「substrate processing system」を含む例文一覧(694)

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  • SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM, METHOD FOR PROCESSING SUBSTRATE, AND PROGRAM FOR EXECUTING THE METHOD
    基板処理システム、基板処理方法及び該方法を実行するプログラム - 特許庁
  • LOAD LOCK DEVICE, SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM EQUIPPED THEREWITH
    ロードロック装置、それを備えた基板処理装置および基板処理システム - 特許庁
  • SUPERCRITICAL PROCESSING APPARATUS, SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM, AND SUPERCRITICAL PROCESSING METHOD
    超臨界処理装置、基板処理システム及び超臨界処理方法 - 特許庁
  • SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM AND METHOD OF CONTROLLING THE SAME
    基板処理システム及びその制御方法 - 特許庁
  • STATISTICAL ANALYSIS METHOD AND SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM
    統計解析方法及び基板処理システム - 特許庁
  • POSITION ADJUSTING METHOD AND SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM
    位置調整方法及び基板処理システム - 特許庁
  • SUBSTRATE CLEANING APPARATUS AND VACUUM PROCESSING SYSTEM
    基板洗浄装置及び真空処理システム - 特許庁
  • SOFTWARE SEQUENCER FOR INTEGRATED SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM
    集積基板処理システムのソフトウェアシーケンサー - 特許庁
  • SUPPORT OF SUBSTRATE, PROCESSING SYSTEM OF SUBSTRATE COMPRISING SUPPORT, AND PROCESSING PROCESS OF SUBSTRATE
    基板の支持装置及び該装置を備えた基板の処理装置、並びに基板の処理方法 - 特許庁
  • WAFER CARRIER, SUBSTRATE PROCESSOR, SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM, SUBSTRATE PROCESSING METHOD, AND SEMICONDUCTOR DEVICE
    ウェーハキャリア、基板処理装置、基板処理システム、基板処理方法および半導体装置 - 特許庁
  • SUBSTRATE-PROCESSING APPARATUS MANAGEMENT SYSTEM, SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS, METHOD OF MANAGING SUBSTRATE-PROCESSING APPARATUS, PROGRAM, AND STORAGE MEDIUM
    基板処理装置管理システム、基板処理装置、基板処理装置管理方法、プログラム、および、記録媒体 - 特許庁
  • METHOD FOR MANAGING SUBSTRATE, SYSTEM FOR PROCESSING SUBSTRATE AND MOUNTING TABLE
    基板管理方法及び基板処理装置並びに載置台 - 特許庁
  • LOAD PORT SYSTEM OF SUBSTRATE PROCESSOR AND METHOD FOR PROCESSING SUBSTRATE
    基板処理装置のロードポートシステム及び基板の処理方法 - 特許庁
  • SUBSTRATE CLEANING APPARATUS AND SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM EQUIPPED WITH THE SAME
    基板洗浄装置およびそれを備えた基板処理装置 - 特許庁
  • SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM, SUBSTRATE PROCESSOR, PROGRAM, AND RECORDING MEDIUM
    基板処理システム、基板処理装置、プログラム及び記録媒体 - 特許庁
  • PROCESSING METHOD OF SUBSTRATE, COATER AND SUBSTRATE TREATMENT SYSTEM
    基板の処理方法、塗布処理装置及び基板処理システム - 特許庁
  • METHOD OF PROCESSING SUBSTRATE, PROGRAM, COMPUTER STORAGE MEDIUM, AND SYSTEM OF PROCESSING SUBSTRATE
    基板の処理方法、プログラム、コンピュータ記憶媒体及び基板の処理システム - 特許庁
  • METHOD OF PROCESSING SUBSTRATE, PROGRAM, COMPUTER STORAGE MEDIUM, AND SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM
    基板の処理方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体及び基板処理システム - 特許庁
  • To provide a substrate processing system for effectively managing consumables in two or more substrate processing apparatuses.
    複数の基板処理装置内の消耗品を効率的に管理する。 - 特許庁
  • FRACTIONAL RECOVERY SYSTEM OF LIQUID FOR PROCESSING SUBSTRATE, PROCESSING SYSTEM OF SUBSTRATE EQUIPPED WITH THAT SYSTEM, AND FRACTIONAL RECOVERY METHOD OF LIQUID FOR PROCESSING SUBSTRATE
    基板の処理液の分別回収装置及び該装置を備えた基板の処理装置、並びに基板の処理液の分別回収方法 - 特許庁
  • CALCULATING DEVICE, SETTING DEVICE, AND SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM
    算出装置、設定装置、基板処理装置 - 特許庁
  • SUBSTRATE PROCESSING DEVICE AND COMPONENT MOUNTING SYSTEM
    基板の処理装置および部品実装システム - 特許庁
  • METHOD AND SYSTEM FOR PROCESSING SUBSTRATE
    基板の処理方法及び基板の処理システム - 特許庁
  • ELECTROSTATIC ATTRACTION STAGE AND SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM
    静電吸着ステージ及び基板処理装置 - 特許庁
  • CLEANING METHOD OF SUBSTRATE CARRYING MEMBER, SUBSTRATE CARRIER AND SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM
    基板搬送部材の洗浄方法、基板搬送装置及び基板処理システム - 特許庁
  • SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM, SUBSTRATE TRANSFER APPARATUS, SUBSTRATE TRANSFER METHOD, AND RECORDING MEDIUM
    基板処理システム、基板搬送装置、基板搬送方法、および記録媒体 - 特許庁
  • The substrate processing apparatus 10 includes: the substrate processing system 100 configured to process a substrate; and a controller 240 configured to control the substrate processing system 100.
    基板処理装置１０は、基板を処理する基板処理系１００と、基板処理系１００を制御するコントローラ２４０と、を有する。 - 特許庁
  • SUBSTRATE IDENTIFICATION CODE ISSUANCE PROCESSING METHOD AND SUBSTRATE IDENTIFICATION CODE ISSUANCE PROCESSING SYSTEM
    基板識別コード発行処理方法および基板識別コード発行処理システム - 特許庁
  • LIQUID SUPPLY SYSTEM AND SYSTEM FOR PROCESSING SUBSTRATE USING IT
    液体供給装置及びそれを用いた基板処理装置 - 特許庁
  • RESIST LIQUID SUPPLY DEVICE AND SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM
    レジスト液供給装置及び基板処理システム - 特許庁
  • SUSCEPTOR HEATER ASSEMBLY OF LARGE-AREA SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM
    大面積基板処理システムのサセプタ・ヒータアセンブリ - 特許庁
  • VACUUM PROCESSING SYSTEM AND PRELIMINARY SUBSTRATE HEATING METHOD
    真空処理システム及び基板予備加熱方法 - 特許庁
  • ION BEAM MACHINING SYSTEM AND PROCESSING METHOD OF SUBSTRATE
    イオンビーム加工装置および基板処理方法 - 特許庁
  • PROCESSING METHOD OF SUBSTRATE, COATER AND SUBSTRATE TREATMENT SYSTEM
    基板の処理方法、塗布膜除去装置及び基板処理システム - 特許庁
  • PROCESSING METHOD OF ZINC OXIDE SYSTEM SUBSTRATE AND SUBSTRATE WITH GROWTH LAYER
    酸化亜鉛系基板の処理方法及び成長層付き基板 - 特許庁
  • SUBSTRATE PRECEDENCE TRANSPORT SYSTEM AT SUBSTRATE WORK-PIECE PROCESSING MANUFACTURE
    基板ワーク加工処理製造における基板優先搬送システム - 特許庁
  • SUBSTRATE FEEDER, SUBSTRATE TAKE-UP DEVICE, SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM, SUBSTRATE SUPPLYING METHOD, AND SUBSTRATE TAKE-UP METHOD
    基板供給装置、基板巻取装置、基板処理システム、基板供給方法および基板巻取方法 - 特許庁
  • PROCESSING SYSTEM FOR SUBSTRATE AND METHOD FOR PRODUCING SEMICONDUCTOR
    基板処理装置及び半導体製造方法 - 特許庁
  • SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM, INSPECTION DEVICE AND INSPECTION METHOD
    基板処理システム、検査装置および検査方法 - 特許庁
  • SUBSTRATE PROCESSING METHOD, SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM, AND COMPUTER-READABLE RECORDING MEDIUM
    基板の処理方法、基板の処理システム及びコンピュータ読み取り可能な記憶媒体 - 特許庁
  • SUBSTRATE PROCESSING METHOD, PROGRAM, COMPUTER STORAGE MEDIUM, SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND IMPRINT SYSTEM
    基板処理方法、プログラム、コンピュータ記憶媒体、基板処理装置及びインプリントシステム - 特許庁
  • SUBSTRATE PROCESSING METHOD, SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM, AND COMPUTER READABLE STORAGE MEDIUM
    基板処理方法および基板処理システム、ならびにコンピュータ読取可能な記憶媒体 - 特許庁
  • SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM AND SCHEDULE CREATION METHOD OF THE SAME
    基板処理システム及びそのスケジュール作成方法 - 特許庁
  • LOAD LOCK CHAMBER FOR LARGE AREA SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM
    大面積基板処理システムのためのロードロックチャンバ - 特許庁
  • To improve a substrate carrier transportation mechanism for transporting the substrate carrier between a transportation system and a processing device in a manufacturing facility, and to reduce total time for processing the substrate.
    キャリア搬送の仕組みを改善して、基板処理のための総合経過時間を低減する。 - 特許庁
  • SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM, SUBSTRATE PROCESSING METHOD, SEALED CONTAINER STORAGE APPARATUS, PROGRAM, AND STORAGE MEDIUM
    基板処理システム、基板処理方法、密閉容器保管装置、プログラム、及び記憶媒体 - 特許庁
  • DEPOSITION APPARATUS, SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM, SUBSTRATE PROCESSING METHOD, AND SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURING METHOD
    成膜装置、基板処理システム、基板処理方法及び半導体装置の製造方法 - 特許庁
  • OBJECT PROCESSING SYSTEM, OBJECT PROCESSING METHOD, PROCESSING APPARATUS, SUBSTRATE PROCESSING METHOD, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
    物体処理システム、物体処理方法、処理装置、基板処理方法及びデバイス製造方法 - 特許庁
  • To provide a substrate processing system having a small footprint.
    フットプリントが小さい基板処理装置を提供する。 - 特許庁
  • PROCESSING SYSTEM AND METHOD FOR CHEMICAL TREATMENT OF SUBSTRATE
    基板を化学的処理する処理システムおよび方法 - 特許庁
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