「interferometer」を含む例文一覧(1556)
＜前へ 1 2 .... 11 12 13 14 15 16 17 18 19 .... 31 32 次へ＞- WAVEFORM ANALYZING DEVICE, WAVE FORM ANALYSIS PROGRAM, INTERFEROMETER DEVICE, PATTERN PROJECTION SHAPE MEASURING DEVICE, AND WAVEFORM ANALYSIS METHOD
波形解析装置、波形解析プログラム、干渉計装置、パターン投影形状測定装置、及び波形解析方法 - 特許庁 - To provide an optical fiber interferometer having low sensitivity against an undesirable environmental noise such as a vibration or temperature change.
振動や温度変化等の望まない環境雑音に対し感度の低い光ファイバ干渉計を提供する。 - 特許庁 - To eliminate the fluctuation of light quantity generated when a fringe scan is carried out in a interferometer using a pin hole.
ピンホールを使った干渉計において、縞走査（フリンジスキャン）を行う際に生じる光量変動をなくす。 - 特許庁 - A modulated test optical-signal is converted into an intensity modulation from a phase modulation by a delay interferometer 107.
変調された試験光信号を、遅延干渉計１０７により位相変調から強度変調に変換する。 - 特許庁 - APPARATUS AND METHOD FOR ESTIMATING LOCATION OF VIBRATION IN OPTICAL FIBERING INTERFEROMETER TYPE VIBRATION DETECTING SENSOR
光ファイバリング干渉計型振動検知センサにおける振動位置推定装置および振動位置推定方法 - 特許庁 - To provide a laser-interferometer type displacement gauge, provided with a ring laser resonator as a dual-frequency ring laser light source.
リングレーザ共振器を２周波リングレーザ光源として具備するレーザ干渉計型変位計を提供する。 - 特許庁 - A column 1 and an interferometer 21 are connected via a coupling member 2 in the internal space of the sample chamber 3.
試料室３の内部空間において、カラム１と干渉計２１とを連結部材２により連結する。 - 特許庁 - METHOD FOR CALIBRATING SHEARING INTERFEROMETER, METHOD FOR MANUFACTURING PROJECTION OPTICAL SYSTEM, PROJECTION OPTICAL SYSTEM, AND PROJECTION EXPOSURE APPARATUS
シアリング干渉計の校正方法、投影光学系の製造方法、投影光学系、及び投影露光装置 - 特許庁 - Output laser light of a laser diode 20 is input to an optical IQ multiplexer, having a Mach-Zehnder interferometer structure.
レーザダイオード２０の出力レーザ光は、マッハツェンダ干渉計構造の光ＩＱ多重装置２２に入力する。 - 特許庁 - A Sagnac type common path optical interferometer capable of measuring physical properties at a vertical incident angle is constituted.
垂直の入射角で物性が測定できるＳａｇｎａｃ型の共通経路光学干渉計を構成する。 - 特許庁 - Such phase compensation CC can be used for improving the accuracy of a distance measurement interferometer.
そのような位相補償ＣＣは距離測定干渉計の精度を改善するために使用されることができる。 - 特許庁 - On the next step, distances between the optical surfaces (S1, S2, S3) are determined by using a short coherence interferometer (24).
次のステップでは、光学面（Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３）の間隔が、短コヒーレンス干渉計（２４）を用いて決定される。 - 特許庁 - To reduce fluctuation in temperature of the optical path of a laser interferometer because of substrate stage driving and heat generation.
基板ステージの駆動、及び発熱による、レーザ干渉計の光路の温度の揺らぎを効果的に低減する。 - 特許庁 - An interferometer system measures the position of the substrate table, and generates a disturbance frequency by optical feedback.
干渉計システムは、基板テーブルの位置を測定し、且つ、オプティカル・フィードバックによって妨害周波数を生成する。 - 特許庁 - Photodiodes 21, 22 converts a set of optical signals outputted from the interferometer 10 into electrical signals.
フォトダイオード２１、２２は、干渉計１０から出力される１組の光信号をそれぞれ電気信号に変換する。 - 特許庁 - To provide an interferometer capable of measuring wavefronts at one sitting of the whole domain of an object whose wavefront is to be measured.
被波面測定物の全領域の波面を一度に測定することができる干渉計を提供する。 - 特許庁 - To improve the reliability of data measured by the light wave interferometer off at the point of periodic calibration.
光波干渉計において、定期校正の時点から離れた時点で測定されたデータの信頼性を向上する。 - 特許庁 - Further, a needle crystal consisting of the wave crystal is used to structure this charge density wave quantum interferometer.
また、電荷密度波結晶からなる針状結晶を用いて電荷密度波量子干渉計を構成する。 - 特許庁 - To provide a definite heterodyne laser Doppler interferometer with an optical excitation function for a sample, with a simple constitution.
構成が簡単で、的確な試料の光励振機能を有するヘテロダインレーザドップラー干渉計を提供する。 - 特許庁 - An MZI (Mach-Zehnder Interferometer) circuit 101 is formed striding over the first PLC 110 and the second PLC 120.
そして、第１ＰＬＣ１１０および第２ＰＬＣ１２０を跨いでＭＺＩ回路１０１が形成されている。 - 特許庁 - To provide a lens inspection method, in which aberration amount of a lens to be inspected is measured with satisfactory accuracy, even if an interferometer is not maintained or controlled strictly.
干渉計を厳密に維持・管理しなくても、被検レンズの収差量を精度良く測定する。 - 特許庁 - X-RAY GENERATOR, X-RAY ANALYSIS DEVICE, X-RAY TRANSMISSION IMAGE MEASUREMENT DEVICE, AND X-RAY INTERFEROMETER
Ｘ線発生装置ならびにＸ線分析装置、Ｘ線透過像計測装置及びＸ線干渉計 - 特許庁 - Correction laser light irradiated from the correction interferometer 52 passes through the measurement interferometer 51 and travels on the same optical path as an optical path of correction laser light emitted from the measurement interferometer 51 to become interference light corresponding to a change in the refractive index of air through which the measurement laser light passes, and then enters the arithmetic processing device 60.
補正用干渉計５２から照射される補正用レーザ光は、測定用干渉計５１を透過することにより、測定用干渉計５１から照射される補正用レーザ光と同一光路を辿り、測定用レーザ光が通過した空気屈折率の変化に対応した干渉光となり演算処理装置６０に出射される。 - 特許庁 - Otherwise, the PDF is derived based on a difference between dependency of 'a phase difference of the two-beam interferometer' of the measuring parameter in the polarization state 1 and dependency of 'the phase difference of the two-beam interferometer' of the measuring parameter in the polarization state 2.
あるいは、前記偏波状態１の測定パラメータの「２光束干渉計の位相差」依存性と、前記偏波状態２の測定パラメータの「２光束干渉計の位相差」依存性との差に基づきＰＤＦを導出する。 - 特許庁 - The second interferometer I_2 radiates measuring light, and acquires a second interference fringe image, based on return light having returned to the second interferometer again after being reflected by a part of a spherical mirror formed on the backside of the reflecting flat mirror F_1.
第２の干渉計Ｉ_2は、測定光を照射し、折り返し平面ミラーＦ_1の裏面に形成された球面ミラーの一部で反射され、再び第２の干渉計に戻ってきた戻り光を基に、第２の干渉縞画像を取得する。 - 特許庁 - A second interferometer I_2 is arranged opposite to a first interferometer I_1 to measure a transmission wave front of an optical system T_1 to be inspected with a reflecting plane mirror F_1 having a diameter smaller than a region to be measured of an optical system T_1 in between.
被検光学系Ｔ_1の被測定領域よりも小口径の折り返し平面鏡Ｆ_1を挟んで、被検光学系Ｔ_1の透過波面を測定する第１の干渉計Ｉ_1と対向するように第２の干渉計Ｉ_2を設ける。 - 特許庁 - A phase controller controls the phase difference of a Mach-Zehnder interferometer provided to the first modulator, to a target value, and controls the phase difference of a Mach-Zehnder interferometer provided to the second modulator, to a value shifted from the target value just by π.
位相制御部は、第１の変調器が備えるマッハツェンダ干渉計の位相差を目標値に制御すると共に、第２の変調器が備えるマッハツェンダ干渉計の位相差を上記目標値からπだけシフトした値に制御する。 - 特許庁 - A measuring direction of the first laser interferometer 41 and the second laser interferometer 42 is parallel to neither an X direction nor a Y direction, but is preferable to be disposed at an angle of 45 degrees with respect to the X direction and the Y direction.
第１のレーザ干渉計４１および第２のレーザ干渉計４２の測定方向は、Ｘ方向およびＹ方向のいずれとも平行でなく、Ｘ方向およびＹ方向に対して４５度の角度をなすことが好ましい。 - 特許庁 - Based on measured results of the first plate interferometer 17 and the second plate interferometer 18, a main controller MC controls a linear motor 13 or a Z/θ driving mechanism 16 so as to suppress rotary vibration of the substrate table 14.
主制御装置ＭＣは、第１プレート干渉計１７及び第２プレート干渉計１８の計測結果に基づいて、基板テーブル１４の回転振動が抑制されるようリニアモータ１３又はＺ・θ駆動機構１６を制御する。 - 特許庁 - The lithographic apparatus further includes X, Y and Z interferometer measurement systems, and an object support positioning system configured to position the object support in a number of degrees of freedom on the basis of measurements of the interferometer measurement systems.
リソグラフィ装置は、さらに、Ｘ、Ｙ及びＺ干渉計測定システムと、干渉計測定システムの測定に基づいて対象物支持体を複数の自由度で位置決めする対象物支持体位置決めシステムとを有している。 - 特許庁 - An approximate position in the direction of the main shaft of the stage is derived by calculation based on an operating amount of the second linear motor, and after setting a laser interferometer, a commutation is carried out by a value of the laser interferometer and a movement in the direction to the origin is made.
第２のリニアモータの操作量に基づいて、ステージ主軸方向の概略位置を計算により求め、レーザー干渉計に設定した後はレーザー干渉計の値によりコミュテーションを行い、原点方向へ移動する。 - 特許庁 - To provide a method and a device for making the optical axis of a lens to be inspected coincide with that of an interferometer, by using as a reference an annular plane portion (plane R2 portion) for mounting the lens to be inspected, and measuring transmission wavefront aberrations by the interferometer.
被検レンズを実装するときの環状平面部（Ｒ２平面部）を基準にして、被検レンズの光軸を干渉計光軸と一致させ、干渉計による透過波面収差の測定ができる方法及び装置を得る。 - 特許庁 - CANTILEVER ARRAY, METHOD OF MANUFACTURING THE SAME, SCANNING PROBE MICROSCOPE USING THE SAME, SLIDING DEVICE FOR GUIDE AND ROTATION MECHANISM, SENSOR, HOMODYNE LASER INTERFEROMETER, LASER DOPPLER INTERFEROMETER WITH PHOTOEXCITATION FUNCTION OF SAMPLE AND EXCITATION METHOD FOR CANTILEVER
カンチレバーアレイ、その製造方法及びそれを用いた走査型プローブ顕微鏡、案内・回転機構の摺動装置、センサ、ホモダインレーザ干渉計、試料の光励振機能を有するレーザドップラー干渉計ならびにカンチレバーの励振方法 - 特許庁 - Light emitted from an optical fiber 2 is converged in a uniaxial direction by a cylindrical lens 4, made incident on a Fabry-Perot interferometer 5, and distributed in an X axis direction by changing an emitting angle by a wavelength by the interferometer 5.
光ファイバー２を射出した光を、シリンドリカルレンズ４で一軸方向に集光させてファブリペロー干渉計５に入射させ、この干渉計５で波長によって射出する角度を変化させＸ軸方向に分布させる。 - 特許庁 - Light of the light source 10 is made to interfere by a Michelson interferometer 20, and an interference signal is thinned by a PDC 40.
光源１０の光をマイケルソン干渉計２０により干渉させ、干渉信号をＰＤＣ４０により間引きする。 - 特許庁 - To provide a method and device for determining elements or the like of the Jones matrix of an optical device without requiring an interferometer.
干渉計を必要としない、光学装置のジョーンズマトリクスの要素等を決定する方法及び装置を提供する。 - 特許庁 - A beam 348 adjusted by a compensator is provided as output from the compensator 340 and the adjusted beam is received by an interferometer 342.
補正部により調整されたビーム３４８は補正部３４０から出力され、干渉計３４２に受光される。 - 特許庁 - The modulated wave outputted from a modulated wave generator 11 is inputted to a light source 12 and passed through an interferometer 18.
変調波発生器１１で出力される変調波を光源１２に入力し、干渉計１８を通過させる。 - 特許庁 - A second grating is disposed on the focal surface to receive the refractive image of an irradiating light to form a Shearing interferometer.
第２の格子は放射源の回折像を受け取る焦点面に配置されており、シアリング干渉計を形成している。 - 特許庁 - To provide an oblique incidence interferometer capable of attaining highly precise measurement by easily obtaining an exact value of fringe sensitivity.
縞感度の正確な値を容易に得ることができ、高精度に測定できる斜入射干渉計を提供すること。 - 特許庁 - A recipient prepares a Mach-Zehnder interferometer obtained by arranging a nonlinear optical material in one of two optical paths.
受信者は、２つの光経路のうち片方に非線形光学材料を配置したマッハ−ツェンダー干渉計を準備する。 - 特許庁 - To provide an interferometer reducing noise generated by an imaging surface and enhancing measurement precision of interference fringes.
撮像面により生じるノイズを減らし干渉縞の測定精度を向上させることができる干渉計を提供する。 - 特許庁 - To provide an oblique incidence interferometer excellent in measurement accuracy and user-friendliness without using any special configuration.
特殊な構成とすることなく、測定精度および利便性を良好にできる斜入射干渉計を提供すること。 - 特許庁 - A receiver prepares a polarization plate, and a Sagnac interferometer employing a nonlinear optical material in a part of a optical path.
受信者は、偏光板と、光経路の一部に非線形光学材料を用いたサニャック干渉計を準備する。 - 特許庁 - To provide: an interferometer system capable of reducing an error of a detection result; a stage device; and an exposure device.
検出結果の誤差を低減することが可能な干渉計システム、ステージ装置及び露光装置を提供すること。 - 特許庁 - To provide an oblique incidence interferometer which can easily make optical axes of measurement light and reference light align with each other.
測定光および参照光の光軸を容易に一致させることが可能な斜入射干渉計を提供する。 - 特許庁 - To reduce the weight of a rotation type interferometer for measuring angular displacement of an object, and to enlarge an angle range.
物体の角変位を測定する回転型干渉計の重量を軽減すると共に角度範囲を増大させる。 - 特許庁 - To provide a grating element with a high quenching ratio, and a Mach-Zehnder interferometer and an optical cross-connection device which use the same.
高消光比のグレーティング素子及びそれを用いたマッハツェンダー干渉計及び光クロスコネクト装置を提供する。 - 特許庁 - To provide an optical switch which switches optical paths by using a Mach-Zehnder interferometer element composed of an optical fiber.
光ファイバーにより構成されたマッハ・ツェンダ−干渉計素子を用いて光路を切り替える光スイッチを提供する。 - 特許庁 - A position control system controls the position of the support structure and of the substrate table on the basis of the position measurement of the interferometer system.
位置制御システムは、干渉計システムの位置測定に基づいて支持構造及び基板テーブルの位置を制御する。 - 特許庁
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