Lights Out (film)とは 意味・読み方・使い方

Even if the reflected lights of lights irradiated from the one light emitting diode are canceled, attributable to a film type formed in the substrate W, lights irradiated from the other light emitting diodes are made incident on the CCD camera 9 without being canceled out, so that the status of the substrate can be detected surely, irrespective of the types, etc., of the films formed in the substrate W.例文帳に追加

基板Ｗに形成された膜種に起因して一方の発光ダイオードから照射された光の反射光が打ち消されても、他方の発光ダイオードから照射された光は打ち消されることなくＣＣＤカメラ９に入射するので、基板Ｗに形成された膜種などにかかわりなく、基板の状態検出を確実に行うことができる。 - 特許庁

When the emission of the modified light is carried out until the accumulated quantity of lights measured by an accumulated light quantity meter 6 reaches predetermined light quantity, the optical characteristics of the reflection preventing film F are changed, and the observation of an alignment mark with the exposure wavelength is made possible.例文帳に追加

積算光量計６によって測定される積算光量が所定光量となるまで改質光の照射を行うと、反射防止膜Ｆの光学特性が変化し、露光波長によるアライメントマークの観察が可能になる。 - 特許庁