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スイッチング磁界分布の部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 1件
そして、サセプタ１２近傍のプラズマ密度分布を径方向で均一化するうえで、ＲＦアンテナ５４の発生するＲＦ磁界に対して補正リング７０により電磁界的な補正をかけるとともに、プロセス条件に応じてスイッチング機構１１０により補正コイル７０の通電デューティ・レシオを可変するようにしている。例文帳に追加
In order to radially equalize the plasma density distribution near the susceptor 12, electromagnetic field correction is applied to an RF magnetic field, generated by the RF antenna 54, by a correction coil 70 while the conduction duty ratio of the correction coil 70 is variable by a switching mechanism 110 according to the process conditions. - 特許庁
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