「interferometer」を含む例文一覧(1556)
＜前へ 1 2 .... 7 8 9 10 11 12 13 14 15 .... 31 32 次へ＞- TWO-WAVELENGTH LASER INTERFEROMETER AND METHOD OF ADJUSTING OPTICAL AXIS IN THE SAME
２波長レーザ干渉計および２波長レーザ干渉計の光軸調整方法 - 特許庁 - To provide an interferometer system and a signal processing method and the like in the interferometer system capable of measuring position information of test objects with high precision.
高い精度をもって測定対象の位置情報を測定することができる干渉計システム及び干渉計システムにおける信号処理方法等を提供する。 - 特許庁 - In a method for correcting position of optical scanner, the position of a stage 1 is detected with high accuracy by means of an interferometer measuring system 15.
干渉計測長システム１５でステージ１の位置を高精度に検出する。 - 特許庁 - HIGH-PRECISION RING LASER INTERFEROMETER USING EXTERNAL RESONATOR TYPE RING LASER, AND OPTICAL SENSING DEVICE
外部共振器型リングレーザーを用いた高精度リングレーザー干渉計及び光センシング装置 - 特許庁 - To provide an interferometer capable of safely measuring the distance to a moving body.
移動体までの距離を安全に測定することができる干渉計を提供すること。 - 特許庁 - To provide a waveguide type optical interferometer which is inexpensive, having low loss and independent of temperature.
低コストで低損失な、温度に依存しない導波路型光干渉計を提供する。 - 特許庁 - The interferometer body 2 is equipped with an optical system 22 comprising a reference spherical surface or the like.
干渉計本体２は、参照球面などで構成される光学系２２を備える。 - 特許庁 - DISTURBANCE MEASURING DEVICE IN OPTICAL INTERFEROMETER, AND HIGH-PRECISION LIGHT INTERFERENCE MEASURING ARRANGEMENT
光干渉計における外乱の測定装置および高精度光干渉計測装置 - 特許庁 - INSTRUMENT AND METHOD FOR MEASURING SPACE, METHOD OF MANUFACTURING OPTICAL SYSTEM, AND INTERFEROMETER
間隔測定装置、間隔測定方法、及び光学系の製造方法、並びに干渉計 - 特許庁 - SURFACE ACCURACY MEASURING METHOD, INTERFEROMETER, SURFACE ACCURACY MEASURING INSTRUMENT, AND PROJECTION OPTICAL SYSTEM MANUFACTURING METHOD
面精度測定方法、干渉計、面精度測定装置、投影光学系の製造方法 - 特許庁 - To provide an interferometer system for displacement measurement, and to provide an exposure device using this system.
変位測定のための干渉計システム及びこれを利用した露光装置を提供する。 - 特許庁 - To shorten the time required for adjusting a phase of a delay interferometer to an optimum value than before.
遅延干渉計の位相を最適値に調整する時間を従来よりも短縮する。 - 特許庁 - LOW-COHERENCE INTERFEROMETER, LOW-COHERENCE INTERFERENCE APPARATUS, AND LOW-COHERENCE INTERFERENCE MEASURING METHOD
低コヒーレンス干渉計、低コヒーレンス干渉装置、及び低コヒーレンス干渉測定方法 - 特許庁 - OPTICAL FIBER RING INTERFEROMETER TYPE SENSOR AND SIGNAL DETECTING METHOD THEREOF
光ファイバリング干渉計型センサ及び光ファイバリング干渉計型信号検出方法 - 特許庁 - INTERFERENCE OPTICAL SYSTEM FOR MEASURING WAVE FRONT, AND INTERFEROMETER PROVIDED THEREWITH FOR MEASURING WAVE FRONT
波面測定用干渉光学系およびこれを備えた波面測定用干渉計装置 - 特許庁 - INTERFEROMETER, DISPLACEMENT MEASURING APPARATUS, AND INFORMATION RECORDER/REPRODUCER EMPLOYING IT
干渉装置、変位測定装置、及びそれを用いた情報記録又は／及び再生装置 - 特許庁 - Photodiodes 74, 76 connected in series receive an output of the interferometer 66 with balancing.
シリアル接続のフォトダイオード７４，７６は、干渉計６６の出力をバランス受信する。 - 特許庁 - To provide an optical interferometer capable of enhancing measurement precision and capable of measuring a wide area.
測定精度が向上しかつ測定面積が広い光学干渉計を提供する。 - 特許庁 - The delay interferometer is allowed to provide a time delay of about one bit period.
遅延干渉計は、約１ビット期間の時間遅延を提供するようになされている。 - 特許庁 - This interferometer 1 comprises a reference branching paths 5, 105 and measuring branching paths 3, 103.
参照分岐路（５，１０５）と測定分岐路（３，１０３）とを備えた干渉計装置（１）。 - 特許庁 - LIGHT WAVE INTERFERENCE MEASURING METHOD ON WINDING SURFACE, AND INTERFEROMETER DEVICE FOR WINDING SURFACE MEASUREMENT
迂曲面の光波干渉測定方法および迂曲面測定用の干渉計装置 - 特許庁 - A monitor laser beam source 31 gives monitor beam having 3rd wavelength to the interferometer.
監視用レーザ光源３１は第３の波長を有する監視光を干渉計を与える。 - 特許庁 - To enhance measurement precision of a laser interferometer used in an air conditioned space.
空調管理された空間で用いられるレーザー干渉計の測定精度を上げること。 - 特許庁 - The fine wavelength response is sensed by using an interferometer which can make an interference pattern.
細密な波長応答性は干渉パターンを作成できる干渉計を用いて得る。 - 特許庁 - SYSTEM AND METHOD FOR HETERODYNE INTERFEROMETER HIGH VELOCITY TYPE NON-LINEARITY COMPENSATION
ヘテロダイン干渉計の高速タイプの非線形性を補償するためのシステム及び方法 - 特許庁 - To generate an accurate alignment signal without changing the constitution of an interferometer.
干渉計の構成に変更をきたすことなく正確なアライメント信号を生成する。 - 特許庁 - REFLECTION TYPE PINHOLE, ITS MANUFACTURING METHOD AND INTERFEROMETER USING THE PINHOLE
反射型ピンホール及び該反射型ピンホールの製造方法並びに該ピンホールを用いた干渉計 - 特許庁 - ALIGNMENT SENSOR, ALIGNMENT SENSOR SYSTEM, IMAGE ROTARY INTERFEROMETER AND METHOD FOR DETECTING ALIGNMENT MARK
アライメントセンサ、アライメントセンサシステム、イメージ回転形干渉計及びアライメントマーク検出方法 - 特許庁 - NULL INTERFEROMETER COMPUTING METHOD AND STORAGE MEDIUM STORING THE METHOD
ヌル干渉計演算方法およびヌル干渉計演算方法が記録された記録媒体 - 特許庁 - SYSTEM, METHOD AND APPARATUS FOR MICROMACHINED INTERFEROMETER USING OPTICAL SPLITTING
光分岐を使用する、マイクロ機械加工した干渉計のためのシステム、方法、および装置 - 特許庁 - INTERFEROMETER, MICROSCOPE FOR SURGICAL OPERATION, AND INTERFEROMETRIC MEASURING METHOD FOR MOVING SPEED OF OBJECT
干渉計、手術用顕微鏡、および対象物の運動速度の干渉測定法 - 特許庁 - To introduce ultraviolet light having little aberration into an optical measuring apparatus such as an interferometer.
収差の少ない紫外光を干渉計等の光学測定機器に導入すること。 - 特許庁 - To adjust a phase of an optical waveguide interferometer circuit with high accuracy and everlasting durability.
光導波路干渉計回路の位相を、高精度かつ恒久的に調整する。 - 特許庁 - TRANSMISSION TYPE DIFFRACTION GRATING FOR X-RAY, X-RAY TALBOT INTERFEROMETER AND X-RAY IMAGING APPARATUS
Ｘ線用透過型回折格子、Ｘ線タルボ干渉計およびＸ線撮像装置 - 特許庁 - INTERFEROMETER APPARATUS AND ITS MEASURING METHOD FOR BOTH LOW COHERENCE MEASUREMENT / HIGH COHERENCE MEASUREMENT
低可干渉測定／高可干渉測定共用干渉計装置およびその測定方法 - 特許庁 - POSTURE ADJUSTMENT MECHANISM OF OPTICAL SURFACE, MICHELSON INTERFEROMETER, AND FOURIER TRANSFORMATION SPECTROSCOPIC ANALYZER
光学面の姿勢調整機構、マイケルソン干渉計、およびフーリエ変換分光分析装置 - 特許庁 - OPTICAL PATH LENGTH VARYING APPARATUS, OPTICAL INTERFEROMETER EMPLOYING THE SAME AND FOURIER TRANSFORM SPECTROMETER
光路長可変装置およびそれを用いた光干渉計ならびにフーリエ変換分光器 - 特許庁 - MACH-ZEHNDER INTERFEROMETER, AND METHOD AND DEVICE FOR MANUFACTURING THE SAME
マッハ・ツェンダ型干渉計およびその製造方法、マッハ・ツェンダ型干渉計の製造装置 - 特許庁 - INORGANIC OPTICAL MATERIAL, LIGHT SOURCE, MICHELSON INTERFEROMETER, OPTICAL COHERENT TOMOGRAPHY DEVICE, AND OPTICAL AMPLIFIER
無機光学材料、光源、マイケルソン干渉計、光コヒーレントトモグラフィ装置、及び光増幅器 - 特許庁 - Each of balance detectors 4A and 4B detects an output of a corresponding delay interferometer.
バランス検波器４Ａ，４Ｂの各々は対応の遅延干渉計の出力を検波する。 - 特許庁 - MULTI-AXIS INTERFEROMETER WITH INTEGRATED OPTICAL STRUCTURE AND METHOD FOR MANUFACTURING RHOMBOID ASSEMBLY
一体型光学構造を有する多軸干渉計と偏菱形組立体の製造方法 - 特許庁 - The body STM of the stage device can avoid an interferometer in the height direction.
ステージ本体ＳＴＭを干渉計に対して高さ方向に回避することができる。 - 特許庁 - OPTICAL AXIS DEVIATION TYPE LASER INTERFEROMETER, ITS CALIBRATION METHOD, CORRECTION METHOD, AND MEASURING METHOD
光軸偏向型レーザ干渉計、その校正方法、補正方法、及び、測定方法 - 特許庁 - To realize a wavelength correction of high accuracy by a laser interferometer so as to position a stage very accurately.
高いレーザ干渉計波長補正精度を実現し、高いステージ位置決め精度を得る。 - 特許庁 - The laser interferometer 104 measures variation of distance up to the retroreflector 106.
レーザ干渉計１０４が再帰反射体１０６までの距離の変化量を測定する。 - 特許庁 - The interferometer temperature detection system is configured to measure the temperature of the immersion fluid.
干渉計温度検出システムは、液浸流体の温度を測定するように構成される。 - 特許庁 - DYNAMIC LINEARITY MEASURING METHOD USING LASER INTERFEROMETER OF LASER DISPLACEMENT METER, AND MEASUREMENT DEVICE
レーザ変位計のレーザ干渉計を用いた動的線形性計測方法及び計測装置 - 特許庁 - METHOD, APPARATUS, AND SYSTEM FOR EVALUATION AND CALIBRATION OF DUAL-WAVELENGTH LASER INTERFEROMETER
２波長レーザ干渉計評価校正方法、評価校正装置および評価校正システム - 特許庁 - To provide an interferometer capable of precisely measuring the transmission wave front of an optical system under inspection.
被検光学系の透過波面を高精度に計測できる干渉計を提供する。 - 特許庁 - This interferometer is provided with a straightness interferometer 12 for separating spectrally a laser beam L from a laser oscillator 11, a beam splitter 21a for the first reflecting mirror 21 arranged inside an optical path for laser beams L1, L2 from the straightness interferometer 12, a reflector 13 and the second reflecting mirror 22.
レーザ発振器１１からのレーザ光Ｌを分光する真直度干渉計１２と、真直度干渉計１２からのレーザ光Ｌ１ 、Ｌ２ の光路内に配設する第１の反射ミラー２１用のビームスプリッタ２１ａ、反射器１３、第２の反射ミラー２２とを設ける。 - 特許庁
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