あつべつにしいちじょう３ちょうめの英語

圧力コントローラ３では、この入力された間隙データに基づいて、上記一対の基板１０ａ及び１０ｂの複数の面領域に対し各別に調整された圧力を印加すべく圧力制御値を算出する。例文帳に追加

Based on these inputted gap data, the pressures controller 3 calculates pressure control values for applying individually adjusted pressure to the plural plane areas of a pair of the substrates 10a, 10b of the above. - 特許庁

第１の駆動手段１３および第２の駆動手段１８により中心部ヨーク７と外周部ヨーク８のターゲット３の背面からの距離を個別に変化させ、電磁石が形成する磁力線の形状を変化させてプラズマの状態を調節し、光ディスク基板上の膜厚分布を制御する。例文帳に追加

The distance of the center yoke 7 and the outer circumferential yoke 8 from the back side of the target 3 is individually changed by the first driving means 13 and the second driving means 18, and the shape of the line of magnetic force formed by the electric magnet is changed to adjust the state of plasma, and the film thickness distribution on the optical disk substrate is controlled. - 特許庁