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スイッチング磁界分布の英語
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英訳・英語 switching field distribution
「スイッチング磁界分布」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 1件
そして、サセプタ12近傍のプラズマ密度分布を径方向で均一化するうえで、RFアンテナ54の発生するRF磁界に対して補正リング70により電磁界的な補正をかけるとともに、プロセス条件に応じてスイッチング機構110により補正コイル70の通電デューティ・レシオを可変するようにしている。例文帳に追加
In order to radially equalize the plasma density distribution near the susceptor 12, electromagnetic field correction is applied to an RF magnetic field, generated by the RF antenna 54, by a correction coil 70 while the conduction duty ratio of the correction coil 70 is variable by a switching mechanism 110 according to the process conditions. - 特許庁
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switching field distribution
JST科学技術用語日英対訳辞書
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