エレクトロメカニカルシステムの英語

センシング膜及びそれを用いるマイクロエレクトロメカニカルシステムデバイス例文帳に追加

SENSING MEMBRANE AND MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM DEVICE USING THE SAME - 特許庁

マイクロエレクトロメカニカルシステム（ＭＥＭＳ）デバイスを動作するドライバおよび方法例文帳に追加

DRIVER AND METHOD OF OPERATING MICRO-ELECTROMECHANICAL SYSTEM(MEMS) DEVICE - 特許庁

製造するのが容易で、かつ高い変形率を有するマイクロエレクトロメカニカルシステムを提案する。例文帳に追加

To provide an easy-to-manufacture micro electromechanical system having high deformability. - 特許庁

マイクロエレクトロメカニカルシステム（ＭＥＭＳ）デバイスを動作するドライバおよび方法例文帳に追加

To provide a driver and a method of operating a micro- electromechanical system(MEMS) device. - 特許庁

マイクロエレクトロメカニカルシステムは梁１と、静電相互作用によって梁に結合された電極１０とを有する。例文帳に追加

This micro electromechanical system has a beam 1, and an electrode 10 coupled with the beam by an electrostatic interaction. - 特許庁

本発明は、マイクロエレクトロメカニカルシステムにおける可動機械部分の浮遊を伴う製造方法を提供するものである。例文帳に追加

To provide a manufacturing method of causing floating of a movable machine part in a microelectromechanical system. - 特許庁

圧電センサの変位量を拡大する変位量拡大方法及びこの圧電センサを用いたマイクロエレクトロメカニカルシステムスイッチ例文帳に追加

DISPLACEMENT INCREASING METHOD FOR INCREASING DISPLACEMENT OF PIEZO-ELECTRIC SENSOR, AND MICRO ELECTROMECHANICAL SYSTEM SWITCH USING THE PIEZO-ELECTRIC SENSOR - 特許庁

ＭＥＭＳ装置およびマイクロエレクトロメカニカルシステム（ＭＥＭＳ）を正確に組み立てる方法を提供する。例文帳に追加

To provide a MEMS device and a method for correctly assembling a microelectromechanical system (MEMS). - 特許庁