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サイドスパッタの英語
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「サイドスパッタ」を含む例文一覧
該当件数 : 4件
金属シリサイドスパッタリングターゲット及びその製造方法例文帳に追加
METAL SILICIDE SPUTTERING TARGET AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME - 特許庁
パーティクル発生の少ないＴｉＳｉ_x膜を得るためのチタンシリサイドスパッタリングターゲットを提供すること。例文帳に追加
To provide a titanium silicide sputtering target for obtaining a TiSi_x film having reduced generation of particles. - 特許庁
位相シフトマスク成膜時に有効な光学的・化学的特性が得られ、且つパーティクルの発生を極めて少なく抑えることのできる金属シリサイドスパッタリングターゲット及びその製造方法を提供する。例文帳に追加
To provide a metal silicide sputtering target which ensures optical and chemical properties effective in film deposition for a phase shifting mask and can suppress the generation of particles and to provide a method for manufacturing the target. - 特許庁
金属（M）含有量が3〜25at%であり、かつターゲット中の組織がMSi_2と遊離Siとの２相からなることを特徴とする金属シリサイドスパッタリングターゲット。例文帳に追加
The metal silicide sputtering target is characterized in that it has 3-25 at.% metal (M) content and the texture in the target comprises two phases of MSi_2 and free Si. - 特許庁
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