase of the same output at a time subtracting the delay of the other interferometer from the time t.
このアプローチは、時間ｔにおける各干渉計の出力の位相と、時間ｔから他方の干渉計の遅延を引いた時間における同じ出力の位相との差(46及び48)を求めることを含む。 - 特許庁 - In the low noise optical frequency conversion device, a Mach-Zehnder interferometer type SSB modulator wherein first and second Mach-Zehnder interferometer type phase modulators are provided in respective optical paths is used.
この低雑音光周波数変換装置には、第１と第２のマッハ・ツェンダ干渉計型位相変調器とをそれぞれの光路に設けた、マッハ・ツェンダ干渉計型ＳＳＢ変調器を用いる。 - 特許庁 - In another embodiment, an all-optical signal regenerator based on free space optics comprises a Sagnac loop interferometer, an optical signal input path coupled to a semiconductor optical amplifier of the Sagnac loop interferometer, a regenerating optical signal path coupled to the semiconductor optical amplifier of the Sagnac loop interferometer, and a regenerated optical output path coupled to the Sagnac loop interferometer.
他の例示的な実施形態では、自由空間光通信に基づく全光信号識別再生装置は、サニャック・ループ干渉計と、サニャック・ループ干渉計の半導体光増幅器に結合された光信号入力経路と、サニャック・ループ干渉計の半導体光増幅器に結合された識別再生光信号経路と、サニャック・ループ干渉計に結合された、識別再生された光出力経路とを備える。 - 特許庁 - To provide a heterodyne laser interferometer which can minimize displacement in reference beam and measuring beam due to rotation of stage.
干渉計においてステージの回転による基準ビームと測定ビームのずれを最小限に抑える。 - 特許庁 - To provide a laser interferometer having an oscillating optical lever driven with a spherical surface motor.
球面モータで駆動できる首振り運動光てこを有するレーザ干渉測長装置を提供する。 - 特許庁 - A measurement unit to measure a position in first and second dimensions includes a diffraction type encoder and an interferometer.
第１および第２次元の位置を測定する測定ユニットは、回折型エンコーダおよび干渉計を含む。 - 特許庁 - To provide a technology advantageous for accurately determining a shear amount in a shearing interferometer.
シアリング干渉測定装置においてシア量を高精度に決定するために有利な技術を提供する。 - 特許庁 - To provide a means for reducing or removing the effect caused by the phase noise of an interferometer system.
干渉計システムの位相雑音による効果を低減または除去する手段を提供すること。 - 特許庁 - A laser gauge interferometer 100 using the interference of laser light includes: the measurement interferometer 51 which generates the measurement output corresponding to the displacement of a moving member 33; and the correction interferometer 52 which generates the measurement output corresponding to a change in a refractive index of air at a reference interval of a constant distance.
レーザ光の干渉を利用したレーザ干渉測長器１００が、移動体３３の変位によって測定出力を生じる測定用干渉計５１と、距離一定の基準間隔における空気屈折率変化によって測定出力を生じる補正用干渉計５２と、を備えている。 - 特許庁 - To determine easily a correction value of a processing movement distance of a processing means without using a laser interferometer.
レーザ干渉計を用いることなく簡便に加工手段の加工移動量の補正値を求める。 - 特許庁 - MEASUREMENT AXIS INTERVAL MEASURING INSTRUMENT, MEASUREMENT AXIS INTERVAL MEASURING METHOD, MULTIAXIAL INTERFEROMETER, EXPOSING DEVICE, AND EXPOSING METHOD
計測軸間隔計測装置、計測軸間隔計測方法、多軸干渉計、露光装置及び露光方法 - 特許庁 - To provide an interferometer easily adjusting arrangement of a measuring object while avoiding interference noise.
干渉ノイズを回避しつつ、かつ測定対象物の配置調整が容易となる干渉計を提供する。 - 特許庁 - To provide a light wave circuit device in which optical waveguides are provided in the vicinity of a Mach-Zenhnder interferometer.
マッハツェンダー干渉計の近傍にモニタ用光導波路を設けた光波回路装置を提供する。 - 特許庁 - To provide an optical interferometer capable of stably measuring the refractive index of a medium.
媒体の屈折率が変化しても安定して測定することが可能な干渉計を提供すること。 - 特許庁 - The phase of a light signal flowing the interferometer is adjusted by using the heating part and the secondary heating part.
加熱部と第２の加熱部とを用いて干渉計を流れる光信号の位相が調整される。 - 特許庁 - To provide a Mach-Zehnder interferometer optical sensor which is stable to the variation of temperature and has a simple constitution.
温度変化に対して安定で、しかも構成が簡素なマッハツェンダ干渉計光センサを提供する。 - 特許庁 - The interferometer is constituted of a light branching unit 3 and a light synthesizer 7 for the measured light and reference light.
被測定光と参照光は光分岐器３と光合波器７とで干渉計を構成する。 - 特許庁 - Also, the movement speed and the distortion are measured by the laser interferometer and the measured signals are calculated and are corrected, as needed.
また基準となるレーザ干渉計で計測し、計測信号を演算し、また適宜補正を行う。 - 特許庁 - To enable a heterodyne interferometer to generate highly parallel monochromatic rays which are properly separated.
ヘテロダイン干渉計が良好に分離された高度に平行な単色光線を生成できるようにする。 - 特許庁 - The position measuring instrument corrects a measurement value by the laser interferometer based on the corrected wavelength change.
位置計測器は、補正された波長変化に基づいてレーザ干渉計による計測値を補正する。 - 特許庁 - Then a feedback control system 39 controls the phase bias of the interferometer according to the wavelength component intensity.
そして、帰還制御システム３９は波長成分強度に応じて干渉計の位相バイアスを制御する。 - 特許庁 - The interferometer 6 inputs interferogram signals 103 obtained from the respective channels into an AD converter 7.
干渉計６は、各チャネルから得られたインターフェログラム信号１０３をＡＤ変換器７に入力する。 - 特許庁 - The time-bin entangled photon pair measurement apparatus has a delay interferometer (41) and a photon detector (47).
時間位置もつれ光子対測定装置は遅延干渉計（４１）と光子検出器（４７）を有する。 - 特許庁 - LIGHT SOURCE UNIT, SEMICONDUCTOR EXPOSURE DEVICE, LASER MEDICAL TREATMENT DEVICE, LASER INTERFEROMETER DEVICE, AND LASER MICROSCOPE DEVICE
光源装置、半導体露光装置、レーザー治療装置、レーザー干渉計装置およびレーザー顕微鏡装置 - 特許庁 - To provide a Fabry-Perot interferometer having a wider spectral band than those of conventional Fabry-Perot interferometers and to provide a manufacturing method thereof.
従来よりも分光帯域の広いファブリペロー干渉計及びその製造方法を提供する。 - 特許庁 - Intrinsic layers of devices 12 and 14 become active regions of two arms 50 and 52 of a Mach-Zehnder interferometer.
デバイス（１２、１４）の真性層が、マッハ・ツェンダー干渉計の２本のアーム（５０、５２）の活性領域となる。 - 特許庁 - Each of the optical attenuators 21 to 28 is made up of an optical circuit including a Mach-Zehnder interferometer type optical circuit.
光減衰器２１〜２８のそれぞれは、マッハツェンダ干渉計型光回路を含む光回路からなる。 - 特許庁 - To precisely measure even fine swell of the wave front by reducing the focus error in an interferometer.
干渉計におけるフォーカス誤差を低減できて波面の微細なうねりまで高精度に測定する。 - 特許庁 - The side face of a mother mask or a mask is directly measured by a laser interferometer.
本発明では、マザーマスクやマスクの側面を直接レーザ干渉計によって直接計測する構成とする。 - 特許庁 - Phase variation Δϕ1-Δϕ3 in each Mach-Zehnder interferometer is controlled by heaters 121-126.
各マッハツェンダ干渉計における位相変化量Δφ_1〜Δφ_3はヒータ１２１〜１２６により調整される。 - 特許庁 - The interferometer 10, the direct driven stage 12 and the autocollimator 14 are connected with a calculation control section 15.
干渉計１０、直動ステージ１２、及びオートコリメーター１４は計算制御部１５に接続されている。 - 特許庁 - A Sagnac interferometer is composed of a polarization maintaining optical fiber 5 connected to the polarization beam splitter 2.
偏光ビームスプリッター２に接続された偏波保存光ファイバー５で、サニャック干渉計が構成されている。 - 特許庁
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