「interferometer」を含む例文一覧(1556)
＜前へ 1 2 .... 14 15 16 17 18 19 20 21 22 .... 31 32 次へ＞- To provide a position measuring technique using an interferometer, capable of reducing fluctuations in measured values, and capable of reducing the influence due to vibration.
計測値の変動を小さくできるとともに、振動の影響が少ない干渉計を用いた位置計測技術を提供する。 - 特許庁 - To provide a laser interferometer and laser interferometry for suppressing the manufacturing cost and eliminating the influence of modulation.
製造コストを抑制し且つ変調による影響を解消したレーザ干渉測長装置及びレーザ干渉測長方法を提供する。 - 特許庁 - The correction method for measurement values of a laser interferometer comprises the steps of (a) determining the moved distance by moving a moving table only a first distance and therewith measuring the starting position and the ending position for the movement of the moving table, and (b) obtaining correction information for correcting the laser interferometer, based on the movement distance determined with the laser interferometer and the first distance.
レーザ干渉計の計測値の補正方法は、（ａ）可動テーブルを、第１の方向に関して第１の距離だけ移動させるとともに、該可動テーブルの移動開始位置及び移動終了位置をレーザ干渉計で計測して移動距離を求める工程と、（ｂ）前記レーザ干渉計を用いて求められた移動距離と、前記第１の距離とに基づいて、該レーザ干渉計を補正するための補正情報を得る工程とを有する。 - 特許庁 - A stage is structured so that a pair of an interferometer and a reflector, both of which being used to measure length, are both made movable, and move in a direction parallel to a moving axis among a plurality of moving axes of the stage which crosses a direction, in which a length is measured by the pair of the interferometer and the reflector with the pair of the interferometer and the reflector kept mutually facing.
測長に使用する一対の干渉計および反射体の両者が可動となるようステージを構成し、かつステージが持つ複数の移動軸のうち上記一対の干渉計および反射体によって測長が行われる方向とは交差する移動軸と平行な方向に対して、上記一対の干渉計および反射体が互いに対向する状態を保ったまま移動できるようにステージを構成する。 - 特許庁 - A relative position can be measured by an interferometer or a capacitive sensor which is mounted on the fixed/extended portion of the mirror.
相対位置の測定は、ミラーの固定延長部上に装着した干渉計または容量性センサによって実行可能である。 - 特許庁 - To provide an interferometer system by which an object can be measured with high accuracy, with a simple structure and without being affected by an ambient environment.
簡単な構造で、周辺環境の影響を受けずに、対象物を高精度で測定できる干渉計システムを提供する。 - 特許庁 - A method and/or an apparatus for compensating dispersion in the signal of a short coherence interferometer and/or an OCT interferometer removes the influence of dispersion through post-compensation by correlating an interferometer signal for only one spot of light beam reflecting in the z- direction along the measuring axis in the z-direction and a three-dimensional variable correlation kernel having the same corresponding dispersion value.
ｚ方向の測定軸に沿ってそれぞれｚ方向に反射する光線の唯一つのスポット箇所についての干渉計信号と、それに対応する同分散値を持つ立体的可変相関核とを相関させることによって、分散の影響を後からの補償で除去する、短コヒーレンス干渉計および／またはＯＣＴ干渉計の信号における分散補償のための方法および／または装置を提供する。 - 特許庁 - To provide a system equipped with an interferometer including a main assembly which has polarizing beam splitter interfaces displaced in two lateral directions.
２つの横方向に変位している偏光ビーム・スプリッタ界面を有する主アセンブリを含む干渉計を備えた装置を提供すること。 - 特許庁 - WAVEFORM ANALYZER, COMPUTER-EXECUTABLE WAVEFORM ANALYSIS PROGRAM, INTERFEROMETER DEVICE, PATTERN PROJECTION SHAPE MEASURING DEVICE AND WAVEFORM ANALYSIS METHOD
波形解析装置、コンピュータ実行可能な波形解析プログラム、干渉計装置、パターン投影形状測定装置、及び波形解析方法 - 特許庁 - To provide an oblique incidence interferometer which can alter sensitivity to interference fringes without requiring any advanced technique nor expensive laser light source.
高度な技術や、高価なレーザ光源を要することなく、干渉縞感度を変更することができる斜入射干渉計の提供。 - 特許庁 - The receiver measures a phase modulation amount of signal light outputted from the Sagnac interferometer to discriminate the information of the sender.
受信者はサニャック干渉計から出力される信号光の位相変調量を測定して送信者の情報を判別する。 - 特許庁 - A frequency-shifting interferometer 10 measures an optical profile of a specimen 12 with a continuous turning type light source 16.
連続同調型光源１６により被検体１２の光学プロファイルを測定する周波数偏移干渉計１０が提供される。 - 特許庁 - A 1-bit delay interferometer 66 converts the phase modulation signal included in an output light of the branching unit 50 into an intensity modulation signal.
１ビット遅延干渉計６６は分波器５０の出力光に含まれる位相変調信号を強度変調信号に変換する。 - 特許庁 - To provide a white light interferometer dispensing with a moving device for a movable mirror and a displacement measuring instrument.
可動ミラーのための移動装置及び変位測定装置を必要としない白色光干渉計を提供することを目的とする。 - 特許庁 - To provide an interferometer system capable of obtaining an accurate speed of a moving body, a stage device, an exposure apparatus and a device manufacturing method.
移動体の正確な速度を取得可能とする干渉計システム、ステージ装置、露光装置及びデバイス製造方法を提供すること。 - 特許庁 - To provide a PDF measuring method realizable relative to a two-beam interferometer (for example, MZI) arranged in a demodulator.
復調器内に配置されている２光束干渉計（例えば、ＭＺＩ）についても実現可能なＰＤＦ測定方法を提供する。 - 特許庁 - The main optical path 110, the suboptical path 120, the optical coupler 142, and an optical coupler 143 constitute a second Mach-Zehnder interferometer 152.
主光路１１０、副光路１２０、光カプラ１４２および光カプラ１４３は第２のマッハツェンダ干渉計１５２を構成している。 - 特許庁 - The main optical path 110, the suboptical path 120, an optical coupler 141, and an optical coupler 142 constitute a first Mach-Zehnder interferometer 151.
主光路１１０、副光路１２０、光カプラ１４１および光カプラ１４２は第１のマッハツェンダ干渉計１５１を構成している。 - 特許庁 - To provide a laser tracking interferometer robust against running-out of a rotary mechanism, and hardly affected by a flaw and dust on a surface of a reference sphere.
回転機構のランアウトに対してロバストで、且つ、基準球表面の疵や埃の影響を受け難くい追尾式レーザ干渉計。 - 特許庁 - To provide an interferometer etc. capable of achieving compactness and lightness in weight and suppressing the occurrence of measurement errors as much as possible.
小型・軽量化を図ることができるとともに、測定誤差の発生を極力抑えることができる干渉計等を提供する。 - 特許庁 - An output signal 7 of the interferometer structure is re-inputted to a piece of arm 11 via a means for delaying by T/2.
干渉計構造の出力信号７は、Ｔ／２の遅延をもたらす手段１６を介して、１本のアーム１１に再入力される。 - 特許庁 - Then, the recipient makes the component turning to the right and reference light interact in a nonlinear optical material arranged in an interferometer.
次に受信者は右へ向かう成分と参照光を、干渉計の中に配置した非線形光学材料において相互作用させる。 - 特許庁 - The system and the method (200) for the compensation of the nonlinearity of the interferometer position data (202) receive a group (600) of digital position values (300).
干渉計位置データ(202)の非線形性を補償するためのシステム及び方法(200)は、デジタル位置値(300)のグループ(600)を受信することを含む。 - 特許庁 - To provide an interferometer having a high measuring accuracy and a method to determine the moving speed of any object through an interferometric measurement.
測定精度の高い干渉計と、対象物の運動速度を干渉測定により求めることのできる方法とを提供する。 - 特許庁 - To provide a low-profile object mounting stage of a stable structure to be used for a highly accurate measuring instrument such as an interferometer.
干渉計などの高精度計測器に用いられる載物ステージで、高さが低く、安定した構造の載物ステージを提供すること。 - 特許庁 - To provide an interferometer that makes accurate measurement possible by separating the reflected light only from the test surface of an object to be measured.
測定対象の被検面のみからの反射光を分離して正確な計測を可能にする干渉計装置を提供すること。 - 特許庁 - To provide an interferometer of preventing reduction of measurement accuracy without using an expensive detector, and to provide a spectrometer provided with the same.
高価な検出器を用いなくとも測定の精度が低下するおそれのない干渉計及びそれを備えた分光装置を提供する。 - 特許庁 - The input signal light is distributed to an upper waveguide and a lower waveguide of a Mach-zehnder interferometer by a 3 dB coupler 5.
上記入力信号光は、３ｄＢカプラ５によってマッハツェンダー干渉計の上部導波路と下部導波路に分配される。 - 特許庁 - To provide an interferometer capable of converting non-common mode error sources of various multiphase shift image generation mechanisms into common mode errors.
様々な多重移相画像発生機構の非同相誤差源を同相誤差に変換することができる干渉計を提供する。 - 特許庁 - To provide a method and an instrument for measuring precisely a dimension in a both-end face interferometer.
本発明の目的は両端面干渉計においてより高精度な寸法測定を行う方法および装置を提供することにある。 - 特許庁 - The optical integrated circuit 1 includes a semiconductor Mach-Zehnder interferometer type modulator section (semiconductor MZ modulator setion) 2 and a photodiode section 3.
光集積回路１は半導体マッハツェンダ干渉計型変調器部（半導体ＭＺ変調器部）２と、フォトダイオード部３とを備える。 - 特許庁 - To provide a heterodyne interferometer having a simpler configuration than conventional ones and protected against incoming of return light to laser source.
従来よりも簡単な構成で、レーザ光源への戻り光の進入に対する防御がなされたヘテロダイン干渉計を提供する。 - 特許庁 - Compared to a comparative example which uses a high-priced interferometer, the outgoing light beam measuring apparatus can be constituted at a remarkably low price.
また、高価な干渉計を用いる比較例と比較すると、出射光測定装置は格段に安価に構成することができる。 - 特許庁 - The measurement unit includes a combined optical unit (COU) to transfer an encoder measurement beam (EMB) as well as an interferometer measurement beam (IMB).
測定ユニットは、エンコーダ測定ビーム（ＥＭＢ）ならびに干渉計測定ビーム（ＩＭＢ）を転送する複合光学ユニット（ＣＯＵ）を含む。 - 特許庁 - To measure an optical path difference above wavelength with high accuracy and in real time by a sinusoidal wave-like wavelength scanning interferometer.
正弦波状波長走査干渉計により波長以上の光路差を高精度で、かつ実時間で測定することができるようにする。 - 特許庁 - To provide a low-coherence interferometer which improves measurement efficiency by reducing the width of the scanning range of an optical path length difference.
光路長差のスキャン範囲の幅を縮小して測定の効率化を図るのに適した構成の低コヒーレンス干渉計を提供する。 - 特許庁 - The recipient measures the phase modulation amount of signal light outputted from the Sagnac interferometer and discriminates the information of the sender.
受信者はサニャック干渉計から出力される信号光の位相変調量を測定して送信者の情報を判別する。 - 特許庁 - The interferometer 7 of the eccentricity measuring device 1 is provided with a beam splitter 8, a corner cube prism 9, a planar mirror 10, and a screen 11.
偏心計測装置１の干渉計７は、ビームスプリッタ８と、コーナーキューブプリズム９と、平面鏡１０と、スクリーン１１とを備えている。 - 特許庁 - To two-dimensionally drive a movable body stably and accurately by servocontrol of a hybrid system using an interferometer system and an encoder system in combination.
干渉計システムとエンコーダシステムを併用するハイブリッド方式のサーボ制御により、移動体を安定且つ高精度に２次元駆動する - 特許庁 - The optical gate switch circuit has a structure in which an optical bandpass filter 3 is connected to the output side of an asymmetric Mach-Zehnder interferometer 10.
光ゲートスイッチ回路は、非対称マッハツェンダー干渉計１０の出力側に光バンドパスフィルタ３を接続した構造を有する。 - 特許庁 - To provide an interferometer capable of evaluating the surface shape of a spherical lens at regular pitches to the surface.
本発明は球面レンズの表面形状を表面に対して等ピッチで評価できる干渉計を提供することを課題とする。 - 特許庁 - To provide an oblique incidence interferometer for accurately detecting a phase difference across a whole face to be measured in a simple constitution.
簡単な構成で、被測定面の全面にわたって正確に位相差を検出することのできる斜入射干渉計を提供する。 - 特許庁 - The transmission wave front of the specimen 18 is accurately measured thereby including the influence affected by the double refraction, in the interferometer 1.
したがって、干渉計（１）は、被検物（１８）の透過波面を複屈折から受ける影響も含めて正確に測定することができる。 - 特許庁 - To enhance resolution when a wavelength of a light source is measured by an interferometer, without lengthening remarkably an optical path length difference.
干渉計により光源の波長を測定する際の分解能を、光路長差を著しく長くさせることなく向上させる。 - 特許庁 - To provide an interferometer capable of measuring accurately a transmission wave front of a specimen including an influence affected by double refraction.
本発明は、被検物の透過波面を複屈折から受ける影響も含めて正確に測定することのできる干渉計を提供する。 - 特許庁 - Thereby heat emitted from the adjoining Mach-Zehnder interferometer type optical circuit is effectively suppressed and the heat interference is suppressed.
これにより、隣接するマッハツェンダ干渉計型光回路から放射される熱を効果的に抑え、熱干渉を抑制することができる。 - 特許庁 - A recipient prepares a Sagnac interferometer using two nonlinear optical materials of an equal light path length in a part of a light route.
受信者は、光経路の一部に光路長の等しい２つの非線形光学材料を用いたサニャック干渉計を準備する。 - 特許庁 - Respective rays which are emitted from an SLD 231 and are introduced to respective optical fibers of a fiber array F are made incident on an interferometer section 154.
ＳＬＤ２３１から射出されてファイバアレイＦの各光ファイバに導かれた各光線は、干渉計部１５４に入射する。 - 特許庁 - A laser interferometer 5 is arranged at the upper portion of the channel cover 4, and the displacement of an air pressure receiving plate 16 is measured through the channel cover 4.
流路カバー４の上方にレーザー干渉計５を配置し、流路カバー４を透して受動板１６の変位を計測する。 - 特許庁 - A moving mirror 14 provided on the wafer stage 13 is irradiated with the measuring beam 52 by the laser interferometer 51, to thereby detect its position.
レーザー干渉計５１によりウエハステージ１３に設けられた移動鏡１４に測定ビーム５２を照射しその位置を検出する。 - 特許庁
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