「interferometer」を含む例文一覧(1556)
＜前へ 1 2 .... 15 16 17 18 19 20 21 22 23 .... 31 32 次へ＞- A large offset in the path length of an interferometer can produce high fringe density, to thereby create monochromatic images.
干渉計の経路長における大きなオフセットは、高い縞の密度の生成をもたらすことができ、それにより単色画像が生成される。 - 特許庁 - An interferometer 300 includes an optical coupling machine 303, having two input leads 302,308 and two output leads 310,315.
干渉計３００は、２本の入力リード３０２、３０８と、２本の出力リード３１０、３１５を有する光結合器３０３を含む。 - 特許庁 - In the interferometer, a diffraction grating 21, a condenser lens 22, a transparent plate 23, a field lens 24, and an imaging element 25 are arranged in this order.
干渉計は、回折格子２１、コンデンサーレンズ２２、透明板２３、フィールドレンズ２４および撮像素子２５をこの順に配置させている。 - 特許庁 - To provide a heterodyne interferometer capable of being produced at a cost lower than conventional ones and measuring displacements and velocities of a high-speed mobile object.
従来よりも製造コストが安価で、高速移動体の変位や速度を計測することができるヘテロダイン干渉計を提供する。 - 特許庁 - An optical interferometer is equipped with nonlinear semiconductor waveguides 10 and 11 and the 1st input light and 2nd input light are inputted.
光干渉計には非線形半導体導波路１０及び１１が備えられ、第１及び第２の入力光が入力される。 - 特許庁 - Moreover, each Mach-Zehnder interferometer type circuit in the optical attenuators 21 to 28 is formed of a different structural parameter by each channel.
また、光減衰器２１〜２８におけるマッハツェンダ干渉計型光回路は、チャンネル毎に異なる構造パラメータによって形成されている。 - 特許庁 - To provide a method of correcting a measurement sensitivity in an oblique incidence interferometer, the method readily performed by a user under a usage environment.
使用者が使用環境下で簡便に実施できる斜入射干渉計における測定感度の校正方法を提供すること。 - 特許庁 - The optical fiber homodyne laser interferometer has a microcantilever detection optical system for positioning laser spot to a microcantilever 169.
光ファイバ式ホモダインレーザ干渉計において、微小カンチレバー（１６９）にレーザスポットを位置決めする微小カンチレバー検出光学系を具備する。 - 特許庁 - A laser beam Lout from a laser light source 10 is divided into three optical paths (first to third optical paths) and made to proceed by an interferometer.
レーザ光源１０からのレーザ光Ｌoutを、干渉計において３つの光路（第１ないし第３の光路）に分離して進行させる。 - 特許庁 - In this system or this method for measuring group delay of an optical device under test(DUT), a test interferometer and a linked optical frequency counter are utilized in order to compensate a non-uniform frequency change generated in an input light signal used in the interferometer for group delay measurement.
光学被測定物（ＤＵＴ）の群遅延を測定するためのシステムまたは方法において、群遅延測定用の干渉計で用いられる入力光信号に生じる一様でない周波数変化を補償するために、テスト干渉計と連携した光周波数カウンタを利用する。 - 特許庁 - The laser interferometer improves a laser interferometer wherein a laser beam from a semiconductor laser is branched so as to be sent to a fixed mirror and a moving mirror, beams of return light from the respective mirrors are composited to obtain interference light and the movement distance of the moving mirror is detected on the basis of the interference light.
本発明は、半導体レーザからのレーザ光を分岐して固定ミラーと可動ミラーとに送り、各ミラーからの戻り光を合成して干渉光を得て、この干渉光に基づいて可動ミラーの移動距離を検出するレーザ干渉計に改良を加えたものである。 - 特許庁 - Light wavelength-scanned like a sinusoidal wave from an SWS light source device 10 is caused to enter the interferometer including a beam splitter BS1 and mirrors M1 and M2, and interference light obtained from the interferometer is photoelectric-converted by a photo diode PD1 to obtain an interference signal S(t).
ＳＷＳ光源装置１０からの正弦波状に波長走査された光を、ビームスプリッタＢＳ１、ミラーＭ１、Ｍ２からなる干渉計に入射させ、この干渉計から得られる干渉光をフォトダイオードＰＤ１により光電変換して干渉信号Ｓ(t)を得る。 - 特許庁 - In addition, if the interferometer 10 is an oblique- incident type, the reflected light and the background light measured by the interferometer 10 and the side formed by the edge of the water 1 to be detected are set to be substantially parallel to each other when viewed from a direction perpendicular to the surface of the wafer 1.
さらに，干渉計１０が斜入射干渉計の場合，干渉計１０により計測される前記反射光及び前記背景光と，検出対象となるウェハ１のエッジが形成する辺とが，ウェハ１の面に垂直な方向から見て略平行となるよう構成する。 - 特許庁 - To provide a point diffraction interferometer that measures the optical performance of an optical system to be inspected with high accuracy, by reducing errors with respect to the ideal spherical waves of an emitted wave front from a pinhole, and to provide an exposure apparatus and a method therefor which use the point diffraction interferometer and a manufacturing method of devices thereof.
ピンホールからの射出波面の理想球面波に対する誤差を低減して、被検光学系の光学性能を高精度に測定することが可能な点回折干渉計、それを利用した露光装置及び方法、並びに、デバイス製造方法を提供する。 - 特許庁 - To provide a blood sugar measuring system using a low coherence optical interferometer combining a low coherence interferometer which is a basic technique of light wave tomography used actually and recently in opthalmological clinical medicine with polarimetry technique, and capable of reducing patient's burden and saving a measuring time.
近年眼科臨床で実用されている光波断層画像測定法の基盤技術である低コヒーレンス干渉計と旋光分析技術とを融合させた、患者の負担が少なく、測定時間が速い低コヒーレンス光干渉計を用いた血糖測定装置を提供する。 - 特許庁 - To obtain an interferometer which has the operating ability of a Hartmann-shack analyzer based on a low-luminance light source having an extremely wide or intensively disturbed spectrum width, and simple performance, and the flexibility of power characteristic adjustment of a four-side variation interferometer as well.
実施が簡単であることと、強く擾乱されたまたはきわめて広いスペクトル幅の低輝度光源を基にしたハルトマン−シャック分析器の動作能力と、四辺偏移干渉計の動力特性調節の柔軟性とを同時に兼備した干渉計を提供すること。 - 特許庁 - Further, the operation state of the encoder system is diagnosed and reliability of the measured position information is verified to perform switching from the encoder system to an interferometer system according to results thereof, thereby performing driving control over the table WTB based upon position information measured using the interferometer system.
さらに、エンコーダシステムの作動状態を診断し、また計測された位置情報の信頼性を検証し、それらの結果に応じて、エンコーダシステムから干渉計システムへ切り換え、干渉計システムを用いて計測される位置情報に基づいてテーブルＷＴＢを駆動制御する。 - 特許庁 - The diffraction grating is relatively inclined to the shape measuring interferometer so that the plus first-order diffracted light or minus first-order diffracted light from the diffraction grating and reference light from a reference optical flat 12 provided inside the Fizeau type interferometer 12 may be overlapped.
回折格子からの＋１次回折光または−１次回折光と、フィゾー型干渉計１２の内部に搭載されている参照用オプティカルフラット１２からの参照光が重なり合うように、形状計測用干渉計に対して回折格子を相対的に傾ける。 - 特許庁 - The exposure apparatus includes an interferometer that forms interference fringes including aberration information on projection optics 1 using polarized light beams emitted from an illumination system 10, and a processor 18 that calculates the optical characteristics of the projection optical system 1 on the basis of interference patterns formed by the interferometer.
露光装置は、照明系１０から出射される偏光を使って投影光学系１の収差情報をもった干渉縞を形成する干渉計と、干渉計によって形成される干渉縞に基づいて投影光学系１の光学特性を算出する処理部１８とを備える。 - 特許庁 - The optical fiber gyroscope is equipped with a Sagnac interferometer 3, having a sensing coil of optical fiber, a temperature sensor 1 installed on the sensing coil, and a correction processing unit 21 correcting angular velocity data Bo, obtained from outputs of the Sagnac interferometer 3 through the following function A, based on the detected temperatures T from a temperature sensor 1.
光ファイバジャイロは、光ファイバのセンシングコイルを有するサニャック干渉計３、センシングコイルに取り付けられた温度センサ１、温度センサの検出温度Ｔに基づき、サニャック干渉計３の出力から求まる角速度データＢｏを下記関数Ａにより補正する補正処理部２１を備える。 - 特許庁 - To provide a system for spectroscopic analysis so as to preclude a stand-by time for obtaining an interferogram of an average frequency of a CPU and a period during which an interferometer does not obtain the interferogram from being generated during a prescribed frequency of scanning executed by the interferometer, so as to output spectroscopic analysis results continuously in plural channels.
干渉計が行う所定の回数の走査中に、ＣＰＵの平均回数分のインターフェログラム取得時の待機時間と干渉計がインターフェログラムを取得していない期間が発生せず、複数チャンネルで連続して分光分析結果を出力する分光分析システムを提供する。 - 特許庁 - To provide an X-Y stage system capable of reducing a length-measurement error due to air fluctuation by including a length-measurement light path tube mechanism for adequately covering a length-measurement light path of a laser interferometer in its X-Y stage having a position length measurement part moving in X/Y directions by the laser interferometer.
レーザー干渉計による位置測長部位がＸＹ方向に運動するＸＹステージにおいて、レーザー干渉計の測長光路を十分に覆う測長光路筒機構を備えることで空気揺らぎによる測長誤差を低減できるＸＹステージ装置を提供する。 - 特許庁 - To remove dead frequencies in an optical fiber ring interferometer type sensor, i.e., dead zones in an optical fiber loop.
光ファイバリング干渉計型センサにおける不感周波数の除去、つまり光ファイバループ内の不感地点の除去を図ることを目的とする。 - 特許庁 - The waving of a polished glass plate surface is measured by using a multi-function disc interferometer and expressed by a waving curve.
研磨処理されたガラス基板の基板表面上に発生したうねりは多機能ディスク干渉計を用いて測定され、うねり曲線で示される。 - 特許庁 - CORRECTION METHOD FOR MEASURED VALUES OF LASER INTERFEROMETER, MOVING METHOD FOR TABLE AND DEVICE THEREOF, LASER BEAM MACHINING METHOD AND DEVICE THEREOF, AND CORRECTION METHOD FOR POSITION MEASURING DEVICE
レーザ干渉計の計測値の補正方法、テーブル移動方法及び装置、レーザ加工方法及び装置、及び位置計測装置の補正方法 - 特許庁 - To provide a demodulator of an optical continuous phase frequency shift keying (CPFSK) signal without using a delay interferometer.
本発明は，遅延干渉計を用いない光位相連続周波数変調（ＣＰＦＳＫ）信号の復調装置を提供することを目的とする。 - 特許庁 - To provide a Fizeau interferometer properly measuring the form of a spherical surface to be measured even in the case where a phase shift method is used.
位相シフト法を用いる場合であっても被測定球面の形状を適切に測定することができるフィゾー型干渉計の提供。 - 特許庁 - To provide a frequency-shifting interferometer capable of stably measuring an optical profile of a specimen at high speed, and to provide a method thereof.
安定且つ高速に被検体の光学プロファイルを測定することができる周波数偏移干渉計及びその方法を提供する。 - 特許庁 - To provide a low coherence optical interferometer capable of measuring a surface interval quickly and accurately, and a film thickness measuring method using it.
迅速に精度よく面間隔を測定することができる低コヒーレンス光干渉計及びそれを用いた膜厚測定方法を提供する。 - 特許庁 - To provide a manufacturing method which makes it possible to stably supply X-ray diffraction gratings with a high aspect ratio to be used for an X-ray Talbot interferometer.
Ｘ線タルボ干渉計に用いる高アスペクト比のＸ線回折格子を安定的に供給可能な製造方法を提供する。 - 特許庁 - This interferometer system is provided with a beam production mechanism, a beam reflecting mirror, and a sensing device for detecting interference pattern of overlapped reflection beam.
干渉計装置は、ビーム生成機構、ビーム反射鏡、および重複する反射ビームの干渉パターンを検出する検出デバイスを有する。 - 特許庁 - A triangle path interferometer using a low-coherence light source as a light source is used, and the block gage 5 and a transparent substrate 6 are arranged in the optical path.
光源に低コヒーレンス光源を用いた三角光路干渉計を用い、その光路中にブロックゲージ５と透明基板６を配置する。 - 特許庁 - To provide the interferometer measuring instrument which can easily remove a measurement error due to the influence of disturbance such as vibration and fluctuation of air.
振動や空気のゆらぎ等の外乱の影響による計測誤差を簡易に除去することができる干渉計測装置を提供する。 - 特許庁 - To obtain an apparatus and a method whereby a refractive index distribution of a phase object in a stationary state can be measured without rotating an entire interferometer.
干渉計全体を回転させずに、静止した状態の位相物体の屈折率分布を測定できる装置及び方法を提供する。 - 特許庁 - This interferometer 10 is provided with the transparent first and second parallel plates 16, 18 of same thickness and same refractive index.
干渉計１０は、それぞれ透明で同じ屈折率を有する同じ厚さの第１および第２平行平板１６および１８を具えている。 - 特許庁 - To provide an interferometer, an optical switch and an optoelectronic integrated device, which facilitate control of light, have superior response characteristics and are miniaturized.
光を容易に制御することができ、応答特性がよく小型化が可能な、干渉計、光スイッチ、及び光集積装置を提供する。 - 特許庁 - To precisely measure a phase change in a measured sample without stabiliz ing an interferometer.
干渉計を安定化させることなく被測定試料での位相変化を高精度に測定できる光振幅位相時間応答測定装置を提供する。 - 特許庁 - To provide an analyzing method, an interference method, and an interferometer wherein an optical characteristic of an optical system to be tested is measured with a high degree of accuracy.
被検光学系の光学特性を高精度に測定可能な干渉縞の解析方法、干渉方法及び干渉計を提供する。 - 特許庁 - To easily acquire the distance from the inner surface of a sleeve to the central axis of the inner surface, in a surface shape measuring device that has an interferometer.
干渉計を有する表面形状測定装置にてスリーブの内側面から内側面の中心軸までの距離を容易に取得する。 - 特許庁 - HIGH-ORDER HARMONIC X-RAY GENERATING APPARATUS AND ITS GENERATING METHOD, AS WELL AS POINT-DIFFRACTION INTERFEROMETER USING HIGH-ORDER HARMONIC X-RAY
高次高調波エックス線発生装置及びその発生方法、並びに高次高調波エックス線を利用したエックス線干渉計測装置 - 特許庁 - To obtain high resolution without requiring any complex signal processing algorithm by facilitating circuit design of a heterodyne interferometer.
ヘテロダイン干渉計測装置の回路設計を容易とし、複雑な信号処理アルゴリズムを必要とすることなく、高い分解能が得られるようにする。 - 特許庁 - To provide an optical waveguide circuit that allows optical waveguides each constituting an interferometer to be manufactured while suppressing variation in optical path length.
干渉計を構成する各光導波路を、光路長のばらつきを抑制して製造することができる光導波回路を提供する。 - 特許庁 - The laser beam projected through modulation of intensity and frequency is further changed into a heterodyne interference beam 34 by using a heterodyne interferometer.
また、強度および周波数が変調されて出射されたレーザ光を、さらに、ヘテロダイン干渉計を用いて、ヘテロダイン干渉光３４に変える。 - 特許庁 - To provide a Fabry-Perot interferometer for forming an electrode without forming a large step even when the air gap length is long.
エアギャップ長が大きい場合であっても大きな段差を形成することなく電極を形成することができるファブリペロー干渉計を提供 - 特許庁 - To estimate the wavelength of measurement light of a tracking laser interferometer in a simple composition without performing measurement of an outside environment such as temperature.
温度などの外部環境の測定を行わずに、簡略な構成で、追尾式レーザ干渉計の測定光の波長を推定可能とする。 - 特許庁 - To provide a Fabry-Perot optical filter constituted of a Fabry-Perot element having the same operation principle as a Fabry-Perot interferometer and reflectors.
ファブリーペロ干渉計と同じ操作原理を有するファブリーペロ素子と反射器によって構成されるファブリーペロ光学濾過装置を提供する。 - 特許庁 - To provide a shearing interferometer with dynamic pupil fill which dissolves one or more faults in conventional technology.
従来技術における１つ若しくはそれ以上の欠点に鑑みそれらを解消する、ダイナミックピューピルフィル走査型干渉計を提供すること。 - 特許庁 - To provide an interferometer for immersion microscope objective capable of quantitatively and accurately evaluating the immersion microscope objective.
液浸系顕微鏡対物レンズを定量的にかつ高精度に評価することができる液浸系顕微鏡対物レンズ用干渉計の提供。 - 特許庁 - Based on these values, the orthogonal two-phase signal of the interferometer is corrected so that the radius of the polar coordinate is constant, and the periodic error is reduced.
これらの値により、極座標の半径が一定となるよう、干渉計直交２相信号を補正し、周期的な誤差を低減する。 - 特許庁 - To measure a position of a stage with a high precision by suppressing an air fluctuation on an optical path of a laser interferometer for measuring the position of the stage.
ステージの位置を計測するためのレーザ干渉計の光路上における空気の揺らぎを抑えて、ステージの位置を高精度に計測する。 - 特許庁
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