「interferometer」を含む例文一覧(1556)
＜前へ 1 2 .... 6 7 8 9 10 11 12 13 14 .... 31 32 次へ＞- The reflecting mirror and the interferometer may be provided to both ends of the member to be measured.
反射鏡および干渉計を被測定部材の両端に設けてもよい。 - 特許庁 - To provide a technique for suppressing PDF in an interferometer from increasing.
干渉計におけるＰＤＦが大きくなるのを抑える技術を提供する。 - 特許庁 - The data are converted to light intensity modulation signals at a reception end by a light interferometer.
受信端で光干渉計により、光強度変調信号に変換する。 - 特許庁 - INTERFEROMETER WITH TWO-RECIPROCATION REFLECTION OPTICAL SYSTEM FOR ORTHOGONAL MULTI-FREQUENCY LIGHT
直交多周波光に対する２往復反射光学系を用いた干渉計 - 特許庁 - INTERFEROMETER ALIGNMENT SYSTEM, INTERFERENCE FRINGE DISPLAY, AND INTERFERENCE FRINGE DISPLAYING METHOD
干渉計アラインメントシステム、干渉縞表示装置及び干渉縞表示方法 - 特許庁 - STRIPE IMAGE ANALYTICAL METHOD, INTERFEROMETER DEVICE, AND PATTERN PROJECTION SHAPE MEASURING INSTRUMENT
縞画像解析方法、干渉計装置、およびパターン投影形状測定装置 - 特許庁 - To provide an optical interferometer capable of obtaining a change in the thickness of a workpiece.
ワークの厚み変化を求めることができる光学干渉計を提供する。 - 特許庁 - ON-INSULATING LAYER CRYSTALLINE SILICON OPTICAL WAVEGUIDE MICHELSON INTERFEROMETER TYPE TEMPERATURE SENSOR
絶縁層上シリコン結晶体光学導波マイケルソン干渉式温度センサ - 特許庁 - SYSTEM AND METHOD FOR MEASURING OPTICAL PART CHARACTERISTIC BY USE OF INTERFEROMETER
干渉計を用いた光学部品の特性測定システム及びその測定方法 - 特許庁 - To provide a lithography system equipped having an interferometer for measuring the position of a mirror.
ミラーの位置を測定する干渉計を有するリソグラフィ装置を提供する。 - 特許庁 - LIGHT RECEIVER AND METHOD FOR STABILIZING OPERATING POINT OF OPTICAL INTERFEROMETER FOR USE THEREIN
光受信器およびそれに用いる光干渉計の動作点安定化方法 - 特許庁 - When one of the photons arrives at the receiver, it passes through an interferometer.
光子の内の一つが受信器に到着すると、それは、干渉計を通過する。 - 特許庁 - INTERFEROMETER WITH PARABOLOIDAL ILLUMINATION AND IMAGING OPTICS WITH TILTED IMAGING PLANE
放物面照明／結像光学系及び傾斜結像面を有する干渉計 - 特許庁 - SINUSOIDAL WAVELENGTH SCANNING INTERFEROMETER AND SINUSOIDAL WAVELENGTH SCANNING LIGHT SOURCE UNIT
正弦波状波長走査干渉計及び正弦波状波長走査光源装置 - 特許庁 - A double sharing interferometer comprises two heterodyne sharing interferometers.
２重共有干渉計は、２つのヘテロダイン共有干渉計で構成されている。 - 特許庁 - TILT CALIBRATING METHOD OF MICRO-INTERFEROMETER CLAMP SECTION, AND TOOL FOR TILT CALIBRATION
顕微干渉計クランプ部の傾き較正方法および傾き較正用治具 - 特許庁 - POLARIZATION INDEPENDENT TYPE DELAY INTERFERENCE METHOD AND POLARIZATION INDEPENDENT TYPE DELAY INTERFEROMETER
偏波無依存型遅延干渉方法及び偏波無依存型遅延干渉計 - 特許庁 - MULTIPLE INDEPENDENT QUARTER-WAVE PLATE PROVIDED IN DISPLACEMENT MEASURING INTERFEROMETER
変位測定干渉計に備えられる独立した複数の４分の１波長板 - 特許庁 - An AWG and a grating may be provided in place of the MZ interferometer.
また、ＭＺ干渉計に代えてＡＷＧ又はグレーティングを設けてもよい。 - 特許庁 - APPARATUS FOR MEASURING SYSTEM ERROR AND INTERFEROMETER SYSTEM FOR WAVEFRONT MEASUREMENT EQUIPPED WITH THE SAME
システム誤差計測装置およびこれを備えた波面測定用干渉計装置 - 特許庁 - PRECISE MEASUREMENT METHOD OF MAGNETIC SUSCEPTIBILITY AND MEASURING CELL FOR SUPERCONDUCTING QUANTUM INTERFEROMETER
磁化率精密測定方法及び超伝導量子干渉計用の測定セル - 特許庁 - When only one parallel substrate 207 is used, a Mach-Zehnder interferometer is constituted.
平行基板２０７が１枚の場合にはマッハツェンダ干渉計を構成する。 - 特許庁 - in astronomy, a machine for locating the position of a heavenly body, called {Very Long Baseline Interferometer}
超長基線電波干渉計という,天体の位置を求める観測機械 - EDR日英対訳辞書 - In an embodiment, a first phase difference is the difference between the phase of the output 52 of a test interferometer at the time t and the phase of the output of a test interferometer at a time offsetting the known delay of a reference interferometer from the time t.
１実施形態では、第１の位相差は、時間ｔにおける試験干渉計の出力(52)の位相と、時間ｔから基準干渉計の既知の遅延だけオフセットした時間における試験干渉計の出力の位相との差である。 - 特許庁 - This interferometer apparatus includes: an interferometer apparatus body 1; a CCD camera 10 mounted on the upper part thereof; a sliding mechanism 22 fitted to the lower part of the interferometer apparatus body 1; and a pinhole 21 movably supported by the sliding mechanism 22.
干渉計装置は、干渉計装置本体１と、その上部に取り付けられたＣＣＤカメラ１０と、干渉計装置本体１の下部に取り付けられたスライド機構２２と、スライド機構２２により移動可能に支持されたピンホール２１とを有している。 - 特許庁 - To provide an interferometer for measuring, while avoiding increase in the size of a projection aligner.
投影露光装置の大型化を回避しつつ測定用の干渉計を備える。 - 特許庁 - INTERFEROMETER SYSTEM AND METHOD OF OPTICAL INTERFEROMETRY FOR MEASURING MOVING BODY
動体測定用干渉計装置および動体測定用光干渉計測方法 - 特許庁 - To provide a small interferometer, optical switch, and sensor which are easily manufactured.
十分サイズが小さく、作成容易な干渉計、光スイッチ、及びセンサを提供する。 - 特許庁 - Thus, correction information for correcting the measurement values of the encoders having excellent short-period stability of the measurement value as compared to the interferometer is acquired by using the measurement value of the interferometer.
これにより、干渉計の計測値を用いて、その干渉計に比べて計測値の短期安定性が優れるエンコーダの計測値を補正する補正情報が取得される。 - 特許庁 - To provide a device and method for acquiring a position with a confocal Fabry-Perot interferometer.
ファブリペロー干渉計を利用して位置を取得する装置及び方法の提供。 - 特許庁 - COMPUTING METHOD OF INTERFEROMETER AND RECORDING MEDIUM RECORDING THIS METHOD
干渉計演算方法および干渉計演算方法が記録された記録媒体 - 特許庁 - The first optical interferometer 200 and the second optical interferometer 300 comprise: light discharge sections 210, 310; wire grids 220, 320; and interference fringe acquisition sections 230, 330.
第１光学干渉計２００と第２光学干渉計３００とは、光発射部２１０、３１０と、ワイヤーグリッド２２０、３２０と、干渉縞取得部２３０、３３０と、を備える。 - 特許庁 - To securely align a spatial filter which is arranged in an interferometer with high precision.
干渉計内に配置された空間フィルタを、高精度かつ確実にアライメントする。 - 特許庁 - 2-PULSE UTILIZED OPTICAL INTERFEROMETER FOR PRECISION INSPECTION WITH WAVEFORM OF INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
集積回路デバイスの波形による精査のための二パルス利用型光干渉計 - 特許庁 - ERROR CORRECTION METHOD IN FREQUENCY ANALYSIS BY USING WAVELENGTH SCANNING LASER INTERFEROMETER
波長走査レーザ干渉計を用いた周波数解析における誤差補正方法 - 特許庁 - The coherence length L of the interferometer 200 is determined by Δλ and λ.
Δλとλとにより、干渉計２００の可干渉距離ΔＬが決定される。 - 特許庁 - METHOD FOR DETECTING LOCATION OF IMPACT AND VIBRATION THROUGH OPTICAL LOOP INTERFEROMETER AND DEVICE THEREOF
光ループ干渉計を用いた衝撃・振動位置検知方法及びその装置 - 特許庁 - FLOW RATE USING OPTICAL LOOP INTERFEROMETER OR FLOW RATE MEASUREMENT METHOD AND DEVICE THEREOF
光ループ干渉計を用いた流量又は流速測定方法及びその装置 - 特許庁 - When an incoming fiber 17 receives light from an interferometer 26 and transmits the light to the reflecting surfaces 12 and 14, the surfaces 12 and 14 return the light to the interferometer 26 by reflection.
入射ファイバ（１７）が干渉計（２６）から光を受入れ、そしてその光を反射面（１２、１４）に伝送すると、反射面は光を反射して干渉計（２６）に戻す。 - 特許庁 - OPTICAL FIBER STRINGED INSTRUMENT USING OPTICAL LOOP INTERFEROMETER AND OPTICAL FIBER SOUND GENERATING METHOD
光ループ干渉計を用いた光ファイバ弦楽器及び光ファイバ音発生方法 - 特許庁 - POLARIZED LIGHT BEAM SPLITTER APPARATUS, INTERFEROMETER MODULE, LITHOGRAPHIC APPARATUS, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
偏光ビームスプリッタ装置、干渉計モジュール、リソグラフィ装置、およびデバイス製造方法 - 特許庁 - The interferometer 11 is provided at its upper arm 11a with a 1-bit delay element 11c.
干渉計１１は、上側アーム１１ａに１ビット遅延素子１１ｃを備える。 - 特許庁 - Objects equivalent to the two mirrors of a Michelson interferometer are separately allowed to fall freely, and a temporal change in the displacement therebetween is measured by the output of the interferometer.
マイケルソン干渉計の２つの鏡に相当する物体を別々に自由落下させ、それらの間の変位の時間変化を干渉計の出力で計測する。 - 特許庁 - A lithographic apparatus includes an immersion fluid system and an interferometer temperature detection system.
リソグラフィ装置は、液浸流体システム及び干渉計温度検出システムを備える。 - 特許庁 - METHOD AND SYSTEM FOR AUTOMATIC FEEDBACK CONTROL FOR FINE TUNING DELAY INTERFEROMETER
遅延干渉計を微調整するための自動フィードバック制御方法および装置 - 特許庁 - To provide an interferometer reducing a polarization dependent frequency shift (PDFS) arising due to an incompleteness of a branch element, and also to provide a demodulator equipped with the interferometer.
分岐素子の不完全性により生ずる偏光依存性（ＰＤＦＳ）を低減することができる干渉計、及び当該干渉計を備える復調器を提供する。 - 特許庁 - To provide a Mach-Zehnder interferometer type optical element adjusting method by which the optical path length difference ΔL of a Mach- Zehnder interferometer type optical element is easily adjusted.
マッハツェンダ干渉計型光学素子の光路長差ΔＬを容易に調整することができるマッハツェンダ干渉計型光学素子調整方法等を提供する - 特許庁 - INJECTION-LOCKED LASER DEVICE, INTERFEROMETER, EXPOSURE APPARATUS, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
注入同期型レーザ装置、干渉計測装置、露光装置及びデバイス製造方法 - 特許庁 - COMPACT BEAM RETRACE OPTICAL SYSTEM FOR REMOVING WALKOFF OF BEAM IN INTERFEROMETER
干渉計においてビームのウォークオフを取り除くためのコンパクトなビームリトレース光学系 - 特許庁 - EQUIPMENT FOR PROCESSING OUTPUT SIGNAL OF MICHELSON TYPE INTERFEROMETER USED IN FOURIER TRANSFORM SPECTROSCOPY, AND METHOD FOR PROCESSING OUTPUT SIGNAL OF MICHELSON TYPE INTERFEROMETER
フ—リエ変換スペクトロスコピで使用されるマイケルソンタイプ干渉計の出力信号を処理するための装置及びマイケルソンタイプ干渉計の出力信号を処理する方法 - 特許庁
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